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1. 发明公开

EP0484809A3 Verfahren zur Schichtherstellung mittels Abscheidung, insbesondere aus Laser- oder Pseudofunken-Ablation 失效
标题翻译：通过沉积获得涂层的方法，特别是通过激光或PSEUDO-SPARK ABLATION
公开(公告)号：EP0484809A3
公开(公告)日：1992-08-05
申请号：EP91118473.7
申请日：1991-10-30
申请人： Battelle-Institut e.V.
发明人： Stafast, Herbert, Dr. , Reiland, Werner, Dr. , Diegel, Marco , Von der Burg, Erik , Grill, Wolfgang, Prof. Dr.
IPC分类号： C23C14/28 , H01L39/24
CPC分类号： C23C14/32 , C23C14/0021 , C23C14/28
摘要： Um das Schichtwachstum bei gepulsten Abscheidungsverfahren, insbesondere durch gepulste Laser- oder Pseudofunken-Ablation zu verbessern, werden Gaspulse (8) in Form von Überschallmolekülstrahlen (bzw. -Atomstrahlen) einer Länge von 1µ bis 10 ms auf das Substrat (5), bzw. die Filmoberfläche gegeben. Die Gaspulse werden mit den Ablationspulsen (2) zeitlich so koordiniert, daß z.B. ein Gaspuls kurz nach den ablatierten Teilchen das Substrat erreicht. Aufgrund der gepulsten Gaszufuhr kann der Druck am Substrat kurzzeitig bedeutend höher als der maximal mögliche stationäre Hintergrunddruck sein, wodurch im Falle von Reaktivgas dessen Einbau deutlich verbessert wird. Zudem kann der stationäre Hintergrunddruck beim erfindungsgemäßen Verfahren viel kleiner sein als bei einer stationären Gaszufuhr, wodurch großflächige Substrate beschichtet werden können. Bei vielen Systemen läßt sich mit der Erfindung die Substrattemperatur deutlich absenken, wenn das Reaktivgas in aktivierter Form (als Ionen und/oder Radikale) pulsartig auf das Substrat geblasen wird.
摘要翻译：为了改善脉冲沉积过程中的涂层生长，特别是通过脉冲激光或伪火花消融，将气体脉冲（8）以超音速分子束（或原子束）的形式施加到衬底（5）或膜表面，持续时间为1微秒至10毫秒。气体脉冲在时间上与消融脉冲（2）协调，使得例如气体脉冲在消融的颗粒之后不久就到达衬底。作为脉冲气体供应的结果，基板的压力可能在短时间内显着地高于最大可能的稳态背景压力，从而在反应性气体的情况下明显改善其结合。此外，在根据本发明的方法的情况下，稳态背景压力可以低于稳态气体供应，因此可以涂覆大面积的基板。在许多系统中，如果反应气体的脉冲以活性形式（作为离子和/或自由基）吹到基底上，本发明可以明显降低衬底温度。

2. 发明授权

EP0249800B1 Vorrichtung zum Beleuchten von Bauteilen aus transparentem Material bei der Fehlerprüfung 失效
标题翻译：用于检查缺陷检查中使用的透明材料组分的装置
公开(公告)号：EP0249800B1
公开(公告)日：1992-05-20
申请号：EP87107993.5
申请日：1987-06-03
申请人： Battelle-Institut e.V.
发明人： Schmalfuss, Harald, Dr. , Sinsel, Friedel , Bolz, Reinhold
IPC分类号： G01N21/88 , G02B26/10 , G01M11/02
CPC分类号： G01N21/8806 , G01N2021/9511 , G01N2201/1045

