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91. 发明专利

JP5893683B2 ルミネセンス像形成を用いた間接バンドギャップ半導体の試験方法およびシステム有权
标题翻译：间接带隙半导体的测试方法和系统中使用发光成像
公开(公告)号：JP5893683B2
公开(公告)日：2016-03-23
申请号：JP2014139445
申请日：2014-07-07
申请人：ビーティーイメージングピーティーワイリミテッド
发明人：トラプケ、トールステン , バードス、ロバート、アンドルー
IPC分类号： H02S50/15 , G01N21/66 , G01R31/26 , H01L21/66
CPC分类号： G01N21/9501 , G01N21/64 , G01N21/6489 , G01N21/66 , G01N21/956 , H01L31/022425

92. 发明专利

JP5824038B2 ルミネセンスベースセンサシステム有权
标题翻译：基于发光的传感器系统
公开(公告)号：JP5824038B2
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：JP2013509567
申请日：2011-05-11
申请人：ダブリンシティユニバーシティ , オーミックアクチボラゲット
发明人：ジムリトサーピーターベイカー , オブオーマン , ダーククルツブーフ , トーマスラックシュトル , ブライアンマクライス , スティーブンオドリスコル
IPC分类号： G01N21/64
CPC分类号： G01N21/64 , G01N21/645 , G01N21/6452 , G01N21/648 , G01N21/66 , G01N21/76 , G01N33/54373

93. 发明专利

JP5746553B2 基板加工システム、および基板加工プログラム有权
标题翻译：基板处理系统，以及基板处理程序
公开(公告)号：JP5746553B2
公开(公告)日：2015-07-08
申请号：JP2011102427
申请日：2011-04-28
申请人：株式会社東芝
发明人：上北将広 , 小泉洋 , 中具道 , 桜井直明 , 小池栄二郎
IPC分类号： H01L33/50
CPC分类号： G01B11/06 , G01N21/64 , G01N21/66 , G01N2021/6421 , H01L2933/0041

94. 发明专利

JP2015514992A 広範発光免疫アッセイ有权
标题翻译：发光免疫测定法的广泛
公开(公告)号：JP2015514992A
公开(公告)日：2015-05-21
申请号：JP2015507071
申请日：2013-04-12
申请人：アクセスメディカルシステムズ,リミティド , アクセスメディカルシステムズ,リミティド
发明人：エフ．ズクロバート , エフ．ズクロバート
IPC分类号： G01N33/543 , G01N21/64 , G01N21/76 , G01N21/78 , G01N33/53
CPC分类号： G01N33/54306 , G01N21/66 , G01N21/76 , G01N33/5308 , G01N33/582 , G01N2458/30 , G01N2458/40
摘要：本発明は、試料の希釈を必要とせず、かつアッセイを繰り返す必要なく、広範囲の濃度の分析物を1つのアッセイで定量化するための方法に関する。本発明の重要な特徴は、プローブに試料を結合させること、結合反応、および検出を含む事象のサイクルを2つ有することにある。結合および検出の第1のサイクル後、プローブを同じ試料容器に浸漬して、第1のサイクルにおける条件よりも結合に有利な条件で試料容器中のさらなる分析物と結合させる。【選択図】図4
摘要翻译：本发明不要求对样品稀释，并且无需重复该试验，在单个测定中在宽的浓度范围内定量分析物的方法。本发明的一个重要特征，所述样品与探针的结合反应，以及事件包括检测到具有两个周期耦合。的结合和检测，通过在相同的样品容器浸入所述探针的第一个周期后，它被用在为比在第一周期的条件结合有利的条件的样本容器的分析物的附加组合。点域4

95. 发明专利

JP2015019055A ＳＥＭオーバーレイ計測のシステムおよび方法审中-公开
标题翻译：扫描电镜系统与方法
公开(公告)号：JP2015019055A
公开(公告)日：2015-01-29
申请号：JP2014115208
申请日：2014-06-03
申请人：ケーエルエー−テンカーコーポレイション , Kla-Encor Corp , ケーエルエー−テンカーコーポレイション
发明人： DMITRY SHUR
IPC分类号： H01L21/027 , H01J37/244 , H01J37/28
CPC分类号： H01J37/26 , G01N21/66 , G06T7/0004 , H01J37/28 , H01J2237/2809 , H01J2237/2814 , H01J2237/2817 , H01L22/34
摘要：【課題】エッジぼけに起因するSEMアーチファクトを回避する。【解決手段】本開示は、オーバーレイターゲット構造の特徴配置またはパターニングと略位置合わせされているかまたはこれと平行な走査方向を利用したSEMオーバーレイ計測を実施する方法に関する。特徴配置と同一または同等の方向においてターゲット構造を走査することによって、対象となるエッジにおけるぼけが回避され、パターン要素間の線間またはエッジ間オフセットは、対象となる走査したエッジにおけるぼけに起因する誤差の影響を受けにくくなる。例えば、少なくとも2つのサンプル層に対応する少なくとも2つの線形パターン要素は、特徴配置の方向に沿うかまたはこれと平行に(すなわち、パターン要素の長いエッジに沿うかまたはこれと平行に)走査できる。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：避免由边缘模糊引起的SEM伪像。解决方案：本公开涉及一种执行SEM覆盖度量的方法，其扫描方向基本上对准或平行于覆盖目标结构的特征放置或图案化。通过以与特征放置相同或相似的方向扫描目标结构，避免了感兴趣的边缘处的模糊，并且图案元素之间的线对边或边缘到边缘的偏移不太容易受到扫描边缘的模糊的误差的影响出于兴趣。例如，对应于至少两个采样层的至少两个线性图案元素可以沿着或平行于特征放置的方向扫描（即沿着或平行于图案元件的长边缘）。

