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1. 发明公开

EP2426698A1 Capacitè intégrèe comprenant une couche d'isolation électrique en matériau de type pérovskite amorphe et procédé de fabrication 有权
标题翻译：集成电容器，包括无定形钙钛矿的电绝缘层，以及其制造方法
公开(公告)号：EP2426698A1
公开(公告)日：2012-03-07
申请号：EP11178220.7
申请日：2011-08-22
申请人： COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
发明人： Defay, Emmanuel , Le Rhun, Gwenaël , Suhm, Aurélien
IPC分类号： H01L21/02
CPC分类号： H01L28/55 , H01L21/02197 , H01L21/02282 , H01L28/40 , H01L28/65
摘要： L'invention concerne une capacité intégrée comprenant une couche de matériau diélectrique dit fonctionnel (DF cris ) à base de matériau cristallisé de type pérovskite, comprise entre au moins une première électrode dite inférieure (Ei) à la surface d'un substrat et au moins d'une deuxième électrode dite supérieure (Es), lesdites électrodes étant isolées électriquement par une couche de matériau isolant électrique pour permettre au moins une reprise de contact sur l'électrode supérieure, caractérisée en ce que :
- le matériau isolant électrique est en matériau diélectrique amorphe de type pérovskite (DI am ) présentant une constante diélectrique inférieure à celle du matériau cristallisé de type pérovskite et
- la reprise de contact est formée à partir d'une couche de reprise de contact (Rc) gravée en contact avec la couche de diélectrique isolant électrique au niveau de sa surface parallèle au plan des couches.
L'invention a aussi pour objet un procédé de fabrication d'une telle capacité intégrée.
摘要翻译：集成电容器包括层（DF C R I S）官能介电材料并制成结晶钙钛矿材料制成，并且第一下部电极（E i）和第二上部电极（E S），和锁定层之间设置。下部电极在一个硅衬底的表面被布置。所述电极电从电绝缘材料层分离，以允许在上部电极接触件拾取。所述电绝缘材料是具有介电常数的非晶钙钛矿型的介电材料（DI一米）。集成电容器包括由第一下部电极（E i）和第二上部电极（E S），和锁定层之间设置结晶钙钛矿材料的功能的电介质材料层（DF C R I S）。下部电极在一个硅衬底的表面被布置。所述电极电从电绝缘材料层分离，以允许在上部电极接触件拾取。所述电绝缘材料是一种无定形钙钛矿型的介电材料（DI一米），其具有的介电常数，所有其比结晶钙钛矿材料低。接触拾取从接触拾取坟墓层，所有这些都与所述电绝缘材料层接触而形成。所述电绝缘材料层设置在或上部电极下。功能性的电介质材料和电绝缘材料制成相同的化学组成的。基板包括上氧化物层的。锁定层基板和下部电极层之间放置。一个独立的claimsoft包括用于整合电容器的制造过程。

2. 发明公开

EP2405574A1 Dispositif d'adaptation d'impédance d'un composant comportant un filtre a impédance adaptable à base de matériau de type perovskite 有权
标题翻译：装置的部件的阻抗的适配包括钙钛矿型的材料的基础上，可适应滤波器的阻抗
公开(公告)号：EP2405574A1
公开(公告)日：2012-01-11
申请号：EP11171504.1
申请日：2011-06-27
申请人： COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
发明人： David, Jean-Baptiste , Billard, Christophe , Defay, Emmanuel
IPC分类号： H03H9/02
CPC分类号： H03H9/02031 , H03H7/40
摘要： L'invention concerne un dispositif comprenant en entrée un premier composant (PA) de première impédance de sortie (Z 1 ), en sortie un second composant (ANT) de seconde impédance d'entrée (Z 2 ), un circuit d'adaptation d'impédance entre lesdits premier et second composants caractérisé en ce que la première et/ou la deuxième impédance étant variable, ledit circuit d'adaptation d'impédance comprend un filtre à impédance adaptable (F adp ) aux première et seconde impédances, situé entre lesdits premier et second composants et comprenant au moins deux résonateurs couplés à ondes acoustiques, au moins un des résonateurs comportant un matériau de type pérovskite et des moyens pour appliquer une tension audit résonateur permettant d'en faire varier la permittivité et l'impédance.
摘要翻译：该设备具有一个功率放大器（PA）包括输出阻抗（Z1）和到天线（ANT）包括输入阻抗（Z2）。阻抗匹配网络被所述放大器和所述天线之间。阻抗匹配滤波器的网络包括（FADP）位于放大器和天线和薄膜体声波谐振器之间。一谐振器的包含钙钛矿型材料，即钡钛酸锶，以及用于将电压施加到谐振器，从而改变所述谐振器的电容率和阻抗应用单元。

