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1. 发明公开

EP1533270A1 Procédé de contrôle de l'herméticité d'une cavité close d'un composant micrométrique, et composant micrométrique pour sa mise en oeuvre 审中-公开
标题翻译：的方法和设备，用于测试气密密封的MEMS封装的密封性
公开(公告)号：EP1533270A1
公开(公告)日：2005-05-25
申请号：EP03026780.1
申请日：2003-11-21
申请人： ASULAB S.A.
发明人： Gueissaz, François , Randin, Jean-Paul
IPC分类号： B81C5/00 , B81B7/00 , G01M3/38 , G01M3/40 , G01M3/04 , G01M3/02 , H01L23/20 , H01L23/26 , H01L23/00 , H01L23/10
CPC分类号： G01M3/40 , B81C99/0045 , G01M3/047 , G01M3/38
摘要： Pour le procédé de contrôle de l'herméticité d'une cavité close (14) d'au moins un composant micrométrique (1), ledit composant comprend une structure (5, 6, 10) réalisée sur ou dans une portion d'un substrat (2), un capot (3) fixé sur une zone du substrat pour protéger la structure, et un élément témoin (4, 15) dont les propriétés optiques ou électriques changent en présence d'un fluide réactif. L'élément témoin peut être une couche de cuivre (4) pour un contrôle optique ou une résistance en palladium (15) pour un contrôle électrique. Le composant micrométrique (1) est placé dans une enceinte qui est ensuite fermée hermétiquement. Cette enceinte est remplie du fluide réactif sous pression qui est de l'oxygène pour le contrôle optique et de l'hydrogène pour le contrôle électrique. Le composant dans l'enceinte est soumis à une pression supérieure à 10 bars du fluide réactif pendant une période de temps déterminée, et à une activation thermique (T > 100 °C) ou optique (λ
摘要翻译：该过程涉及在填充外壳包含与反应性流体测微组件在压力下所述部件经受的流体压力比在component`s空腔（14），用于确定性开采时间段压力。对照细胞（4）的特性的变化是由基于流体量光路控制并已渗透到所述腔并与细胞反应，确定性矿腔密封性。因此独立claimsoft被包括为测微组件。

2. 发明公开

EP0874379A1 Micro-contacteur magnétique et son procédé de fabrication 失效
标题翻译： Magnetischer Mikroschalter和Herstellungsverfahren
公开(公告)号：EP0874379A1
公开(公告)日：1998-10-28
申请号：EP97106710.3
申请日：1997-04-23
申请人： ASULAB S.A.
发明人： Gueissaz, François
IPC分类号： H01H1/00
CPC分类号： H01H1/0036 , H01H1/50 , H01H1/66 , H01H2036/0093
摘要： Micro-contacteur actionnable par un champ magnétique, comportant deux lames (1, 2) comprenant chacune une partie distale (5, 5') dont la superposition forme un entrefer de distance e , l'une au moins desdites lames (1) en un matériau magnétique ayant une extrémité (3) solidaire du substrat par l'intermédiaire d'un pied (9), une partie médiane (4) et une partie distale (5) de longueur L o , flexible par rapport à la deuxième lame (2). La partie médiane (4) de la lame flexible (1) est conformée avec une section transversale totale inférieure à celle de la partie distale (5) pour présenter une moindre résistance à la flexion permettant à la lame d'avoir à la fois un déflexion d'amplitude au moins égale à e pour établir un contact sous l'influence d'un champ magnétique et une force de rappel suffisante vers la position ouverte en absence de champ magnétique.
摘要翻译：磁性微接触器结构具有带有固定接触片（5'）的衬底（10）。柔性接触片（3）安装在基座（9）上。条带（6）的中心部分被切除，允许良好的弯曲，而突出第二接触部的端部部分（5）保持其全宽度，从而允许在施加磁场时强力移动和弯曲。

3. 发明授权

EP1108677B1 Procédé d'encapsulation hermétique in situ de microsystèmes 有权
标题翻译：密封在微原位Gehäusungsmethode
公开(公告)号：EP1108677B1
公开(公告)日：2006-09-27
申请号：EP99125008.5
申请日：1999-12-15
申请人： ASULAB S.A.
发明人： Gueissaz, François
IPC分类号： B81B7/00 , H01L21/50 , H01L23/10 , H01L23/31
CPC分类号： B81C1/00293 , H01L21/50 , H01L23/10 , H01L23/315 , H01L2924/0002 , H01L2924/01079 , H01L2924/09701 , H01L2924/16152 , H01L2924/3025 , H01L2924/00

4. 发明授权

EP0874379B1 Micro-contacteur magnétique et son procédé de fabrication 失效
标题翻译：磁性微和制造工艺
公开(公告)号：EP0874379B1
公开(公告)日：2002-07-31
申请号：EP97106710.3
申请日：1997-04-23
申请人： ASULAB S.A.
发明人： Gueissaz, François
IPC分类号： H01H1/00
CPC分类号： H01H1/0036 , H01H1/50 , H01H1/66 , H01H2036/0093