3. 发明公开

EP0461543A2 Verfahren und Vorrichtung zum Beschichten von Substraten mit geschmolzenem Material 失效
标题翻译： Verfahren und Vorrichtung zum Beschichten von Substraten mit geschmolzenem材料。
公开(公告)号：EP0461543A2
公开(公告)日：1991-12-18
申请号：EP91109223.7
申请日：1991-06-06
申请人： Battelle-Institut e.V.
发明人： Tschulena, Guido, Dr.
IPC分类号： H01L21/285 , H01L21/3205 , C23C26/02 , G03F7/16
CPC分类号： H01L21/28
摘要： Verfahren und Vorrichtung zur Beschichtung, insbesondere Silizium- oder anderen Halbleiterwafern, in denen in einer auf eine vorbestimmte Temperatur aufgeheizten Spin-Coatingapparatur geschmolzenes Material, insbesondere Metall, auf das auf den vorgeheizten Drehteller der Apparatur fixierte Substrat gebracht wird und die Temperatur des Drehtellers nach erfolgter Ausbreitung des flüssigen Materials zur Hervorrufung einer Erstarrung des Materials abgekühlt wird, wobei sich gegenüber herkömmlichen Beschichtungsverfahren auch größere Schichtdicken ohne Schwierigkeiten und selektiv an bestimmten Stellen aufbringen lassen und Materialien mit beliebiger Schichtdicke insbesondere in den Kanälen oder andersartigen Vertiefungen strukturierter Substrate abscheiden lassen.
摘要翻译：在用于涂覆的方法和装置中，特别是硅和其它半导体晶片，将已经在旋涂装置中加热到预定温度的熔融材料，特别是金属施加到安装在预热的转盘转盘。在液体材料扩散之后，转盘的温度降低以使材料凝固。与常规涂布方法相比，甚至可以在某些点上难以且选择性地施加相当大的层厚度，并且可以沉积具有任何所需层厚度的材料，特别是沉积在结构化基底上的通道或其它类型的凹部中。

4. 发明公开

EP0435051A3 Verfahren zur Herstellung von Hochtemperatur-Supraleiterdrähten mit hoher Stromtragfähigkeit sowie deren Verwendung zur Herstellung von supraleitenden Bauteilen 失效
标题翻译：生产具有高临界电流的高温超导体线及其制造超导体器件的应用方法
公开(公告)号：EP0435051A3
公开(公告)日：1991-09-04
申请号：EP90123662.0
申请日：1990-12-08
申请人： Battelle-Institut e.V.
发明人： Heide, Helmut, Dr. , Grünthaler, Karl-Heinz, Dr. , Nielsen, Inken, Dr.
IPC分类号： H01L39/14 , H01L39/24
CPC分类号： H01L39/248 , C04B35/4508 , C04B35/6455 , C22C32/0021 , C30B1/02 , C30B29/22 , C30B29/225
摘要： Verfahren zur Herstellung eines duktilen Supraleiters mit hoher Stromtragfähigkeit in Form eines durch heißisostatisches Pressen und mechanische Umformtechnik erzeugten Drahtes, bei dem die supraleitende Phase, z.B. Y 1 BaA 2 Cu 3 O 7-x in einer duktilisierenden und den Sauerstoffpartialdruck stabilisierenden Silber/Silberoxid-Matrix eingelagert wird sowie von einem duktilen Metallmantel umhüllt ist, dadurch gekennzeichnet, daß die zum Umformen notwendige Temperaturbehandlung ebenfalls unter hohen Gasdrücken (HIP) vollzogen wird, wodurch die Supraleiterseele des Drahtmaterials dicht und fehlerfrei ist und die Mikrokristallite in der Richtung ihrer größten Stromtragfähigkeit in der Drahtachse ausgerichtet werden.

5. 发明公开

EP0433420A1 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG SYMMETRISCHER DIFETTSÄUREDIAMIDE 失效
标题翻译：用于生产BALANCED二脂肪酸二酰胺。
公开(公告)号：EP0433420A1
公开(公告)日：1991-06-26
申请号：EP90909722.0
申请日：1990-06-22
申请人： BATTELLE-INSTITUT E.V.
发明人： FRISCHE, Rainer , VOLKHEIMER, Jürgen , WOLLMANN, Klaus , SCHOMANN, Herrmann , SCHNEIDER, Judith , ACH, Alexander , GROSS-LANNERT, Renate , BEST, Bernd
IPC分类号： C07C51 , C07C53 , C07C57 , C07C231 , C07C233 , C11C1 , C11C3
CPC分类号： C07C231/02
摘要： Selon un procédé de production de diamides d'acides digras à composition symétrique, on convertit premièrement des mélanges d'acides gras ou de leurs esters avec des diamines, on sépare les diamides d'acides digras symétriques obtenus du mélange de réaction en tirant profit de leur degré de solubilité différent, puis le cas échéant on les purifie davantage par recristallisation.

