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91. 发明公开

EP0166028A2 Justiereinrichtung für einen Reflektorspiegel eines Laserresonators 失效
标题翻译：激光谐振器。
公开(公告)号：EP0166028A2
公开(公告)日：1986-01-02
申请号：EP84115142.6
申请日：1984-12-11
申请人： SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT
发明人： Dost, Willibald, Dipl.-Ing. (FH) , Kreutzer, Hans, Dipl.-Ing.(FH)
IPC分类号： H01S3/086
CPC分类号： H01S3/086 , G02B7/1825
摘要： Justiereinrichtung für einen Reflektorspiegel eines Laserresonators.
Bei Laserresonatoren müssen die Reflektorspiegel genau parallel zueinander einjustiert werden. Hierzu ist eine aus einem Träger (9) und einem damit einteiligen Justagekopf (7) für den justierbaren Reflektorspiegel (8) bestehende Einrichtung durch einen äußeren und zwei innere radiale Einstiche (3 bzw. 1,2) mit einem H-förmigen Einstichsystem ausgebildet, so daß sich eine axial elastische, jedoch ausreichend seiten- und temperaturstabile Justierung ergibt. Die Erfindung ist zur Justierung von Reflektorspiegeln bei Laserresonatoren geeignet
摘要翻译：用于调节激光谐振器的反射镜以精确地彼此平行的调节装置包括一个载体和一体的调节头，它们具有H形横截面，该H形横截面由周边外凹槽的凹槽系统提供，该外围凹槽侧面有一对内使得轴向弹性和充分的侧面稳定和温度永久性调节得以实现。

92. 发明公开

EP0120310A2 Verfahren, Einrichtung und Schaltungsanordnung zur Kompensation von betriebs- und/oder umweltbedingten Dejustierungen von Laserresonatoren in gefalteter Anordnung 失效
标题翻译：的方法，设备和电路装置用于在折叠结构补偿激光谐振器的操作和/或环境的失调。
公开(公告)号：EP0120310A2
公开(公告)日：1984-10-03
申请号：EP84101953.2
申请日：1984-02-24
申请人： VEB Kombinat Feinmechanische Werke Halle
发明人： Pöhler, Manfred, Dr. , Henschler, Detlef , Wittig, Richard, Dipl.-Phys.
IPC分类号： H01S3/13 , H01S3/10 , H01S3/086
CPC分类号： H01S3/086 , H01S3/03 , H01S3/076 , H01S3/139
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren nebst zugehöriger Einrichtung und Schaltungsanordnung zur Kompensation von betriebs- und/oder umweltbedingten Dejustierungen von Laserresonatoren in gefalteter Anordnung unter Verwendung einer Trägerkonstruktion in Form eines in Leichtbauweise ausgeführten Doppel-T-Profiles.
Es istZiel der Erfindung, ein entsprechendes Verfahren zu entwickeln, das den Aufbau von kostengünstigen, leistungsfähigen Lasern der genannten Art mit wesentlich reduzierter Masse und volumen gestattet, die gleichzeitig eine ausreichende Klimastabilität beim industriellen Einsatz aufweisen.
Gemäß Erfindung wird dies mit einem Verfahren nebst zugehöriger Einrichtung und Schaltungsanordnung erreicht, bei dem das durch alle Halterungen bzw. Aufnahmen aller optischen Bauelemente des Resonators fließende, an sich zur Wärmestabilisierung dienende Medium (Wasser, Ö1) von einer Normaltemperatur TN auf eine definiert höhere Temperatur TA gebracht und als Stellmedium für die optischen Bauelemente ausgenutzt wird, wobei die optischen Bauelemente jeweils auf einer aus Materialien mit unterschiedlichem Wärmeausdehnungskoeffizienten bestehenden, bei der Ausgangstemperatur des Stellmediums TA genau jusuerten Dreipunktauflage angeordnet sind, und wobei die auftretenden Dejustierungen bzw. die die Dejustierung verursachenden Faktoren in geeigneter Form erfaßt, über eine geeignete Regeleinrichtung ausgewertet und als Führungsgröße für die Temperatur des Stellmediums zur Nachstellung der optischen Bauelemente definiert werden.
摘要翻译：本发明的具有相关联的设备和电路装置涉及一种方法一起用于在轻质结构双T轮廓执行的程序的形式，使用支撑结构在折叠排列补偿激光谐振器的操作和/或环境的失调。发明内容本发明的一个目的是开发其允许低成本，高性能与显著减小的质量和体积，同时具有在工业应用的足够的空气稳定性提到的类型的激光器的结构的适当的方法。据，这是通过一种方法以及相关的设备和电路布置来实现本发明，该电流流过谐振器的所有光学元件的所有持有人或容器，其中，服务本身为从正常温度TN的热稳定介质（水，01）所定义的更高的温度被带到TA和用作用于光学元件的致动介质，所述光学元件被布置成在由具有在致动介质TA三点支撑的初始温度精确地调节热膨胀系数不同的材料组中的每个情况中，以及其中，所述未对准或发生该失准的致病因素以合适的形式检测到的，通过合适的控制装置进行评价，并定义作为致动介质的光学元件的调整的温度的参考变量。