97. 发明专利

JP5345971B2 Converter to be used in the detection device 有权
公开(公告)号：JP5345971B2
公开(公告)日：2013-11-20
申请号：JP2010094162
申请日：2010-04-15
申请人：イー・エム・デイー・ミリポア・コーポレイシヨン
发明人：マイケル・ジョーンズ , リッキー・エフ・バッジオ
IPC分类号： G01N21/64
CPC分类号： G01N21/66 , G01N2021/6432
摘要： A system and method are disclosed for utilizing sensors with existing devices. An interface module is used in combination with a newer sensor, such as a fluorescence oxygen sensor, and an older legacy device. The older legacy device supplies a polarizing voltage, and anticipates a measured current of between 0 and 100 nA. The newer sensor requires no polarizing voltage and delivers an output of 0-10 volts in one embodiment, and 4-20 mA in another embodiment. The interface module receives the output from the sensor, and converts it into a useable signal to the legacy device. In another embodiment, the interface module comprises a number of outputs, such that both legacy devices and newer devices can be in communication with the sensor simultaneously. The interface module can be used in conjunction with a reactor chamber or other pharmaceutical process.

98. 发明专利

JP5271185B2 Inspection equipment of solar power generation element 有权
公开(公告)号：JP5271185B2
公开(公告)日：2013-08-21
申请号：JP2009175086
申请日：2009-07-28
申请人：株式会社アイテス
发明人：和美高野 , 忠臣谷口
IPC分类号： H01L31/04
CPC分类号： G01N21/66 , G01N21/8806 , G01N21/95
摘要： Disclosed is a low-cost apparatus for inspecting a photovoltaic power generating element, by which a clear captured image can be easily obtained in the inspection of the photovoltaic power generating element, said inspection using an EL method. The apparatus (10) for inspecting the photovoltaic power generating element is provided with: a holding table (14) for the photovoltaic power generating element (12); a power supply (16) which applies a forward bias to the photovoltaic power generating element (12); a camera (18) which captures an image of EL of the photovoltaic power generating element (12); a filter (20) for passing through light having a predetermined wavelength; and a light source (26) which irradiates the photovoltaic power generating element (12) with light that includes light in the near infrared region.

99. 发明专利

JP2013156269A Apparatus and method for inspecting defect of solar cell, and program 审中-公开
标题翻译：用于检查太阳能电池缺陷的装置和方法及程序
公开(公告)号：JP2013156269A
公开(公告)日：2013-08-15
申请号：JP2013085065
申请日：2013-04-15
申请人： Npc Inc , 株式会社エヌ・ピー・シー
发明人： WATANABE MAKOTO , MORITA TEIJI , OKITA KINJI , NAKANISHI YUJI
IPC分类号： G01N21/88 , G01B11/28 , G01N21/66 , H01L31/04
CPC分类号： H01L31/186 , G01N21/66 , G01N21/88 , G01R31/308 , H02S50/10 , Y02E10/50 , Y02P70/521
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a solar cell defect inspection apparatus that uses excitation emission of a solar cell without using a darkroom, and to provide a defect inspection method and a program.SOLUTION: A defect inspection apparatus 100 includes: power source means 102 that applies a forward voltage to a solar cell 110 to be tested to emit light by excitation; imaging means 104 for capturing an image of the solar cell 110; image processing means 108 for processing the image captured by the imaging means 104; and output means 148 that outputs the image processed by the image processing means 108. The imaging means 104 includes: an optical filter 12 that transmits light near a wavelength band of light emitted by excitation from the solar cell 110; a photoelectric image conversion element 13 for converting the light passing through the optical filter 12 to visible light; and an imaging element 132 that images the visible light converted by the photoelectric image conversion element 13 on an imaging surface to capture an image of the solar cell 110 emitting the light by excitation.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种使用太阳能电池的激发发射而不使用暗室的太阳能电池缺陷检查装置，并提供缺陷检查方法和程序。解决方案：缺陷检查装置100包括：电源装置102 其将正向电压施加到待测试的太阳能电池110以通过激发发光; 用于捕获太阳能电池110的图像的成像装置104; 用于处理由成像装置104捕获的图像的图像处理装置108; 以及输出由图像处理装置108处理的图像的输出装置148.成像装置104包括：滤光器12，其从太阳能电池110发射由激发发射的光的波长带附近的光; 用于将通过滤光器12的光转换成可见光的光电图像转换元件13; 以及成像元件132，其将由光电图像转换元件13转换的可见光成像在成像表面上，以捕获通过激发发射光的太阳能电池110的图像。

100. 发明专利

JP2013527451A Luminescence-based sensors 有权
公开(公告)号：JP2013527451A
公开(公告)日：2013-06-27
申请号：JP2013509567
申请日：2011-05-11
申请人：ダブリンシティユニバーシティ , オーミックアクチボラゲット
发明人：リトサーピーターベイカージム , オーマンオブ , クルツブーフダーク , ラックシュトルトーマス , マクライスブライアン , オドリスコルスティーブン
IPC分类号： G01N21/64
CPC分类号： G01N21/64 , G01N21/645 , G01N21/6452 , G01N21/648 , G01N21/66 , G01N21/76 , G01N33/54373
摘要： A sensor comprising a substrate (100) having a first surface (105) and a second surface (110) is described. The first surface has at least one sensor site (115) provided thereon. The substrate is configured such that on excitation of a sample provided at the sensor site, luminescence originating from the sensor site propagates into the substrate, the second surface of the substrate being configured to selectively transmit the luminescence propagating within the substrates at angles greater than the critical angle out of the substrate where it may be detected by a detector (160) provided below the substrate.

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