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1. 发明授权

EP1538236B1 Substratträger 有权
公开(公告)号：EP1538236B1
公开(公告)日：2008-05-21
申请号：EP04027863.2
申请日：2004-11-24
申请人： Singulus Technologies AG
发明人： Kempf, Stefan , Merz, Thomas , Runkel, Steffen, Dr.
IPC分类号： C23C16/458 , C23C14/50 , C23C14/56
CPC分类号： H01L21/68728 , C23C14/50 , C23C14/56 , H01L21/68707

2. 发明公开

EP1536455A1 Vakuumschleusenanordnung 有权
公开(公告)号：EP1536455A1
公开(公告)日：2005-06-01
申请号：EP04027993.7
申请日：2004-11-25
申请人： Singulus Technologies AG
发明人： Kempf, Stefan , Merz, Thomas , Mücke, Michael Dr. , Runkel, Steffen Dr.
IPC分类号： H01L21/00 , C23C14/56
CPC分类号： C23C14/566 , H01L21/67751
摘要： Es wird eine Vakuumschleusenanordnung, die für eine beidseitige Behandlung von Substraten geeignet ist, zur Verfügung gestellt. Eine erfindungsgemäße Ausführungsform weist eine Schleuse, eine Transportkammer und zwei Prozeßkammern auf, die einander gegenüber liegen, so daß ein Substrat von beiden Seiten behandelt werden kann. In der Transportkammer ist ein als Drehteller ausgebildeter Substratträger zum Transport der Substrate von der Schleuse zu den Prozeßkammern und umgekehrt angeordnet. Auf dem Substratträger sind erste und zweite Substrathalter angeordnet, die über Federn mit dem Substratträger verbunden sind. Die Schleuse weist einen ersten äußeren und einen zweiten inneren Schleusendeckel auf. Der zweite Schleusendeckel besteht aus einem ersten und zweiten Teil, die durch Druckfedern miteinander verbunden sind, welche im unbelasteten Zustand zwischen dem ersten und zweiten Teil einen ringförmigen Hochvakuumkanal öffnen, der die Schleuse mit einem ersten Hochvakuumanschluß und einer ersten Hochvakuumpumpe verbindet. Beim Ein- oder Ausschleusen eines Substrats ist der Substrathalter durch den zweiten Schleusendeckel an die Öffnung der Schleuse gedrückt, und der Hochvakuumpumpenkanal im zweiten Schleusendeckel ist geschlossen, so daß die Prozeßkammern, die Transportkammer, in denen über einen zweiten Hochvakuumanschluß Hochvakuum ist und die Verbindung zur ersten Hochvakuumpumpe verschlossen sind. Nach dem Evakuieren der Schleuse auf Vorvakuum wird zuerst durch Absenken des zweiten Teils des zweiten Schleusendeckels ein Kanal von der Schleuse zur ersten Hochvakuumpumpe geöffnet, so daß, ohne daß ein Druckstoß bzw. Druckanstieg über die Transportkammer zu den Prozeßkammern auftritt, in der Schleuse ein Hochvakuum hergestellt wird, wonach die Verbindung zwischen Schleuse, Transportkammer und Prozeßkammern wieder geöffnet wird, um Substrate von und zur Schleuse zu transportieren.
摘要翻译：真空气锁包括具有高真空室（2）的通风 - 真空泵连接（11），并且具有外部（1a）和内部（1b）盖以抵靠高真空室。如果弹簧卸载，内盖有两个弹簧连接（8）部分（1b1,1b2）连接锁和高真空通道（10）。在真空下运输物体的过程中还包括独立权利要求。

3. 发明授权

EP1536454B1 Vakuumsystem 有权
标题翻译：真空系统
公开(公告)号：EP1536454B1
公开(公告)日：2012-07-25
申请号：EP04027862.4
申请日：2004-11-24
申请人： Singulus Technologies AG
发明人： Kempf, Stefan , Merz, Thomas , Mücke, Michael, Dr.
IPC分类号： C23C14/56 , H01L21/677 , H01L21/67
CPC分类号： H01L21/6719 , C23C14/566 , H01L21/67201 , H01L21/67751