93. 发明公开

EP3391480A1 LASERVORRICHTUNG MIT EINEM OPTISCHEN RESONATOR UND VERFAHREN ZUM JUSTIEREN DER LASERVORRICHTUNG 审中-公开
公开(公告)号：EP3391480A1
公开(公告)日：2018-10-24
申请号：EP16809007.4
申请日：2016-12-07
申请人： Rofin Sinar Laser GmbH
发明人： SCHOLZ-RIECKE, Sina , KUGLER, Nicolas
IPC分类号： H01S3/08 , H01S3/081 , H01S3/06
CPC分类号： H01S3/0615 , H01S3/0606 , H01S3/0612 , H01S3/0617 , H01S3/0627 , H01S3/08022 , H01S3/08059 , H01S3/0813 , H01S3/086 , H01S3/094038 , H01S3/1022 , H01S3/113
摘要： The invention relates to an optical resonator (1) for a laser device (20), in particular for a microchip solid-state laser, comprising an optical medium (4) which is arranged between a first and a second reflective element (2, 3) that are arranged at a distance from one another in a longitudinal direction (P). The optical resonator length is specified by the distance from the first reflective element (2) to the second reflective element (3) in the longitudinal direction (P), the longitudinal extent of the medium (4) arranged between the reflective elements, and the refractive index thereof. According to the invention, the optical resonator length varies in at least one lateral direction (L) running perpendicularly to the longitudinal direction (P). The invention further relates to a laser device (20) comprising such a resonator (1) and to a method for adjusting the laser device (20).

94. 发明公开

EP2946447A1 ENHANCEMENT RESONATOR INCLUDING NON-SPHERICAL MIRRORS 有权
标题翻译： VERSTÄRKUNGSRESONATOR非球面反射镜
公开(公告)号：EP2946447A1
公开(公告)日：2015-11-25
申请号：EP13701704.2
申请日：2013-01-16
申请人： Max-Planck-Gesellschaft zur Förderung der Wissenschaften e.V. , Ludwig-Maximilians-Universität München
发明人： PUPEZA, Ioachim , CARSTENS, Henning , HOLZBERGER, Simon , FILL, Ernst , KRAUSZ, Ferenc
IPC分类号： H01S3/00 , H05G2/00
CPC分类号： H01S3/083 , G02F2203/15 , H01S3/005 , H01S3/08059 , H01S3/086 , H01S3/094 , H05G2/00
摘要： An enhancement resonator (20) being configured for generating intra-resonator laser light (1) by coherent superposition of input laser light, comprises at least three resonator mirrors (21, 22, 23, 24) spanning a ring resonator path in one common resonator plane, said resonator path being free of a laser light amplifying medium, wherein the at least three resonator mirrors (21, 22, 23, 24) include at least two toroidal mirrors and/or at least one cylindrical mirror. Furthermore, a laser device (100) comprising the enhancement resonator (20) and a method of generating intra-resonator laser light (1) are described.

95. 发明公开

EP2535988A3 Laser and optical amplifier 审中-公开
标题翻译：激光器和光放大器
公开(公告)号：EP2535988A3
公开(公告)日：2014-05-07
申请号：EP12171607.0
申请日：2012-06-12
申请人： Laser Quantum Inc.
发明人： Cox, Alan
IPC分类号： H01S3/067 , H01S3/094
CPC分类号： H01S3/067 , H01S3/06716 , H01S3/06733 , H01S3/06754 , H01S3/08009 , H01S3/08059 , H01S3/086 , H01S3/091 , H01S3/0933 , H01S3/094015 , H01S3/094038 , H01S3/0941 , H01S3/09415
摘要： An optical fibre laser or amplifier comprising an optical fibre (10) and a pump radiation source configured to generate pump radiation (19) which is received through an input end (8, 17, 20) of the optical fibre (10), the optical fibre comprising a doped core (14) located within cladding (15) which is configured to guide the pump radiation (19), the doped core (14) being configured to generate or amplify and guide signal radiation when pump radiation (19) passes through it, wherein the optical fibre laser or amplifier further comprises a first reflector (18) configured to reflect pump radiation (19) which has travelled from the input end (8, 20) to an output end (18) of the optical fibre (10), and further comprises a second reflector (8, 17) configured to selectively reflect a portion of pump radiation (19) which has travelled from the output end (18) to the input end (8, 17, 20) of the optical fibre (10), wherein the selection of the portion of pump radiation (19) to be reflected by the second reflector (8, 17) depends upon one or more of: the spatial position of the pump radiation, the direction of the pump radiation, and the polarisation of the pump radiation.

