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    • 67. 发明公开
    • Procédé amélioré de réalisation de cellules mémoires de types PMC
    • Verbeetes Verfahren zur Herstellung von Speicherzellen vom Typ PMC
    • EP1801897A1
    • 2007-06-27
    • EP06126684.7
    • 2006-12-20
    • COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
    • Dressler, CyrilSousa, Véronique
    • H01L45/00
    • G11C13/0011G11C2213/55H01L45/085H01L45/1233H01L45/141H01L45/1641
    • L'invention concerne un dispositif microélectronique doté d'une ou plusieurs cellules ou éléments comportant respectivement, au moins une première électrode, au moins une deuxième électrode, et au moins un empilement de couches minces entre la première électrode et la deuxième électrode, ledit empilement comprenant:
      - au moins une couche de chalcogénure (405) dopée, apte à former un électrolyte solide, sur et en contact de la première électrode,
      - au moins une couche (406), dite « d'interface », sur et en contact de ladite couche de chalcogénure et à base de carbone,
      - au moins une couche métallique (407) dite « donneuse d'ions », sur et en contact de ladite couche (406) « d'interface », et destinée à former une source d'ions pour ledit électrolyte solide. L'invention concerne également un procédé de réalisation d'un tel dispositif.
    • 该方法包括在形成电极的导电层(402)上形成掺杂了金属微粒的硫族化物层(405),形成固体电解质。 界面层(406)形成在硫族化物层上并与硫族化物层接触。 界面层的厚度在1-10纳米之间,由诸如碳或碳的材料制成,具有金属添加剂例如。 铜/银或半导体添加剂。 硅。 离子供体层(407)形成在界面层上并与界面层接触,其中层(407)形成用于电解质的离子源。 还包括以下独立权利要求:(1)配备有电池或元件的微电子器件(2)存储器。