4. 发明授权

EP1536456B1 Trägeranordnung 有权
标题翻译：承载组件
公开(公告)号：EP1536456B1
公开(公告)日：2012-02-15
申请号：EP04027994.5
申请日：2004-11-25
申请人： Singulus Technologies AG
发明人： Kempf, Stefan , Merz, Thomas
IPC分类号： H01L21/00 , C23C14/50 , B65G49/06
CPC分类号： H01L21/683

5. 发明公开

EP1538236A2 Substratträger 有权
公开(公告)号：EP1538236A2
公开(公告)日：2005-06-08
申请号：EP04027863.2
申请日：2004-11-24
申请人： Singulus Technologies AG
发明人： Kempf, Stefan , Merz, Thomas , Runkel, Steffen, Dr.
IPC分类号： C23C16/458
CPC分类号： H01L21/68728 , C23C14/50 , C23C14/56 , H01L21/68707
摘要： Es wird ein Substratträger-Adapter-System zur Verfügung gestellt, wobei der Substratträger einen Innenraum (2) aufweist, in dem mindestens ein Substrat (13) angeordnet werden kann und eine ringförmige Außenwand (3) aufweist, die sich senkrecht zur Mittelebene des Substratträgers erstreckt und den Innenraum seitlich begrenzt. Am Außenumfang der Wand des Substratträgers sind als Adapter ein umlaufender konvexer Vorsprung (4), durch dessen Scheitelpunkt die Mittelebene hindurchgeht und symmetrisch zur Mittelebene zwei umlaufende konkave Nuten (5a,5b) angeordnet, die für den Eingriff mit einer Halte- und/oder Greifeinrichtung für den Substratträger vorgesehen sind. Die Vorteile der Erfindung liegen darin, daß eine einheitliche Vorrichtung zur Handhabung von Substraten unterschiedlicher Form und Größe in einer Anlage zur Verfügung gestellt wird. Insbesondere läßt sich der senkrecht zur Mittelebene beidseitig offene Substratträger für die einseitige und zweiseitige Bearbeitung von Substraten verwenden.
摘要翻译：基板载体（1），特别是用于接受用于处理或涂覆的双面基板（3），其具有用于接收至少一个基板（13）的内部空间（2），环形壁与基板载体的中心平面（M）成直角，沿着壁的外周（3a）并且其顶点在平面M中的凸起（4）和用于接合的两个凹槽（5a，5b）具有至少一个保持和/或抓取装置。还包括以下独立权利要求：（a）用于处理衬底载体的装置; 和（b）处理衬底载体的方法。

6. 发明公开

EP1536456A1 Trägeranordnung 有权
公开(公告)号：EP1536456A1
公开(公告)日：2005-06-01
申请号：EP04027994.5
申请日：2004-11-25
申请人： Singulus Technologies AG
发明人： Kempf, Stefan , Merz, Thomas
IPC分类号： H01L21/00 , C23C14/50 , B65G49/06
CPC分类号： H01L21/683
摘要： Es wird eine Trägeranordnung (1) zur Positionierung und Führung eines Trägerelements (2) in einem Träger (3) zur Verfügung gestellt, die vorzugsweise in einer Vakuumkammer zum Einsatz kommen kann. In einer bevorzugten Trägeranordnung (1) wird das Trägerelement (2) gegen die Kraft von mindestens zwei Druckfedern (4) und mindestens zwei Blattfedern (5) aus dem Träger herausgehoben, wobei eine verschleißfreie Linearführung, die ohne Schmierung auskommt, und eine sehr genaue Positionierung des Trägerelements (2) erreicht werden.
摘要翻译：用于引导和定位衬底的载体（3）包括载体元件（2），其在静止和操作位置之间线性移动，弹簧（4）在载体和载体元件之间在静止位置处张紧，并且提升装置（6）移动载体元件带有引导件，以确保线性运动。