6. 发明公开

EP0431124A1 NEUARTIGE KUNSTSTOFFE AUF FETTSÄUREBASIS 失效
标题翻译：创新塑料对脂肪酸BASIS。
公开(公告)号：EP0431124A1
公开(公告)日：1991-06-12
申请号：EP90909720.0
申请日：1990-06-22
申请人： BATTELLE-INSTITUT E.V.
发明人： FRISCHE, Rainer , VOLKHEIMER, Jürgen , WOLLMANN, Klaus , SCHOMANN, Herrmann , SCHNEIDER, Judith , ACH, Alexander , GROSS-LANNERT, Renate , BEST, Bernd
IPC分类号： C08G75 , C07C235 , C08G18 , C08G59 , C08G63 , C08G64
CPC分类号： C08G64/02 , C07C235/10 , C07C235/28 , C08G18/36 , C08G18/3825 , C08G63/48
摘要： Des matières plastiques peuvent être obtenues avec des composants monomères formés de diamides, de diesters, d'amidesters de diacides gras, d'amidamines ou d'amidalcools de monoacides gras produits en faisant réagir des acides gras insaturés et/ou contenant des groupes hydroxyles, ou leurs esters, avec des composés bifonctionnels formateurs d'esters et/ou d'amides, puis le cas échéant en convertissant les liaisons doubles éthyléniques existantes. Ces composants monomères contiennent au moins deux groupes fonctionnels, notamment des liaisons doubles éthyléniques, des groupes hydroxyles, des groupes époxydes ou des groupes amines, qui permettent de les réticuler entre eux de façon à former des polymères. Ceux-ci peuvent ensuite être mutuellement reticulés, de façon à produire les matières plastiques voulues, par un deuxième groupe de composés bifonctionnels capables de réagir avec ces groupes fonctionnels libres.

7. 发明公开

EP0410401A1 Verfahren zum Beschichten einer Substratfläche 失效
标题翻译： Verfahren zum Beschichten einerSubstratfläche。
公开(公告)号：EP0410401A1
公开(公告)日：1991-01-30
申请号：EP90114215.8
申请日：1990-07-25
申请人： Battelle-Institut e.V.
发明人： Stafast, Herbert, Dr. , Dunin von Przychowski, Michael , Chu, Wing Fong, Dr.
IPC分类号： C23C14/04 , C23C16/04
CPC分类号： H01L21/707 , C23C14/048 , C23C16/047 , H01L39/2448
摘要： Eine Vorrichtung zum Beschichten einer Substratfläche (4) mit einer Einrichtung zum Erzeugen einer Gasphase in einer Kammer (1) und mit einem Aktivierungslaser (10) weist erfindungsgemäß eine Maske (11) im Strahlengang des Aktivierungslasers (10) auf. Damit kann eine entsprechend flächig strukturierte Beschichtung (12) auf dem Substrat (1) erzeugt werden.
Die Vorrichtung wird insbesondere zur Herstellung einer dünnen Beschichtung (12) aus keramischem Material auf dem Substrat (4) eingesetzt, insbesondere zur Herstellung von integrierten Schaltungen oder Hochtemperatur-Supraleitern.
摘要翻译：具有用于在腔室（1）中产生气相并具有激活激光器（10）的装置的用于涂覆衬底表面（4）的装置具有根据本发明的光束路径中的掩模（11）的激活激光（10）。这使得可以在基板（1）上制造具有相应的片状结构的涂层（12）。该装置特别用于在基板（4）上制造陶瓷材料的薄涂层（12），特别是用于生产集成电路或高温超导电体。

