专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明公开

EP3216753A1 MEMBRANE EN CARBONE AMORPHE ET MEMS COMPORTANT UNE TELLE MEMBRANE 审中-公开
标题翻译：包含这种膜的非晶碳纳米微粒碳膜
公开(公告)号：EP3216753A1
公开(公告)日：2017-09-13
申请号：EP17159400.5
申请日：2017-03-06
申请人： Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
发明人： GHIS, Anne , DELAUNAY, Marc
IPC分类号： B81B3/00 , B81C1/00
CPC分类号： B81B3/0089 , B81B3/0075 , B81B2201/02 , B81B2201/0264 , B81B2201/03 , B81B2201/06 , B81B2203/0127 , B81B2207/115 , B81C1/00158
摘要： L'invention concerne une membrane en carbone amorphe pour un microsystème électromécanique, la membrane en carbone amorphe présentant une épaisseur comprise enre 1 nm et 50 nm, et de préférence comprise entre 3 nm et 20 nm, dans laquelle la membrane en carbone amorphe présente un taux d'hybridation de type sp 3 compris entre 20% et 40%.
摘要翻译：本发明涉及用于机电微系统的无定形碳膜，所述无定形碳膜具有1nm至50nm，并且优选3nm至20nm的厚度，其中所述无定形碳膜具有 sp3杂交率在20％至40％之间。

2. 发明授权

EP2511229B1 Flankenverstärktes mikromechanisches Bauteil 有权
标题翻译： Fl。。。。。。。。
公开(公告)号：EP2511229B1
公开(公告)日：2017-03-08
申请号：EP11003088.9
申请日：2011-04-12
申请人： GFD Gesellschaft für Diamantprodukte mbH , Diamaze Microtechnology S.A.
发明人： Gluche, Peter , Gretzschel, Ralph , Wiora, Matthias
IPC分类号： G04B13/02 , G04B17/06 , G04B31/004 , B81C1/00 , B81B3/00 , G04B1/14 , G04B15/14
CPC分类号： B81B3/0075 , B81C1/00674 , G04B1/145 , G04B13/02 , G04B15/14 , G04B17/063 , G04B17/066 , G04B31/004 , Y10T428/239 , Y10T428/24793

3. 发明公开

EP2236455A8 Mikromechanisches Bauteil mit reduziertem Verschleiss 有权
标题翻译：具有降低的磨损微机械元件
公开(公告)号：EP2236455A8
公开(公告)日：2010-12-01
申请号：EP09004887.7
申请日：2009-04-02
申请人： GFD Gesellschaft für Diamantprodukte mbH , Manufacture et fabrique de montres et de chronomètres Ulysse Nardin Le Locle S.A. , Diamaze Microtechnology S.A.
发明人： Dr. Flöter, André , Gretzschel, Ralph , von Gunten, Stéphane , Gluche, Peter
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： B81B3/0075 , B81B2201/035 , B81C2201/112
摘要： Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Bauteil, das mit einem Reibpartner in Kontakt steht, wobei auf mindestens derjenigen Oberfläche, die mit dem Reibpartner in Kontakt steht, eine Abschlussschicht aufgebracht ist, die überwiegend aus einem SP 2 -hybridisiertem -C besteht.