3. 发明授权

EP2530755B1 Composant électrique comprenant un matériau de structure pérovskite et des électrodes optimisées et procédé de fabrication 有权
标题翻译：电气部件，其包含具有钙钛矿结构的材料和优化的电极和生产的相应方法
公开(公告)号：EP2530755B1
公开(公告)日：2014-03-26
申请号：EP12168677.8
申请日：2012-05-21
申请人： COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
发明人： Cueff, Matthieu , Defay, Emmanuel , Le Rhun, Gwenaël
IPC分类号： H01L41/047 , H01L41/29 , H01L41/08
CPC分类号： H01L41/29 , H01L41/0477 , H01L41/0478 , H01L41/0815

4. 发明公开

EP2518898A3 Dispositif électromécanique à ondes acoustiques comprenant une zone de transduction et une zone de propagation libre représentant une structure résonante 有权
标题翻译：电机声学波器件，包括作为谐振器Transduktionsbereich和自由波传播的区域
公开(公告)号：EP2518898A3
公开(公告)日：2015-08-26
申请号：EP12163863.9
申请日：2012-04-12
申请人： COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
发明人： Reinhardt, Alexandre , Defay, Emmanuel , Perruchot, François
IPC分类号： H03H9/02 , H03H9/17 , H03H9/54 , H03H9/64 , H03H9/05 , H03H3/02 , H03H3/08 , H03H9/25
CPC分类号： H03H9/25 , H03H3/02 , H03H3/08 , H03H9/02228 , H03H9/02622 , H03H9/02637 , H03H9/02669 , H03H9/02763 , H03H9/02803 , H03H9/0542 , H03H9/17 , H03H9/542 , H03H9/6403 , H03H2009/02165
摘要： L'invention concerne un dispositif électromécanique comprenant au moins un résonateur à ondes acoustiques se propageant latéralement dans une structure résonante plane piézoélectrique et comprenant au moins des électrodes sur une des faces de ladite structure caractérisé en ce que la structure résonante comprend :
- une zone de transduction (Z T ) présentant une longueur de transduction et générant des ondes acoustiques ;
- au moins une zone de propagation libre (Z P ) des ondes acoustiques, adjacente à ladite zone de transduction et définie dans le même plan que ladite zone de transduction ;
- la longueur totale de la structure résonante étant égale à un nombre entier de demi-longueurs d'onde (nλ/2), ladite longueur d'onde répondant à l'équation suivante f = V/ λ, avec f correspondant à la fréquence de résonance dudit résonateur et V la vitesse moyenne de propagation de l'onde dans la structure, de manière à ajuster le coefficient de qualité du résonateur fixé par la longueur totale de la structure résonante et le coefficient de couplage fixé par le rapport de la longueur de transduction sur la longueur totale de la structure résonante ;
- la structure résonante définie par l'ensemble de la zone de transduction et de la zone de propagation étant délimitée latéralement par des zones de réflexions (F 1 , F 2 , Z R1 , Z R2 ).
摘要翻译：该装置具有一个平面压电材料结构（Mpiezo）包括：在转导区（ZT）产生的声波的自由传播区（ZP）。所述结构的总长度等于波长的完整性的一半做符合方程包括谐振器和平均波传播速度的共振频率，以调整由通过转导的比率开采的长度和耦合系数确定开采谐振器确定性的质量系数长度的总长度。该结构由反射区和谐振腔（F1，F2）分隔尾盘反弹。

