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1. 发明专利

JPH11344436A METHOD AND DEVICE FOR AUTOMATICALLY ADJUSTING SAMPLE FOR ELLIPTICAL POLARIMETER 失效
公开(公告)号：JPH11344436A
公开(公告)日：1999-12-14
申请号：JP11116099
申请日：1999-04-19
申请人： NANOPHOTONICS AG
发明人： ABRAHAM MICHAEL , DEPNER OLIVER , EBERHARDT MATTHIAS DR
IPC分类号： G01B11/00 , G01B11/26 , G01J4/00 , G01J4/04 , G01N21/01 , G01N21/13 , G01N21/21
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a device for automatically and relatively adjusting a sample and an elliptical polarimeter without requiring any repetitive measurement. SOLUTION: A sample position recognition system 20 can be interlocked to an elliptical polarimeter, recognizes the interval between a sample 1 and the coordinate origin of an elliptical polarimeter 10, and a sample position recognition system 20 for recognizing the tilting of the sample 1 at two axial lines that orthogonally cross each other is formed, and an adjustment means acts on a sample table 2 and/or an entire device 43 comprising the sample position recognition system 20 and the elliptical polarimeter 10.

2. 发明专利

JP2005057297A Holding device for disk-like object 有权
标题翻译：用于盘式对象的保持装置
公开(公告)号：JP2005057297A
公开(公告)日：2005-03-03
申请号：JP2004232027
申请日：2004-08-09
申请人： Nanophotonics Ag , ナノフォトニクス・アーゲーNanoPhotonics AG
发明人： SIEBERT SONKE , SCHWEIGER MICHAEL , LANG ANDREAS
IPC分类号： H01L21/683 , B01L9/00 , B23Q3/00 , B25B11/00 , H01L21/68 , H01L21/687
CPC分类号： H01L21/68707 , Y10T279/1291 , Y10T279/18 , Y10T279/1961 , Y10T279/1966 , Y10T279/33
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a holding device which is capable of being easily incorporated into any manufacturing equipment, as it is formed in a manner which is as space-saving as possible as well as assuring firmly holding an object in stoppage or in rotation. SOLUTION: At least one opening mechanism (100) and at least one pretension element (12) are incorporated into a holding arm fixing means (2) positioned at center and/or holding arms (7). COPYRIGHT: (C)2005,JPO&NCIPI
摘要翻译：解决的问题：提供一种能够容易地结合到任何制造设备中的保持装置，因为其以尽可能节省空间的方式形成，并且确保牢固地保持物体停止或旋转。解决方案：至少一个打开机构（100）和至少一个预张紧元件（12）被结合到位于中心和/或保持臂（7）的保持臂固定装置（2）中。版权所有（C）2005，JPO＆NCIPI

3. 发明专利

JP2000097776A MICRO POLARIMETER AND ELLIPTIC POLARIMETER 失效
公开(公告)号：JP2000097776A
公开(公告)日：2000-04-07
申请号：JP26221899
申请日：1999-09-16
申请人： NANOPHOTONICS AG
发明人： ABRAHAM MICHAEL , EBERHARDT MATTHIAS DR
IPC分类号： G01J4/04 , G01N21/21 , G02B5/18 , G02B5/30
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a compact micro polarimater and elliptic polarimeter wherein characteristics of a sample is measured by a simple method by constituting a retarder as an integral retarder array comprising pixels. SOLUTION: A retarder is an integral retarder array comprising at least one pixel group while the pixel group is provided with at least three pixels 23 comprising lined-up main axes 24 which are distributed across the angular range of 360 deg.. These pixels 23 are formed of two lattices. The main axis 24 with lined-up lattice has different angle. A lattice structure body comprises a transparent material, forming a single unit together with a transparent retarder substrate 22. These lattices of the pixel 23 are manufactured by an electron beam lithography coupled with an ion beam etching method. After the lattice is manufactured, a lattice substrate unit is bonded and combined with an analyzer 5 which is combined with a CCD detector 7.

4. 发明专利

TWI270157B 測量裝置 MEASUREMENT ARRANGEMENT 有权
简体标题：测量设备 MEASUREMENT ARRANGEMENT
公开(公告)号：TWI270157B
公开(公告)日：2007-01-01
申请号：TW091100775
申请日：2002-01-18
申请人：億恒科技公司 INFINEON TECHNOLOGIES AG , 微光子技術公司 NANOPHOTONICS AG
发明人：麥可艾柏拉漢 MICHAEL ABRAHAM , 艾克哈德馬克斯 ECKHARD MARX
IPC分类号： H01L
CPC分类号： H01L21/67253 , H01L21/67772
摘要：一種測量裝置(1)，即一度量工具及一車輛(2)，其結合來提供在一製造設施中的活動性度量。週邊設備，例如一裝置轉換單元(3)，可用於例如半導體製造中的FOUPs，一電子控制系統(5)具有例如一個人電腦，監視器及鍵盤，及選擇性的一真空泵(9)，其亦可提供在該車輛(2)的模組架構中。該測量配置特別可以降低例如像是在半導體製造設施的快速設置階段期間，製程工具(40)的設備驗證中的瓶頸狀況，藉此來節省成本。該架構係基於PGVs或AGVs，並允許直接在一製程工具(40)的位置處進行快速操作。除了可能的電源供應或操作者控制之例外狀況，該測量配置可以完全獨立地操作。
简体摘要：一种测量设备(1)，即一度量工具及一车辆(2)，其结合来提供在一制造设施中的活动性度量。周边设备，例如一设备转换单元(3)，可用于例如半导体制造中的FOUPs，一电子控制系统(5)具有例如一个人电脑，监视器及键盘，及选择性的一真空泵(9)，其亦可提供在该车辆(2)的模块架构中。该测量配置特别可以降低例如像是在半导体制造设施的快速设置阶段期间，制程工具(40)的设备验证中的瓶颈状况，借此来节省成本。该架构系基于PGVs或AGVs，并允许直接在一制程工具(40)的位置处进行快速操作。除了可能的电源供应或操作者控制之例外状况，该测量配置可以完全独立地操作。