4. 发明公开

EP3344574A1 REFRACTORY SEED METAL FOR ELECTROPLATED MEMS STRUCTURES 有权
公开(公告)号：EP3344574A1
公开(公告)日：2018-07-11
申请号：EP16829011.2
申请日：2016-07-13
申请人： General Electric Company
发明人： BREWER, Joleyn Eileen , KEIMEL, Christopher Fred , AIMI, Marco Francesco , MINNICK, Andrew James , RUFFALO, Renner Stephen
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： B81B3/0027 , B81B3/0075 , B81B7/0003 , B81B7/008 , B81B2201/01 , B81B2201/014 , B81B2201/0228 , B81B2203/0118 , B81B2203/0127 , B81B2203/0315 , B81B2203/053 , B81B2207/015 , B81B2207/115 , B81C1/00134 , B81C1/0015 , B81C1/00158 , B81C1/00182 , B81C1/00373 , B81C2201/0107 , G01L9/0042 , G01L9/0044
摘要： A system and method for a micro-electrical-mechanical system (MEMS) device including a substrate and a free-standing and suspended electroplated metal MEMS structure formed on the substrate. The free-standing and suspended electroplated metal MEMS structure includes a metal mechanical element mechanically coupled to the substrate and a seed layer mechanically coupled to and in electrical communication with the mechanical element, the seed layer comprising at least one of a refractory metal and a refractory metal alloy, wherein a thickness of the mechanical element is substantially greater than a thickness of the seed layer such that the mechanical and electrical properties of the free-standing and suspended electroplated metal MEMS structure are defined by the material properties of the mechanical element.

5. 发明公开

EP2898703A1 MEMS DEVICE AND PROCESS 有权转让
标题翻译： MEMS装置和方法
公开(公告)号：EP2898703A1
公开(公告)日：2015-07-29
申请号：EP13779329.5
申请日：2013-09-19
申请人： Wolfson Microelectronics PLC
发明人： JENKINS, Colin Robert , HOEKSTRA, Tsjerk , BOYD, Euan
IPC分类号： H04R19/00
CPC分类号： H04R19/005 , B81B3/0021 , B81B3/0075 , B81B2201/0257 , B81B2201/0264 , B81B2203/0127 , B81C1/00158 , H01L41/09 , H01L41/0926 , H01L2224/16225 , H01L2224/48091 , H01L2924/1461 , H01L2924/16151 , H01L2924/16152 , H04R1/222 , H04R23/006 , H04R2201/003 , Y10T29/49005 , H01L2924/00014
摘要： A MEMS capacitive transducer with increased robustness and resilience to acoustic shock. The transducer structure includes a flexible membrane supported between a first volume and a second volume, and at least one variable vent structure in communication with at least one of the first and second volumes. The variable vent structure includes at least one moveable portion which is moveable in response to a pressure differential across the moveable portion so as to vary the size of a flow path through the vent structure. The variable vent may be formed through the membrane and the moveable portion may be a part of the membrane, defined by one or more channels, that is deflectable away from the surface of the membrane. The variable vent is preferably closed in the normal range of pressure differentials but opens at high pressure differentials to provide more rapid equalization of the air volumes above and below the membrane.

6. 发明公开

EP2572804A2 Method of manufacturing an electromechanical transducer 审中-公开
标题翻译： Verfahren zur Herstellung eines elektromechanischen Wandlers
公开(公告)号：EP2572804A2
公开(公告)日：2013-03-27
申请号：EP12006480.3
申请日：2012-09-14
申请人： Canon Kabushiki Kaisha
发明人： Kato, Ayako , Torashima, Kazutoshi
IPC分类号： B06B1/02
CPC分类号： B06B1/0292 , B81B3/0075 , B81B2201/0221 , B81B2203/0127 , B81B2203/0315 , B81B2203/0392 , H04R19/005 , H04R31/00
摘要： Provided is a method of manufacturing an electromechanical transducer having a reduced variation in a breakdown strength caused by a variation in flatness of an insulating layer. In the method of manufacturing the electromechanical transducer, a first insulating layer (2) is formed on a first substrate (1), a barrier wall (3) is formed by removing a part of the first insulating layer, and a second insulating layer (10) is formed on a region of the first substrate after the part of the first insulating layer has been removed. Next, a gap is formed by bonding a second substrate (18) on the barrier wall, and a vibration film (23) that is opposed to the second insulating layer via the gap is formed from the second substrate. In the forming of the barrier wall, a height on a gap side in a direction vertical to the first substrate becomes lower than a height of a center portion.
摘要翻译：提供一种制造机电换能器的方法，该机电换能器由绝缘层的平坦度的变化引起的击穿强度的变化减小。在制造机电换能器的方法中，在第一基板（1）上形成第一绝缘层（2），通过去除第一绝缘层的一部分形成阻挡壁（3），以及第二绝缘层 10）在第一绝缘层的一部分被去除之后形成在第一衬底的区域上。接下来，通过将第二基板（18）接合在阻挡壁上而形成间隙，并且从第二基板形成经由间隙与第二绝缘层相对的振动膜（23）。在形成阻挡壁时，与第一基板垂直的方向上的间隙侧的高度比中心部的高度低。