5. 发明公开

EP2530755A1 Composant électrique comprenant un matériau de structure pérovskite et des électrodes optimisées et procédé de fabrication 有权
标题翻译：电气部件，其包含具有钙钛矿结构的材料和优化的电极和生产的相应方法
公开(公告)号：EP2530755A1
公开(公告)日：2012-12-05
申请号：EP12168677.8
申请日：2012-05-21
申请人： COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
发明人： Cueff, Matthieu , Defay, Emmanuel , Le Rhun, Gwenaël
IPC分类号： H01L41/047 , H01L41/22 , H01L41/08
CPC分类号： H01L41/29 , H01L41/0477 , H01L41/0478 , H01L41/0815
摘要： L'invention a pour objet un composant électrique comprenant une couche de matériau de cristal pérovskite à base de plomb compris entre une électrode inférieure à la surface d'un substrat et une électrode supérieure, caractérisé en ce que l'électrode inférieure comporte une première couche de stabilisation en un premier matériau et une seconde couche de germination en un second matériau, le premier et le second matériaux étant de même composition chimique mais présentant des paramètres de structuration et/ou une densité, différents.
L'invention a aussi pour objet un procédé de fabrication d'un composant selon l'invention dans lequel le matériau de structure pérovskite peut être du PZT d'orientation (100) ou d'orientation (111).
摘要翻译：电气部件包括一个下电极之间的铅基钙钛矿晶体物质层的基板的表面上，并与上电极，其中该下电极包括由第一材料制成的一个稳定的第一层和由第二材料制成的引晶第二层以及第一和第二材料具有相同的化学组成，但是不同的结构参数和/或密度。因此独立权利要求中包括了：（1）致动器包括电组件，其中所述基板，以限定释放并可以变形，包括钙钛矿材料的层中的区包括至少一个开孔部件; 和（2）制造该部件，包括制造方法，在给定的结晶化温度，钙钛矿材料制成的下电极之间，并上部电极的层，通过（a）通过在第一最高温度和沉积铂产生稳定的第一层（ b）在以第二最高温度沉积铂产生播种第二层并低于所述第一温度和所述钙钛矿材料的结晶温度。

6. 发明公开

EP2518898A2 Dispositif électromécanique à ondes acoustiques comprenant une zone de transduction et une zone de propagation libre représentant une structure résonante 有权
标题翻译：电机声学波器件，包括作为谐振器Transduktionsbereich和自由波传播的区域
公开(公告)号：EP2518898A2
公开(公告)日：2012-10-31
申请号：EP12163863.9
申请日：2012-04-12
申请人： COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIES ALTERNATIVES
发明人： Reinhardt, Alexandre , Defay, Emmanuel , Perruchot, François
IPC分类号： H03H9/02 , H03H9/17 , H03H9/54 , H03H9/64 , H03H9/05
CPC分类号： H03H9/25 , H03H3/02 , H03H3/08 , H03H9/02228 , H03H9/02622 , H03H9/02637 , H03H9/02669 , H03H9/02763 , H03H9/02803 , H03H9/0542 , H03H9/17 , H03H9/542 , H03H9/6403 , H03H2009/02165
摘要： L'invention concerne un dispositif électromécanique comprenant au moins un résonateur à ondes acoustiques se propageant latéralement dans une structure résonante plane piézoélectrique et comprenant au moins des électrodes sur une des faces de ladite structure caractérisé en ce que la structure résonante comprend :
- une zone de transduction (Z T ) présentant une longueur de transduction et générant des ondes acoustiques ;
- au moins une zone de propagation libre (Z P ) des ondes acoustiques, adjacente à ladite zone de transduction et définie dans le même plan que ladite zone de transduction ;
- la longueur totale de la structure résonante étant égale à un nombre entier de demi-longueurs d'onde (nλ/2), ladite longueur d'onde répondant à l'équation suivante f = V/ λ, avec f correspondant à la fréquence de résonance dudit résonateur et V la vitesse moyenne de propagation de l'onde dans la structure, de manière à ajuster le coefficient de qualité du résonateur fixé par la longueur totale de la structure résonante et le coefficient de couplage fixé par le rapport de la longueur de transduction sur la longueur totale de la structure résonante ;
- la structure résonante définie par l'ensemble de la zone de transduction et de la zone de propagation étant délimitée latéralement par des zones de réflexions (F 1 , F 2 , Z R1 , Z R2 ).

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