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    • 10. 发明申请
    • レーザ装置
    • 激光器件
    • WO2017029729A1
    • 2017-02-23
    • PCT/JP2015/073252
    • 2015-08-19
    • ギガフォトン株式会社
    • 谷山 実溝口 計若林 理
    • H01S3/086H01S3/038
    • H01S3/038H01S3/086H01S3/0971H01S3/104H01S3/134H01S3/223
    •  本開示によるレーザ装置は、第1の方向において互いに電極ギャップを隔てて対向し、第1の方向に直交する第2の方向の放電幅が電極ギャップよりも小さい1対の放電電極、を含むレーザチャンバと、第1の方向及び第2の方向の双方に直交する第3の方向において1対の放電電極を間に挟むようにして互いに対向する第1の光学部材及び第2の光学部材を含み、1対の放電電極間で発生したレーザ光を増幅して出力させる光共振器とを備え、第1の光学部材のGパラメータをG1、第2の光学部材のGパラメータをG2としたとき、光共振器は、第2の方向において、以下の条件を満足する安定共振器を構成してもよい。 0<G1・G2<1
    • 根据本公开的激光装置设置有:激光室,其包括在第一方向上跨越电极间隔彼此相对的一对放电电极,使得与第一方向正交的截面方向上的放电宽度为 小于电极间隙; 以及光谐振器,其包括第一光学构件和第二光学构件,所述第一光学构件和第二光学构件彼此相对,以在与所述第一方向和所述第二方向正交的第三方向上插入在所述一对放电电极之间,所述谐振器放大和输出激光器 在一对放电电极之间产生的光。 光谐振器可以具有在第二方向上满足以下条件的稳定谐振器的结构,其中G1是第一光学构件的G参数,G2是第二光学构件的G参数。 0