7. 发明公开

EP2236455A1 Mikromechanisches Bauteil mit reduziertem Verschleiss 有权
公开(公告)号：EP2236455A1
公开(公告)日：2010-10-06
申请号：EP09004887.7
申请日：2009-04-02
申请人： GFD Gesellschaft für Diamantprodukte mbH , Manufacture et fabrique de montres et chronomètres Ulysse Nardin Le Locle SA , Diamaze Microtechnology S.A.
发明人： Dr. Flöter, André , Gretzschel, Ralph , von Gunten, Stéphane ,
IPC分类号： B81B3/00
CPC分类号： B81B3/0075 , B81B2201/035 , B81C2201/112
摘要： Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Bauteil, das mit einem Reibpartner in Kontakt steht, wobei auf mindestens derjenigen Oberfläche, die mit dem Reibpartner in Kontakt steht, eine Abschlussschicht aufgebracht ist, die überwiegend aus einem SP 2 -hybridisiertem -C besteht.
摘要翻译：微机械部件与与组件表面（9）接触的摩擦配合体连接，组件表面（9）与金刚石与sp 3>杂化碳接触的摩擦配合体接合以形成硅和二氧化硅。将具有纯金刚石的碳的最终层（2）施加在部件表面上。

8. 发明公开

EP2518011A2 Pièce de micromécanique composite et son procédé de fabrication 有权
标题翻译： Mikromechanisches Verbundbauteil
公开(公告)号：EP2518011A2
公开(公告)日：2012-10-31
申请号：EP12172452.0
申请日：2010-05-25
申请人： Nivarox-FAR S.A.
发明人： Cusin, Pierre , Thiébaud, Jean-Philippe
IPC分类号： B81B3/00 , B81C99/00 , B29C33/38 , C25D1/10 , C25D1/00 , C25D1/20 , C25D5/02 , G03F7/00 , G04B13/02 , G04D3/00
CPC分类号： B81C99/008 , B81B3/0075 , B81B2201/035 , B81C1/00031 , B81C1/00087 , B81C1/00119 , B81C2201/0132 , B81C2201/032 , C25D1/003 , C25D1/20 , C25D5/022 , G04B13/022 , G04B13/026 , G04D3/0069
摘要： L'invention se rapporte à une pièce de micromécanique composite (41, 41') comportant une partie horizontale (21) en silicium qui comprend un ajourage (25) recevant une partie métallique (43, 43') caractérisée en ce que la partie (21) en silicium est formée par du silicium dopé et comporte au moins une partie verticale destinée à transmettre une force mécanique à un élément n'appartenant pas à ladite pièce, ladite partie verticale est revêtue (51, 52) par du dioxyde de silicium selon une épaisseur supérieure à un oxyde natif afin d'améliorer les qualités tribologiques dudit silicium.
L'invention concerne le domaine des pièces de micromécanique notamment pour des mouvements horlogers.
摘要翻译：该方法包括通过中间层蚀刻顶层（21）中的图案，以在基底中形成空腔。衬底的顶部涂覆有电绝缘涂层。定向蚀刻涂层和中间层，以限制在顶层形成的每个垂直壁（52）处的涂层和中间层的存在。通过将电极连接到基板的导电底层以形成复合部件（41）的金属部分来执行电沉积。复合组分从基材上释放出来。包括以下独立权利要求：（1）复合微机械部件; 和（2）钟表。