8. 发明公开

EP0405331A2 Akustische Sensoreinrichtung mit Störschallunterdrückung 失效
标题翻译：声传感器装置与噪声抑制。
公开(公告)号：EP0405331A2
公开(公告)日：1991-01-02
申请号：EP90111750.7
申请日：1990-06-21
申请人： BATTELLE-INSTITUT E.V.
发明人： Föller, Dieter, Dr.
IPC分类号： G10K11/16
CPC分类号： G10K11/178 , G10K2210/108 , G10K2210/3013 , G10K2210/3045 , Y10S367/901
摘要： Akustische Sensoreinrichtung mit Störschallunterdrückung insbesondere für auf einem geräuscherzeugenden Aggregat angeordnete Sensoren unter Verwendung eines Doppelsensors (M1,M2), der zwischen einer Störquelle (S) und einem den aufzufassenden Objektschall aussendenden Objekt angeordnet ist und dessen einer Sensor (M1) auf die Störquelle (S) gerichtet ist und einer Regelschaltung (R) ein Störschallsignal zuführt, welche eine Antischallquelle (A) so einstellt, daß diese einen Antischall p A zur Kompensation des Störschalls p S erzeugt, wobei der andere Sensor (M2) auf das aufzufassende Objekt gerichtet ist und ein Meßsignal liefert, in dem der Störschallanteil stark und der Objektschallanteil sehr wenig geschwächt sind, so daß durch diese Minderung der Schallanteile in Anhängigkeit von der Einfallsrichtung die Auffaßreichweite des Sensors (M2) vergrößert ist.
摘要翻译：声学传感器与噪声抑制特定布置在使用双传感器（M1，M2），其连接一个噪声源（S）之间的声音产生单元的传感器装置布置成一个发射的aufzufassenden对象声音对象和它的一个传感器（M1）与干扰源（S ）被寻址，和一个调节电路（R）一Störschallsignal用品，其调整的反声源的（a），这产生一个抗噪声pA的用于补偿干扰噪声PS，另一传感器（M2）被引导至aufzufassende对象和测量信号提供，其中，所述Störschallanteil强烈和对象声音分量非常小柔使得通过在入射方向的依赖性这一减少的声音分量的传感器的Auffaßreichweite（M2）增加。

9. 发明公开

EP0249799A3 Vorrichtung zum Prüfen von Bauteilen aud transparentem Material auf Oberflächenfehler und Einschlüsse 失效
标题翻译：用于检查透明材料组分对表面缺陷和包含物的设备
公开(公告)号：EP0249799A3
公开(公告)日：1989-12-27
申请号：EP87107992.7
申请日：1987-06-03
申请人： Battelle-Institut e.V.
发明人： Schmalfuss, Harald, Dr. , Sinsel, Friedel , Bolz, Reinhold
IPC分类号： G01N21/88 , G01M11/02
CPC分类号： G01M11/0278 , G01N21/88 , G01N21/8851 , G01N21/958 , G01N2021/4719 , G01N2021/9511 , G01N2201/06113 , G01N2201/065 , G01N2201/1045
摘要： Bei einer Vorrichtung zum Prüfen von Bauteilen aus transparentem Material auf Oberflächenfehler und Einschlüsse wird das Bauteil (1) mittels eines bewegten Lichtstrahles (7) so abgetastet, daß ein Lichtschnitt des Bauteiles entsteht. Dieser Lichtschnitt wird mittels einer Einrichtung (8) beobachtet, welche geneigt zur Auftreffrichtung des Beleuchtungsstrahles angeordnet ist. Diese Einrichtung enthält ein abbildendes optisches System (9), in dessen Bildebene (10) eine auswechselbare Maske (11) zur Aussonderung des Bildes einer Ebene des Prüflings (1) angeordnet ist. Die Lichtstrahlen, welche diese Maske passieren beaufschlagen einen Empfänger (17), dem eine Anordnung (18) zur Auswertung der Empfängersignale nachgeschaltet ist. Mittels einer solchen Vorrichtung lassen sich Oberflächenfehler des zu prüfenden Bauteiles feststellen und zwar getrennt nach Vorder- und Rückseite dieses Bauteiles. Um auch anisotropisch streuende Oberflächenfehler, beispielsweise Wischer nachweisen zu können ist ein drittes Empfangssystem vorgesehen, welches als Integraloptik ausgebildet ist. Dieses besteht aus mehreren Empfängern die in einer Halbschale angeordnet sind, welche das zu prüfende Bauteil uberspannt.

10. 发明公开

EP0291696A3 Verfahren zur Vermehrung von Epithelialzellen 失效
标题翻译：上皮细胞繁殖的过程
公开(公告)号：EP0291696A3
公开(公告)日：1989-12-06
申请号：EP88106036.2
申请日：1988-04-15
申请人： Battelle-Institut e.V.
发明人： Dreher, Ralf Michael, Dr. , Knoell, Hans-Emil, Dr.
IPC分类号： C12N5/00
CPC分类号： C12N5/0629 , C12N2501/01
摘要： Verfahren zur Steigerung des Wachstums von Epithelialzellen in einer Forskolin enthaltenen Kultur.
摘要翻译：在含有毛喉素的培养物中上皮细胞的生长增强。

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