7. 发明公开

EP1536454A1 Vakuumsystem 有权
公开(公告)号：EP1536454A1
公开(公告)日：2005-06-01
申请号：EP04027862.4
申请日：2004-11-24
申请人： Singulus Technologies AG
发明人： Kempf, Stefan , Merz, Thomas , Mücke, Michael, Dr.
IPC分类号： H01L21/00 , C23C14/56
CPC分类号： H01L21/6719 , C23C14/566 , H01L21/67201 , H01L21/67751
摘要： Es wird ein Vakuumsystem, z.B. für die einseitige Behandlung von Substraten zur Verfügung gestellt. Insbesondere weist das System eine Schleuse, eine Prozeßkammer und eine Transportkammer auf. In der Transportkammer ist ein Hubschwenkarm-Substratträger zum Transport der Substrate von der Schleuse zur Prozeßkammer und umgekehrt angeordnet. Auf dem Substratträger sind erste und zweite Substrathalter angeordnet, die über Zugfedern mit dem Substratträger verbunden sind. Beim Absenken des zweiten Substrathalters von der Schleuse, nach deren Evakuieren auf Vorvakuum, wird der erste Substrathalter an der Prozeßkammer festgehalten, so daß ein Druckstoß aus der Schleuse durch die Transportkammer hindurch in die Prozeßkammer zuverlässig vermieden wird.
摘要翻译：真空系统包括通过第三室（2）连接的第一室（1）和第二高真空室（3），如果第一室从预真空抽真空至高真空通过第三个室。还包括用于在真空中运输物体的方法的独立权利要求。

8. 发明授权

EP1536455B1 Vakuumschleusenanordnung 有权
标题翻译：真空锁装置
公开(公告)号：EP1536455B1
公开(公告)日：2006-08-16
申请号：EP04027993.7
申请日：2004-11-25
申请人： Singulus Technologies AG
发明人： Kempf, Stefan , Merz, Thomas , Mücke, Michael Dr. , Runkel, Steffen Dr.
IPC分类号： H01L21/00 , C23C14/56
CPC分类号： C23C14/566 , H01L21/67751

9. 发明公开

EP1538236A3 Substratträger 有权
标题翻译：衬底载体
公开(公告)号：EP1538236A3
公开(公告)日：2005-08-10
申请号：EP04027863.2
申请日：2004-11-24
申请人： Singulus Technologies AG
发明人： Kempf, Stefan , Merz, Thomas , Runkel, Steffen, Dr.
IPC分类号： C23C16/458 , C23C14/50 , C23C14/56
CPC分类号： H01L21/68728 , C23C14/50 , C23C14/56 , H01L21/68707
摘要： Es wird ein Substratträger-Adapter-System zur Verfügung gestellt, wobei der Substratträger einen Innenraum (2) aufweist, in dem mindestens ein Substrat (13) angeordnet werden kann und eine ringförmige Außenwand (3) aufweist, die sich senkrecht zur Mittelebene des Substratträgers erstreckt und den Innenraum seitlich begrenzt. Am Außenumfang der Wand des Substratträgers sind als Adapter ein umlaufender konvexer Vorsprung (4), durch dessen Scheitelpunkt die Mittelebene hindurchgeht und symmetrisch zur Mittelebene zwei umlaufende konkave Nuten (5a,5b) angeordnet, die für den Eingriff mit einer Halte- und/oder Greifeinrichtung für den Substratträger vorgesehen sind. Die Vorteile der Erfindung liegen darin, daß eine einheitliche Vorrichtung zur Handhabung von Substraten unterschiedlicher Form und Größe in einer Anlage zur Verfügung gestellt wird. Insbesondere läßt sich der senkrecht zur Mittelebene beidseitig offene Substratträger für die einseitige und zweiseitige Bearbeitung von Substraten verwenden.

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