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    • 6. 发明申请
    • ELECTRODES FOR FLUORINE GAS DISCHARGE LASERS
    • 氟化物放电激光电极
    • WO2005013440A2
    • 2005-02-10
    • PCT/US2004022809
    • 2004-07-16
    • CYMER INCMORTON RICHARD GMOOSMAN BRYANDYER TIMOTHYCARMICHAEL JAMES AZHANG JIPING
    • MORTON RICHARD GMOOSMAN BRYANDYER TIMOTHYCARMICHAEL JAMES AZHANG JIPING
    • H01S20060101H01S3/036H01S3/038H01S3/097H01S3/0971H01S3/225H01S
    • H01S3/0385H01S3/036H01S3/038H01S3/0381H01S3/0382H01S3/0384H01S3/0388H01S3/097H01S3/09702H01S3/0971H01S3/225H01S3/2251
    • Fluorine gas discharge laser electrodes and electrode systems are disclosed that may comprise a plurality of current return tangs extending for less than the respective length of the second elongated gas discharge electrode. In addition disclosed are electrodes that may comprise a first discharge shaping magnet mounted in a first elongated gas discharge electrode and a second discharge shaping magnet mounted in a second elongated gas discharge electrode. This may also comprise at least one of the first and second gas discharge electrodes has imbedded therein a first and a second auxiliary field creating magnet. Also disclosed is an electrode that may comprise a crown straddling the centerline axis between the pair of side walls and the pair of end walls, comprising a first material, forming at least a portion of the discharge region of the electrode and a pair of elongated high erosion regions on either side of the crown comprising a second material with a relatively higher erosion rate during gas discharge than that of the first material. Also disclosed are electrodes that may comprise a first insert in the electrode body comprising an electrically conductive material having a different coefficient of thermal conductivity than the electrode body. Also disclosed are electrodes that may have a thin film of semi-conductive material coating at least the discharge footprint of the gas discharge electrode, or at least a portion of the discharge region covered with a pre-formed reef having generally uniform pore size and distribution, and methods of making such coatings or reef. Also disclosed is a method of forming an electrode by diffusion bonding a first piece of a first material to a second piece of a second material utilizing a diffusion bonding catalyst between the first piece of material and the second piece of material during the diffusion bonding step and machining the bonded pieces to form an electrode.
    • 公开了氟气放电激光电极和电极系统,其可以包括延伸小于第二细长气体放电电极的相应长度的多个电流返回脚。 另外公开了可以包括安装在第一细长气体放电电极中的第一放电成形磁体和安装在第二细长气体放电电极中的第二放电成形磁体的电极。 这也可以包括第一和第二气体放电电极中的至少一个嵌入其中的第一和第二辅助场产生磁体。 还公开了一种电极,其可以包括跨越一对侧壁和一对端壁之间的中心线轴线的冠,包括形成电极的放电区域的至少一部分的第一材料和一对细长的高度 在冠的任一侧的侵蚀区域包括在气体放电期间具有比第一材料的侵蚀速率相对较高的第二材料。 还公开了可以包括电极体中的第一插入物的电极,其包括具有与电极体不同的导热系数的导电材料。 还公开了电极,其可以具有至少涂覆气体放电电极的放电足迹的半导电材料薄膜,或至少一部分用预先形成的具有大致均匀的孔径和分布的预定形式的礁 ,以及制造这种涂层或珊瑚礁的方法。 还公开了一种通过在扩散接合步骤期间利用第一片材料和第二片材料之间的扩散接合催化剂将第一片材料扩散接合到第二片材的第二片材来形成电极的方法,以及 加工粘合片以形成电极。
    • 10. 发明申请
    • レーザチャンバ
    • 激光室
    • WO2015125286A1
    • 2015-08-27
    • PCT/JP2014/054230
    • 2014-02-21
    • ギガフォトン株式会社
    • 池田 宏幸柿崎 弘司對馬 弘朗
    • H01S3/03
    • H01S3/038H01S3/03H01S3/036H01S3/0381H01S3/0382H01S3/0384H01S3/0385H01S3/09702H01S3/134H01S3/225H01S3/2258
    •  安定した放電を行うことができる。 レーザチャンバは、放電励起式ガスレーザ装置のレーザチャンバであって、前記レーザチャンバ内に配置された第1放電電極と、前記レーザチャンバ内で前記第1放電電極に対向して配置された第2放電電極と、前記第1放電電極と前記第2放電電極との間にレーザガスを流すファンと、前記第1放電電極におけるレーザガス流の上流側及び下流側に配置された第1絶縁部材と、前記第2放電電極における前記レーザガス流の上流側に配置された金属ダンパ部材と、前記第2放電電極における前記レーザガス流の下流側に配置された第2絶縁部材と、を備えてもよい。
    • 本发明能够进行稳定的放电。 激光室用于放电激励型气体激光装置,并且可以设置有:设置在激光室内的第一放电电极; 第二放电电极,设置在所述激光室的内部以面对所述第一放电电极; 用于使激光气体在所述第一放电电极和所述第二放电电极之间流动的风扇; 第一绝缘构件,其设置在所述第一放电电极处的所述激光气体流的上游侧和下游侧; 设置在所述第二放电电极处的所述激光气流的上游侧的金属阻尼器部件; 以及设置在第二放电电极处的激光气流的下游侧的第二绝缘构件。