9. 发明公开

EP2511229A1 Flankenverstärktes mikromechanisches Bauteil 有权
标题翻译：边缘加固的微机械部件
公开(公告)号：EP2511229A1
公开(公告)日：2012-10-17
申请号：EP11003088.9
申请日：2011-04-12
申请人： GFD Gesellschaft für Diamantprodukte mbH , Diamaze Microtechnology S.A.
发明人： Gluche, Peter , Gretzschel, Ralph , Wiora, Matthias
IPC分类号： B81C1/00 , B81B3/00 , G04B1/14
CPC分类号： B81B3/0075 , B81C1/00674 , G04B1/145 , G04B13/02 , G04B15/14 , G04B17/063 , G04B17/066 , G04B31/004 , Y10T428/239 , Y10T428/24793
摘要： Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Bauteil mit einer Ober- und Unterseite und mindestens zwei Seitenflächen und einer das Bauteil vollflächig umgebenden Beschichtung aus Diamant und/oder diamantartigem Kohlenstoff (DLC), wobei auf mindestens einer Seitenfläche, über mindestens einen Teil dieser Seitenfläche, die Beschichtung gegenüber der Ober-und/oder Unterseite eine kleinere Schichtdicke besitzt, so dass, bezogen auf die mindestens eine Seitenfläche, ein verstärkter Bereich entsteht.
摘要翻译：本发明涉及一种具有顶部和底部和至少两个侧表面和所述部件周围的金刚石和/或类金刚石碳（DLC），其中，在至少一个侧表面的涂层移到该侧表面的至少一部分的整个表面上的微机械部件，所述涂层顶部和/或底部具有较小的层厚度，使得，基于所形成的至少一个侧表面，一个加强区域上。

10. 发明公开

EP2453038A1 Method for coating micromechanical parts with dual diamond coating 审中-公开
标题翻译：一种用于与双金刚石涂层的微机械部件的涂覆工艺
公开(公告)号：EP2453038A1
公开(公告)日：2012-05-16
申请号：EP10191391.1
申请日：2010-11-16
申请人： The Swatch Group Research and Development Ltd.
发明人： Bourban, Stewes , Richard, David , Gilomen, Beat , Steinmüller, Detlef , Drexel, Herwig , Steinmüller, Doris , Ghodbane, Slimane
IPC分类号： C23C16/27 , D04B15/14 , B81B3/00
CPC分类号： H01L21/02527 , B81B3/0075 , B81B2201/035 , B81C2201/0119 , C23C16/27 , C23C16/278 , C23C16/279 , G04B15/14
摘要： Method for coating micromechanical components of a micromechanical system, in particular a watch movement, comprising:
• providing a substrate (4) component to be coated;
• providing said component with a first diamond coating (2) doped with boron ;
• providing said component with a second diamond coating (3); wherein :
• said second diamond coating (3) is provided by CVD in a reaction chamber;
during CVD deposition, during the last portion of the growth process, a controlled increase of the carbon content within the reaction chamber is provided, thereby providing an increase of the sp2/sp3 carbon (6) bonds up to an sp2 content substantially between 1% and 45%. Corresponding micromechanical components are also provided.
摘要翻译：用于涂覆微机械部件的微型机械系统的，尤其是手表机芯的方法，包括：€¢提供底物（4）待涂布部件; €¢提供所述组分与第一金刚石涂层（2）掺杂有硼; €¢提供所述组分与第二金刚石涂层（3）; worin：€¢所述第二金刚石涂层（3）由CVD在反应室中提供的; CVD沉积期间，生长过程的负载部分期间，所述反应室中的碳含量的受控增加设置，从而在SP2 / sp 3碳（6）键直至sp2含量基本上之间1％的增加提供和45％。因此，提供对应的微机械部件。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式