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81. 发明公开

EP1760041A2 Procédé d'encapsulation d'un composant, notamment électrique ou électronique au moyen d'un cordon de soudure amélioré 审中-公开
标题翻译：通过改进的接合线的电气或电子部件的封装
公开(公告)号：EP1760041A2
公开(公告)日：2007-03-07
申请号：EP06300835.3
申请日：2006-07-28
申请人： COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
发明人： Marion, François
IPC分类号： B81C5/00
CPC分类号： B81C1/00269 , H01L2224/29011 , H01L2224/29013 , H01L2224/73103 , H01L2224/73203 , H05K3/3436 , H05K2201/094 , H05K2201/10666 , H05K2203/1147 , Y02P70/613 , H01L2924/00012
摘要： Ce procédé pour encapsuler un composant 3, notamment électrique ou électronique, consiste :
- tout d'abord à ménager une enceinte au sein de laquelle règne le vide ou dont l'atmosphère est contrôlée ;
- puis à positionner sur une surface de mouillabilité 5 mise en place sur un support ou substrat 1 comportant au moins un composant 3, et s'étendant à la périphérie du ou des composants, un cordon de scellement continu 8, réalisé en un métal ou en un alliage métallique,
- à positionner sur le cordon de scellement 8 un boîtier ou capot 2 de dimensions appropriées ;
- et enfin, à élever la température au sein de ladite enceinte afin d'aboutir à la fusion du matériau constitutif du cordon de scellement 8, induisant d'une part, l'abaissement du capot ou boîtier 2 en direction du support 1, et corollairement son scellement étanche et hermétique audit support, propre à assurer l'étanchéité de la cavité interne 9 ainsi définie vis-à-vis de l'extérieur.
La surface de mouillabilité 5 mise en place sur le substrat 1 à la périphérie du ou des composants 3 présente des variations selon une direction du plan dans lequel elle s'inscrit autre que la direction parallèle à la direction d'extension principale du cordon de scellement 8.
摘要翻译：该方法包括形成可润湿的表面（5）在其上比平行方向界定其他密封接缝延伸方向，围绕安装在衬底上的电气/电子部件的平面方向包含周期性图案。由具有低熔融温度金属合金的密封接缝位于湿润的表面上。盖放置在接缝。腔室内部温度上升，以实现接缝材料的熔解用于丢弃盖到基底上。盖的气密密封，进行相对于底物。

82. 发明公开

EP1760039A2 Electrical contact for a mems device and method of making 无效
标题翻译： Elektrischer Kontaktfürein MEMS-Bauelement und dessen Herstellungsverfahren
公开(公告)号：EP1760039A2
公开(公告)日：2007-03-07
申请号：EP06076605.2
申请日：2006-08-21
申请人： Delphi Technologies, Inc.
发明人： Christenson, John C.
IPC分类号： B81C5/00
CPC分类号： B81B7/0006 , B81B2201/025 , G01P15/0802 , G01P15/125
摘要： A method for making a subsurface electrical contact (34) on a micro-electrical-mechanical-systems (MEMS) device (10). The contact (34) is formed by depositing a layer of polycrystalline silicon (34) onto a surface (16) within a cavity (20) buried under a device silicon layer (24). The polycrystalline silicon layer (34) is deposited in the cavity (20) through holes (30 and 32) etched through the device silicon (24) and reseals the cavity (20) during the polycrystalline silicon deposition step. The polycrystalline silicon layer (24) can then be masked and etched, or etched back to expose the device layer (24) of the micromachined device (10). Through the layer of polycrystalline silicon (34), a center hub (18) of the device (10) may be electrically contacted.
摘要翻译：一种用于在微电子机械系统（MEMS）装置（10）上制造地下电接触（34）的方法。通过将多晶硅层（34）沉积在掩埋在器件硅层（24）下面的空腔（20）内的表面（16）上来形成触点（34）。多晶硅层（34）通过穿过器件硅（24）蚀刻的孔（30和32）沉积在空腔（20）中，并且在多晶硅沉积步骤期间重新密封空腔（20）。然后可以对多晶硅层（24）进行掩模和蚀刻，或者回蚀刻以暴露微机械加工装置（10）的装置层（24）。通过多晶硅层34，可以使器件（10）的中心毂（18）电接触。