96. 发明公开

EP2284965A1 Laserresonator mit verkippungs-unempfindlichen Spiegeln 审中-公开
标题翻译：激光记录仪
公开(公告)号：EP2284965A1
公开(公告)日：2011-02-16
申请号：EP09167189.1
申请日：2009-08-04
申请人： High Q Technologies GmbH , Kopf, Daniel, Dr.
发明人： Kopf, Daniel
IPC分类号： H01S3/08 , H01S3/086 , H01S3/081 , H01S3/11
CPC分类号： H01S3/08059 , H01S3/08072 , H01S3/0813 , H01S3/0815 , H01S3/086 , H01S3/09415 , H01S3/1118 , H01S3/1618
摘要： In einer Laseranordnung mit mindestens einem Lasermedium (2') zur Erzeugung einer Laseremission, einem Laserresonator mit einem Strahlgang (SG) mit einer Länge von wenigstens 20 cm und mit wenigstens einem Endspiegel (6') ist der Strahlgang (SG) innerhalb des Laserresonators zumindest teilweise als Freistrahloptik ausgebildet. Ein im Strahlgang angeordnetes Resonatorelement (9) weist wenigstens zwei optischen Flächen als mit der über den Strahlgang (SG) geführten Strahlung wechselwirkenden Flächen auf, wobei diese optischen Flächen so miteinander starr verbunden und gemeinsam im Strahlgang (SG) justierbar sind, dass sie bei Verkippung um einen Fehlwinkel im wesentlichen den gleichen Effekt auf die Führung des Strahlgangs (SG) erzielen, jedoch mit umgekehrtem Vorzeichen, so dass eine gegenseitige Kompensation von Verkippungsfehlern erfolgt.
摘要翻译：激光装置具有用于产生激光发射的激光介质（2'）和具有长度为20厘米的光束路径（SG）和端镜的激光谐振器。谐振器元件设置有与通过光束路径引导的光束相互作用的两个特别分离的光学表面。谐振器元件布置在光束路径中。两个光学表面由设置在公共支撑元件上的分开的子元件形成。谐振器元件还包括用于在激光器布置中布置在激光谐振器的光束路径中的独立权利要求。

97. 发明公开

EP2189768A1 Mirror Structure 审中-公开
标题翻译：镜像结构
公开(公告)号：EP2189768A1
公开(公告)日：2010-05-26
申请号：EP08275076.1
申请日：2008-11-19
申请人： BAE Systems PLC
发明人： The designation of the inventor has not yet been filed
IPC分类号： G01J1/42 , G01J9/00 , G02B26/06
CPC分类号： G01J9/00 , G01J1/4257 , G01J2009/002 , H01S3/0401 , H01S3/08059 , H01S3/086 , H01S3/1307
摘要： A mirror structure is provided in which at least a portion of a wavefront sensor is integrated with a mirror. In particular, a mirror structure is provided in which a Hartmann mask or a microlens array of a Shack-Hartmann wavefront sensor is integrated with a mirror to provide a very compact wavefront detector/corrector in a single device. Such a mirror structure may be used in a laser cavity to simplify adaptive optics in the cavity. Furthermore, a Hartmann Mask may be integrated with self deforming mirror comprising an active PZT layer bonded to a passive mirror substrate, wherein the Hartmann Mask comprises an array of apertures formed through the active PZT layer.
摘要翻译：提供了一种反射镜结构，其中波前传感器的至少一部分与反射镜集成在一起。具体而言，提供了一种镜面结构，其中Shack-Hartmann波前传感器的Hartmann掩模或微透镜阵列与反射镜集成，以在单个装置中提供非常紧凑的波前检测器/校正器。这样的反射镜结构可以用在激光腔中以简化腔中的自适应光学器件。此外，Hartmann掩模可以与包括结合到无源镜基板的有源PZT层的自变形镜一体化，其中Hartmann掩模包括穿过有源PZT层形成的孔阵列。

