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    • 13. 发明专利
    • 導体配線を有する構造体の製造方法、その方法により製造された導体配線を有する構造体、熱硬化性樹脂組成物、樹脂フィルム、感光性樹脂組成物及びドライフィルムレジスト
    • 使用导体布线制造结构的方法,通过方法制造的导体布线的结构,热固性树脂组合物,树脂膜,光敏树脂组合物和干膜电阻
    • JP2014204023A
    • 2014-10-27
    • JP2013080400
    • 2013-04-08
    • 日立化成株式会社Hitachi Chemical Co Ltd
    • KURABUCHI KAZUHIKOFUJIMOTO DAISUKETAKANEZAWA SHINMURAI HIKARI
    • H05K3/46G03F7/004G03F7/20G03F7/40G03F7/42H05K3/00
    • 【課題】絶縁層に微細な開口を有し且つ信頼性に優れる導体配線を有する構造体(例えばプリント配線基板)を充分に効率的に製造する方法を提供する。【解決手段】第1の導体配線2a,2bを覆うように支持体上に第1の感光性樹脂層を形成する第1の感光性樹脂層形成工程と、第1の感光性樹脂層に露光処理及び現像処理を施してパターン化する第1のパターン化工程と、第1の感光性樹脂層のパターンを覆うように支持体上に熱硬化性樹脂層4を形成する熱硬化性樹脂層形成工程と、レーザにより熱硬化性樹脂層4の一部及び第1の感光性樹脂層のパターンの所定箇所の少なくとも一部を除去する工程と、熱硬化性樹脂層4から露出した第1の感光性樹脂層を除去して第1の導体配線2a,2bを露出させる開口4hを熱硬化性樹脂層4に形成する開口形成工程と、を備える導体配線を有する構造体の製造方法。【選択図】図6
    • 要解决的问题:提供一种用于在绝缘层中具有微细开口的导体布线来更有效地制造结构(例如,印刷线路板)的方法,并且具有优异的可靠性。解决方案:制造具有导体的结构的方法 布线包括以下步骤:在支撑体上形成第一感光性树脂层以覆盖第一导体布线2a和2b(第一感光树脂层形成步骤); 通过对第一感光性树脂层进行曝光处理和显影处理(第一图案形成工序)来图案化。 在支撑体上形成热固性树脂层4以覆盖第一感光性树脂层的图案(热固性树脂层形成工序)。 通过激光去除热固性树脂层4的一部分和第一感光性树脂层的图案的规定位置的至少一部分(去除步骤)。 并且通过去除在热固性树脂层4(开口形成步骤)上暴露于热固性树脂层4的第一感光树脂层,形成第一导体布线2a和2b暴露的开口4h。