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    • 7. 发明公开
    • Thermisches Materialbearbeitungsverfahren durch Elektronstrahl mit Kompensierung geometrischer und magnetisch bedingter Abweichungen der Auftreffstellen des Elektronstrahles auf ein Werkstück
    • 通过电子束的热材料的加工方法与被加工物的电子束的撞击点几何和磁感应偏差的补偿
    • EP2314410A1
    • 2011-04-27
    • EP10013486.5
    • 2010-10-09
    • pro-beam AG & Co. KGaA
    • Löwer, ThorstenFath, Jürgen
    • B23K15/00B23K15/02G05B19/42H01J37/302
    • B23K15/0053B23K15/0013B23K15/02H01J37/3005H01J37/3045H01J2237/3104
    • Es wird ein thermisches Materialbearbeitungsverfahren beschrieben, bei dem in bekannter Weise zwischen dem Arbeitsfleck eines Elektronenstrahles und einem Werkstück eine Relativbewegung bewirkt wird. Vor der eigentlichen thermischen Behandlung wird eine effektive Bearbeitungskontur (14) ermittelt, indem der Arbeitsfleck des Elektronenstrahls (11) nach den gespeicherten Daten einer idealen Bearbeitungskontur (13) mit verminderter Energiedichte oder höherer Geschwindigkeit eine Relativbewegung gegenüber dem Werkstück ausführt und dieser Relativbewegung eine Scan-Bewegung überlagert wird, die quer zur idealen Bearbeitungskontur (13) gerichtet ist. Die Intensität des von dem Werkstück zurückgestreuten Elektronenstrahls wird in Abhängigkeit von der Auslenkung der Scan-Bewegung gemessen und hieraus eine bildhafte Darstellung der "abgewicklelten" effektiven Bearbeitungskontur (14) gewonnen. Auf diese Weise können, sowohl geometrische als auch magnetisch bedingte Abweichungen der Auftreffstellen des Elektronenstrahls auf das Werkstück kompensiert werden.
    • 热材料处理方法包括着眼于电子束在工件的表面上,影响电子束的工作点,并且其中的处理轮廓的工作点跟随所述工件之间的相对运动,并控制之间的相对运动 工作点和工件gemäß控制参数并转移从一个存储的理想的加工轮廓的控制装置。 一种有效的加工轮廓的确定的处理方法之前进行。 热材料处理方法包括着眼于电子束在工件的表面上,影响电子束的工作点,并且其中的处理轮廓的工作点跟随所述工件之间的相对运动,并控制之间的相对运动 工作点和工件gemäß控制参数并转移从一个存储的理想的加工轮廓的控制装置。 一种有效的加工轮廓的确定是将电子束的工作点进行针对与用于热处理加工参数加工的理想轮廓的所存储的数据之后的工件的相对移动的处理方法之前进行。 理想的加工轮廓在扫描运动(15,16)的点相对于相应的运动叠加没被引导横向于理想的加工轮廓。 从工件反射的电子束的强度被以依赖于扫描运动的偏转测量。 所发射的强度被调整为海誓山盟所以没有工件的表示出现其中的有效处理轮廓的偏差是从理想的加工轮廓施加的相对运动的进行中的处理轮廓的方向上的轴线和 在第二轴线上。 该处理是轮廓两个部件之间的接头与工件连接。 有效处理轮廓被调整到相应的控制参数,以便做相对运动的朝向有效处理轮廓的进展过程中读出的电子束的工作点。 电子束的工作点和工件之间的相对移动被执行放在适合于热处理的处理参数或通过工件和/或电子束源的移动被机械地开展。 电子束的工作点和工件之间的相对运动被电通过电子束的偏转开展。 扫描运动的方向垂直于在对应的理想的加工轮廓的点的切线。 有效处理轮廓的受控电子束的判定之前,所述工件的图像被产生并且该信息被获得在协调系统内的位置,和该位置的偏差被机械或电通过在实际位置进行补偿。