83. 发明公开

EP1707532A2 Probing card and inspection apparatus for microstructure 审中-公开
标题翻译： Testkarte und Apparat，um Mikrostrukturen zuüberprüfen
公开(公告)号：EP1707532A2
公开(公告)日：2006-10-04
申请号：EP06006889.7
申请日：2006-03-31
申请人： TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人： Yakabe, Masami , Ikeuchi, Naoki
IPC分类号： B81C5/00
CPC分类号： B81C99/005
摘要： A probing card and an inspection apparatus which precisely inspect a microstructure having a minute moving section by a simple method are provided. A probing card (6) has a speaker (2), and a circuit substrate (100) which fixes a probe (4), and the speaker (2) is disposed on the circuit substrate (100). The circuit substrate (100) is provided with an aperture region. As the speaker (2) is disposed on that region, a test sound wave is output to the moving section of the microstructure. The probe (4) detects a change in an electrical characteristic caused by the motion of the moving section according to the test sound wave, thereby inspecting the characteristic of the microstructure.
摘要翻译：提供了一种通过简单的方法精确检查具有微小移动部分的微结构的探测卡和检查装置。探测卡（6）具有扬声器（2）和固定探针（4）的电路基板（100），扬声器（2）设置在电路基板（100）上。电路基板（100）设置有开口区域。当扬声器（2）设置在该区域上时，测试声波被输出到微结构的移动部分。探针（4）根据测试声波检测由移动部分的运动引起的电特性的变化，从而检查微结构的特性。

84. 发明公开

EP1659094A1 METHOD OF PRODUCING THREE-DIMENSIONAL STRUCTURE AND FINE THREE-DIMENSIONAL STRUCTURE 有权转让
标题翻译： VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER DREIDIMENSIONALEN STRUKTUR UND FEINE DREIDIMENSIONALE STRUKTUR
公开(公告)号：EP1659094A1
公开(公告)日：2006-05-24
申请号：EP04748246.8
申请日：2004-07-29
申请人： National Institute of Advanced Industrial Science and Technology
发明人： MURATA, Kazuhiro , YOKOYAMA, Hiroshi
IPC分类号： B81C5/00 , B05D1/26 , B05D5/06
CPC分类号： B81C1/00111 , B81C99/0095 , B81C2201/0184
摘要： A method of producing a three-dimensional structure contains the steps of: arranging a substrate close to a tip of a needle-shaped fluid-ejection body having a fine diameter supplied with a solution, ejecting a fluid droplet having an ultra-fine diameter toward a surface of the substrate by applying a voltage having a prescribed waveform to the needle-shaped fluid-ejection body, making the droplet fly and land on the substrate, and solidifying the droplet after the fluid droplet is landed on the substrate; further a three-dimensional structure has a fine diameter comprises droplets having an ultra-fine particle diameter, wherein the structure is grown by solidifying the droplets and stacking the solidified droplets.
摘要翻译：一种制造三维结构的方法包括以下步骤：将具有细小直径的针状流体喷射体的尖端附近的基板配置在被提供有溶液的状态下，将具有超细直径的液滴喷射向通过向针状流体喷射体施加具有规定波形的电压的基板的表面，使液滴飞散并落在基板上，并且在液滴落在基板上之后使液滴固化; 此外，三维结构具有细径，其包括具有超细粒径的液滴，其中通过使液滴凝固并堆积固化的液滴来生长该结构。

85. 发明公开

EP1135792A4 METHOD FOR MANUFACTURING CARBON NANOTUBES AS FUNCTIONAL ELEMENTS OF MEMS DEVICES 审中-公开
标题翻译：用于生产纳米管碳MEMS组件中的功能元素
公开(公告)号：EP1135792A4
公开(公告)日：2005-06-08
申请号：EP99949896
申请日：1999-09-28
申请人： XIDEX CORP
发明人： MANCEVSKI VLADIMIR
IPC分类号： B81C3/00 , B81C5/00 , C01B31/02 , C23C14/06 , C23C16/26 , G01Q60/24 , G01Q70/12 , G01Q70/16 , G11C23/00 , H01J9/02 , H01L21/00 , G12B21/02 , G12B21/08 , H01J1/14 , H01J19/24
CPC分类号： G01Q70/12 , G11C23/00
摘要： A system and method for manufacturing carbon nanotubes as functional elements of MEMS devices. The method of the present invention comprises the steps of preparing a MEMS substrate for synthesis of a carbon nanotube. A nanosize hole or catalyst retaining structure is fabricated on the MEMS substrate in which a nanotube catalyst is deposited. A nanotube is then synthesized within the nanosize hole.