98. 发明授权

EP1139520B1 Laser resonator 有权
标题翻译： Laserresonator
公开(公告)号：EP1139520B1
公开(公告)日：2009-08-05
申请号：EP01106799.8
申请日：2001-03-19
申请人： MITSUBISHI DENKI KABUSHIKI KAISHA
发明人： Yanagisawa, Takayuki, Mitsubishi Denki K.K. , Hirano, Yoshihito, Mitsubishi Denki K.K.
IPC分类号： H01S3/08
CPC分类号： H01S3/08045 , H01S3/08 , H01S3/0805 , H01S3/08059 , H01S3/08072 , H01S3/086

99. 发明授权

EP1330859B1 SMART LASER WITH FAST DEFORMABLE GRATING 有权
标题翻译：具有快速变形光栅智能LASER
公开(公告)号：EP1330859B1
公开(公告)日：2006-12-20
申请号：EP01273238.4
申请日：2001-10-05
申请人： Cymer, Inc.
发明人： FOMENKOV, Igor, V. , ERIE, Frederick, G. , BUCK, Jesse, D. , DAS, Palash, P.
IPC分类号： H01S3/08 , H01S3/10
CPC分类号： H01S3/13 , G03F7/70025 , G03F7/70575 , H01S3/02 , H01S3/03 , H01S3/0401 , H01S3/08059 , H01S3/0812 , H01S3/086 , H01S3/1055 , H01S3/134 , H01S3/139 , H01S3/1392 , H01S3/225 , H01S3/2256
摘要： A smart laser having automatic computer control of pulse energy, wavelength and bandwidth using feedback signals from a wavemeter. Pulse energy is controlled by controlling discharge voltage, wavelength by controlling the position of an RMAX mirror and bandwidth is controlled by adjusting the curvature of a grating (82) to shapes more complicated than simple convex or simple concave. A preferred embodiment provides seven piezoelectric driven pressure-tension locations(84) on the back side of the grating(82) at 5 horizontal locations to produce shapes such as S shapes, W shapes and twisted shapes. Preferred embodiment include automatic feedback control of horizontal and vertical beam profile by automatic adjustment of a prism plate on which beam expander prisms are located and automatic adjustment of the RMAX tilt.

100. 发明公开

EP1218985A4 HIGH POWER GAS DISCHARGE LASER WITH LINE NARROWING UNIT 审中-公开
标题翻译： HOCHLEISTUNGS GASENTLADUNGSLASER MIT EINEM LINIENBREITENVERRINGERNDEN MODUL
公开(公告)号：EP1218985A4
公开(公告)日：2006-03-22
申请号：EP00959882
申请日：2000-08-31
申请人： CYMER INC
发明人： CYBULSKI RAYMOND F , ERSHOV ALEXANDER I , ONKELS ECKEHARD D , DAS PALASH P , RICHARDSON DANILO D , BUCK JESSE D
IPC分类号： H01S3/225 , G03F7/20 , H01S3/03 , H01S3/034 , H01S3/036 , H01S3/04 , H01S3/08 , H01S3/081 , H01S3/086 , H01S3/13 , H01S3/134 , H01S3/137 , H01S3/139 , H01S3/22
CPC分类号： G03F7/70025 , G03F7/70575 , H01S3/02 , H01S3/03 , H01S3/034 , H01S3/036 , H01S3/0401 , H01S3/08009 , H01S3/08059 , H01S3/0812 , H01S3/086 , H01S3/13 , H01S3/134 , H01S3/1392 , H01S3/225 , H01S3/2256
摘要： A grating based line narrowing device for line narrowing lasers producing high energy laser beams. Techniques are provided for minimizing adverse effects of hot gas layers present on the face of the grating. In preferred embodiments the effect of the hot gas layer is reduced with the use of helium as a purge gas. One of the preferred embodiments includes a barrier plate (60) and a barrier cover (62) to force the purge flow across the face of the grating. In further embodiments the purge gas pressure is reduced to reduce the optical effects of the hot gas layer.
摘要翻译：用于生产高能量激光束的线窄激光器的基于光栅的线窄化装置。提供了用于最小化存在于光栅表面上的热气层的不利影响的技术。在优选实施例中，气流被引导穿过光栅的表面。在其它实施例中，通过使用氦气作为净化气体来减少热气体层的影响，在其它实施例中，减少吹扫气体压力以减少热气体层的光学效应。

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