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    • 92. 发明专利
    • レーザー加工装置の加工性能の確認方法
    • JP2021023978A
    • 2021-02-22
    • JP2019146005
    • 2019-08-08
    • 株式会社ディスコ
    • 吉川 敏行
    • B23K26/035H01L21/301B23K26/00
    • 【課題】レーザー加工装置の加工性能を確認する場合に、加工時間を短縮し、テスト加工用の被加工物の使用面積又は消費量を削減する。 【解決手段】被加工物に吸収される波長を有するレーザービームで被加工物を加工するレーザー加工装置の加工性能の確認方法であって、被加工物を該レーザー加工装置のチャックテーブルで保持する保持ステップと、レーザービームの集光点の高さを変化させながら、被加工物と集光点とを被加工物の厚さ方向と直交する所定の方向に相対的に移動させることで、被加工物の上面に加工痕を形成する加工痕形成ステップと、加工痕形成ステップで形成された加工痕の複数の領域を撮像する撮像ステップと、撮像ステップで取得された画像に基づいて、レーザー加工装置の加工性能を確認する確認ステップと、を備えるレーザー加工装置の加工性能の確認方法を提供する。 【選択図】図2