86. 发明公开

EP1533270A1 Procédé de contrôle de l'herméticité d'une cavité close d'un composant micrométrique, et composant micrométrique pour sa mise en oeuvre 审中-公开
标题翻译：的方法和设备，用于测试气密密封的MEMS封装的密封性
公开(公告)号：EP1533270A1
公开(公告)日：2005-05-25
申请号：EP03026780.1
申请日：2003-11-21
申请人： ASULAB S.A.
发明人： Gueissaz, François , Randin, Jean-Paul
IPC分类号： B81C5/00 , B81B7/00 , G01M3/38 , G01M3/40 , G01M3/04 , G01M3/02 , H01L23/20 , H01L23/26 , H01L23/00 , H01L23/10
CPC分类号： G01M3/40 , B81C99/0045 , G01M3/047 , G01M3/38
摘要： Pour le procédé de contrôle de l'herméticité d'une cavité close (14) d'au moins un composant micrométrique (1), ledit composant comprend une structure (5, 6, 10) réalisée sur ou dans une portion d'un substrat (2), un capot (3) fixé sur une zone du substrat pour protéger la structure, et un élément témoin (4, 15) dont les propriétés optiques ou électriques changent en présence d'un fluide réactif. L'élément témoin peut être une couche de cuivre (4) pour un contrôle optique ou une résistance en palladium (15) pour un contrôle électrique. Le composant micrométrique (1) est placé dans une enceinte qui est ensuite fermée hermétiquement. Cette enceinte est remplie du fluide réactif sous pression qui est de l'oxygène pour le contrôle optique et de l'hydrogène pour le contrôle électrique. Le composant dans l'enceinte est soumis à une pression supérieure à 10 bars du fluide réactif pendant une période de temps déterminée, et à une activation thermique (T > 100 °C) ou optique (λ
摘要翻译：该过程涉及在填充外壳包含与反应性流体测微组件在压力下所述部件经受的流体压力比在component`s空腔（14），用于确定性开采时间段压力。对照细胞（4）的特性的变化是由基于流体量光路控制并已渗透到所述腔并与细胞反应，确定性矿腔密封性。因此独立claimsoft被包括为测微组件。

87. 发明公开

EP1400487A3 Semiconductor unit having MEMS 有权
标题翻译：具有MEMS的半导体单元
公开(公告)号：EP1400487A3
公开(公告)日：2004-11-17
申请号：EP03090304.1
申请日：2003-09-18
申请人： Nippon Telegraph and Telephone Corporation
发明人： Masami, Urano , Hiromu, Ishii , Toshishige, Shimamura , Yasuyuki, Tanabe , Katsuyuki, Machida , Tomomi, Sakata
IPC分类号： B81B7/02 , B81C5/00 , G02B26/08 , B81C1/00 , B81B3/00
CPC分类号： B81C1/00246 , B81C2203/0735
摘要： In a semiconductor device having a MEMS according to this invention, a plurality of units having movable portions for constituting a MEMS are monolithically mounted on a semiconductor substrate on which an integrated circuit including a driving circuit, sensor circuit, memory, and processor is formed. Each unit has a processor, memory, driving circuit, and sensor circuit.
摘要翻译：在具有根据本发明的MEMS的半导体器件中，具有用于构成MEMS的可移动部分的多个单元单片式安装在形成有包括驱动电路，传感器电路，存储器和处理器的集成电路的半导体衬底上。每个单元都有一个处理器，存储器，驱动电路和传感器电路。