5. 发明公开

EP1108677A1 Procédé d'encapsulation hermétique in situ de microsystèmes 有权
标题翻译： Hermetische In-Situ-Gehäusungsmethodevon Mikrosystemen
公开(公告)号：EP1108677A1
公开(公告)日：2001-06-20
申请号：EP99125008.5
申请日：1999-12-15
申请人： ASULAB S.A.
发明人： Gueissaz, François
IPC分类号： B81B7/00 , H01L21/50 , H01L23/10 , H01L23/31
CPC分类号： B81C1/00293 , H01L21/50 , H01L23/10 , H01L23/315 , H01L2924/0002 , H01L2924/01079 , H01L2924/09701 , H01L2924/16152 , H01L2924/3025 , H01L2924/00
摘要： Le procédé d'encapsulation hermétique in situ de microsystèmes consiste dans une première phase à monter sur un substrat commun (1) plusieurs microsystèmes (6) entourés par une couche métallique d'accrochage (4) déposée sur le substrat (1). Dans une deuxième phase, on dépose une première couche métallique (7) par voie électrolytique sur chaque microsystème et sur des zones annulaires de la couche d'accrochage (4) entourant chaque microsystème de façon à recouvrir complètement chaque microsystème (6), on dépose par la suite une deuxième couche métallique (9) par voie électrolytique sur la première couche métallique (7) et sur la couche d'accrochage de façon à recouvrir la majeure partie de la première couche à l'exception d'au moins un passage (10) par microsystème (6), donnant accès à la première couche (7). Le métal de la première couche est différent des métaux de la couche d'accrochage, de la deuxième couche et du microsystème. On retire par gravure chimique sélective la première couche (7) par les passages (10), que l'on referme pour obtenir des capsules métalliques enfermant hermétiquement chaque microsystème.
摘要翻译：第一金属层沉积在每个微系统（6）上并且围绕每个微系统的粘附层的环形区域上，以便通过重叠完全覆盖每个微系统。第二金属层（9）被电解沉积在第一金属层上和粘合层上，以覆盖其大部分表面上的第一层，在第二层中留下至少一个每个微系统的通道，以提供对第一金属层。第一金属层沉积在每个微系统（6）上并且围绕每个微系统的粘附层的环形区域上，以便通过重叠完全覆盖每个微系统。第二金属层（9）被电解沉积在第一金属层上和粘合层上，以覆盖其大部分表面上的第一层，在第二层中留下至少一个每个微系统的通道，以提供对第一金属层。第一层的金属与粘附层，第二层和微系统的金属不同。通过选择性化学蚀刻通过第二层的每个通道去除第一层。然后关闭通道以获得密封地包围每个微系统的金属胶囊。

6. 发明授权

EP1479338B1 Instrument portable de mesure d'une grandeur physiologique comprenant un dispositif pour l'illumination de la surface d'un tissu organique 有权
标题翻译：用于检测与设备的生理测量参数用于照亮有机组织的表面便携式装置
公开(公告)号：EP1479338B1
公开(公告)日：2006-12-06
申请号：EP03011524.0
申请日：2003-05-21
申请人： ASULAB S.A.
发明人： Gueissaz, François
IPC分类号： A61B5/024
CPC分类号： G02B6/0018 , A61B5/02427 , A61B5/02438 , G02B6/0038

7. 发明公开

EP1479338A1 Instrument portable de mesure d'une grandeur physiologique comprenant un dispositif pour l'illumination de la surface d'un tissu organique 有权
标题翻译：用于检测与设备的生理测量参数用于照亮有机组织的表面便携式装置
公开(公告)号：EP1479338A1
公开(公告)日：2004-11-24
申请号：EP03011524.0
申请日：2003-05-21
申请人： ASULAB S.A.
发明人： Gueissaz, François
IPC分类号： A61B5/024
CPC分类号： G02B6/0018 , A61B5/02427 , A61B5/02438 , G02B6/0038
摘要： Il est décrit un instrument portable (3) de mesure d'une grandeur physiologique agencé pour être amené au contact de la surface d'un tissu organique (50) comprenant, disposés essentiellement dans un même plan, un dispositif d'illumination (1) comprenant au moins une source lumineuse (40; 41, 42) de surface d'illumination déterminée pour soumettre une portion du tissu organique à une émission lumineuse dans au moins une gamme de longueurs d'onde déterminée, et un dispositif de détection (2) distant du dispositif d'illumination pour détecter l'intensité de l'émission lumineuse produite par le dispositif d'illumination après propagation dans le tissu organique. Le dispositif d'illumination comporte un élément optique formant guide (10; 101, 102) couplé à ladite au moins une source lumineuse (40; 41, 42) pour guider l'émission lumineuse de cette source par réflexion totale interne dans une direction essentiellement parallèle à la surface du tissu organique à illuminer et pour répartir cette émission lumineuse en plusieurs zones d'illumination déterminées sur la surface du tissu organique sur une superficie sensiblement plus étendue que la surface d'illumination de la source lumineuse. Le même principe est avantageusement applicable au dispositif de détection.
摘要翻译：一种照明装置（1）具有光源（40）发射光朝向做在预定波长范围内的有机组织。传感器（2）检测在有机组织传播后射出的光的强度。光学元件（10）引导和比光源的照明表面更宽的区域的有机组织的表面上分布光发射到照射区。

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