88. 发明公开

EP1452481A2 Fabrication of advanced silicon-based MEMS devices 有权
标题翻译： Herstellung von动词desserten Silizium-basierten MEMS-Vorrichtungen
公开(公告)号：EP1452481A2
公开(公告)日：2004-09-01
申请号：EP04100440.9
申请日：2004-02-05
申请人： Dalsa Semiconductor Inc.
发明人： Ouelett, Luc , Antaki, Robert
IPC分类号： B81B7/00 , B81C5/00 , B81B3/00
CPC分类号： B81C1/00246 , B81C1/00666 , B81C2201/0164 , B81C2201/0167 , B81C2201/0169 , B81C2203/0735
摘要： A micro-electro-mechanical (MEM) device and an electronic device are fabricated on a common substrate by fabricating the electronic device comprising a plurality of electronic components on the common substrate, depositing a thermally stable interconnect layer on the electronic device, encapsulating the interconnected electronic device with a protective layer, forming a sacrificial layer over the protective layer, opening holes in the sacrificial layer and the protective layer to allow the connection of the MEM device to the electronic device, fabricating the MEM device by depositing and patterning at least one layer of amorphous silicon, and removing at least a portion of the sacrificial layer. In this way, the MEM device can be fabricated after the electronic device on the same substrate.
摘要翻译：通过在公共衬底上制造包括多个电子部件的电子器件，在公共衬底上制造微电子机械（MEM）器件和电子器件，在电子器件上沉积热稳定的互连层，封装互连的具有保护层的电子器件，在保护层上形成牺牲层，在牺牲层和保护层中的开孔，以允许MEM器件连接到电子器件，通过沉积和图案化制造MEM器件至少一个非晶硅层，并且去除牺牲层的至少一部分。以这种方式，可以在同一基板上的电子器件之后制造MEM器件。

89. 发明公开

EP1400487A2 Semiconductor unit having MEMS 有权
标题翻译： MEMS enthaltende Halbleitereinheit
公开(公告)号：EP1400487A2
公开(公告)日：2004-03-24
申请号：EP03090304.1
申请日：2003-09-18
申请人： Nippon Telegraph and Telephone Corporation
发明人： Masami, Urano , Hiromu, Ishii , Toshishige, Shimamura , Yasuyuki, Tanabe , Katsuyuki, Machida , Tomomi, Sakata
IPC分类号： B81B7/02 , B81C5/00
CPC分类号： B81C1/00246 , B81C2203/0735
摘要： In a semiconductor device having a MEMS according to this invention, a plurality of units having movable portions for constituting a MEMS are monolithically mounted on a semiconductor substrate on which an integrated circuit including a driving circuit, sensor circuit, memory, and processor is formed. Each unit has a processor, memory, driving circuit, and sensor circuit.
摘要翻译：在具有根据本发明的MEMS的半导体器件中，具有用于构成MEMS的可移动部分的多个单元被单片地安装在其上形成有包括驱动电路，传感器电路，存储器和处理器的集成电路的半导体衬底上。每个单元都有一个处理器，存储器，驱动电路和传感器电路。

90. 发明公开

EP1340810A1 APPARATUS FOR TREATING SAMPLE IN MICROAMOUNT 有权
标题翻译：设备技术治疗微量样品数量
公开(公告)号：EP1340810A1
公开(公告)日：2003-09-03
申请号：EP01999631.3
申请日：2001-12-06
申请人： Effector Cell Institute
发明人： KANEGASAKI, Shiro , KIKUCHI, Yuji , KIKUCHI, Hiroko
IPC分类号： C12M1/32 , C12M1/34 , G01N33/48 , G01N33/49 , B01L3/00 , B81B1/00 , B81C5/00
CPC分类号： B01L3/502715 , B01L3/502746 , B01L2200/027 , B01L2300/0816 , B01L2400/086 , G01N15/1456 , G01N2015/1486
摘要： The present invention aims at providing a structure whereby, in the step of injecting a sample in a microquantity into a well, the migration of the sample into another well or overflow thereof can be prevented; and a structure whereby the position of the injected sample can be adjusted in a well or the sample can be transferred into the next well under controlling. It also aims at providing an apparatus for detecting chemotaxis of cells and separating chemotactic cells with the application of the above structures.
Accordingly, the present invention provides a microsample treatment apparatus and an apparatus for detecting chemotaxis of cells and separating chemotactic cells wherein a plural number of wells are connected to each other via a part having resistance to fluids and the wells are each provided with tubes for injecting/sucking a sample and, if necessary, tubes for relieving pressure changes at the injection/suction, characterized in that these tubes have a space in common at the top ends thereof in which a liquid can be held.

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