5. 发明申请

WO2010015696A1 INSPEKTIONSVORRICHTUNG- UND VERFAHREN FÜR DIE OPTISCHE UNTERSUCHUNG VON OBJEKTOBERFLÄCHEN, INSBESONDERE EINER WAFERNOTCH 审中-公开
标题翻译： INSPEKTIONSVORRICHTUNG-和方法适合对象曲面的光学调查成果，特别是在晶片NOTCH
公开(公告)号：WO2010015696A1
公开(公告)日：2010-02-11
申请号：PCT/EP2009/060255
申请日：2009-08-06
申请人： NANOPHOTONICS AG , DREWS, Dietrich , GUCKES, Manfred , NIKOLOV, Mladen
发明人： DREWS, Dietrich , GUCKES, Manfred , NIKOLOV, Mladen
IPC分类号： G01N21/95 , G01N21/88
CPC分类号： G01N21/9503 , G01N21/8806 , G01N2021/8822 , G01N2021/8825
摘要： Die Erfindung betrifft eine Inspektionsvorrichtung und ein Inspektionsverfahren für die optische Untersuchung von Objektoberflächen im Bereich eines Strukturmerkmals einer Kante des Objekts, insbesondere für die optische Untersuchung der Notch eines Wafers. Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren wird ein digitales Bild von einer Objektkante wenigstens im Bereich eines Strukturmerkmals mittels einer Digitalkamera unter Dunkeifeldbeleuchtung aufgenommen und aus Bildpunktinformationen des Dunkelfeldbildes wenigstens ein typischer Reflex des Strukturmerkmals unter Dunkelfeldbeleuchtung identifiziert. Nach einem anderen Aspekt der Erfindung wird das digitale Bild so aufgenommen, dass eine Hauptfläche in der Kantenumgebung unter Hellfeldbeleuchtung und die Objektkante im Dunkelfeld liegt. Während des Aufnehmens ist eine Hintergrund beleuchtung auf der der Digitalkamera abgewandten Seite des Objekts zugeschaltet, deren Licht in Richtung der Digitalkamera abstrahlt und teilweise von dem Objekt abgeschattet wird. Aus Bildpunktinformationen des Hellfeldbildes wird anhand eines Kontrastunterschiedes zwischen der Hauptfläche und der Objektkante und/oder zwischen der Objektkante und der Hintergrundbeleuchtung wenigstens die Form des Strukturmerkmals identifiziert.
摘要翻译：本发明涉及的检查装置和用于物体的表面的在所述物体的边缘的结构特征的区域中的光学检查用于晶片的凹口的光学检查的检查方法，尤其如此。在本发明方法的对象的边缘的一个数字图像中的结构特征的区域中至少采取由Dunkeifeldbeleuchtung下的数码相机的装置和从至少在暗视场照明的功能的典型的反射的暗场图像的像素信息来标识。根据本发明的另一个方面，数字图像被记录，使得在所述边缘环境的一个主要表面低于明视场照明，并在暗视场中物体边缘。当记录一个背景照明是在物体的数字照相机侧的相反侧被切换，这在数字照相机的方向上发射光，并通过该对象被部分遮挡。所述亮场图像的像素信息的，该特征的形状由所述主表面和所述物体之间和/或所述对象边缘和背光至少的边缘之间的对比度差来标识。

6. 发明申请

WO2010015695A1 INSPEKTIONSVORRICHTUNG- UND VERFAHREN FÜR DIE OPTISCHE UNTERSUCHUNG VON OBJEKTOBERFLÄCHEN, INSBESONDERE VON WAFERKANTEN 审中-公开
标题翻译： INSPEKTIONSVORRICHTUNG-和方法适合对象曲面的光学调查成果，特别是晶圆边缘
公开(公告)号：WO2010015695A1
公开(公告)日：2010-02-11
申请号：PCT/EP2009/060254
申请日：2009-08-06
申请人： NANOPHOTONICS AG , DREWS, Dietrich
发明人： DREWS, Dietrich
IPC分类号： G01N21/95
CPC分类号： G01N21/9503 , G01N2021/8896
摘要： Die Erfindung betrifft eine Inspektionsvorrichtung und ein Inspektionsverfahren für die optische Untersuchung von Objektoberflächen, insbesondere von Waferkanten. Das Inspektionsverfahren sieht vor, dass ein digitales Bild von einer Objektkante (18) mittels einer Digitalkamera (14) aufgenommen wird. Während des Aufnehmens des Kantenbiides ist eine Hintergrundbeleuchtung auf der der Digitalkamera abgewandten Seite des Objektes (10) zugeschaltet, deren Licht in Richtung der Digitaikamera (14) abstrahlt, wobei das in Richtung der Digitaikamera (14) abgestrahlte Licht teilweise von dem Objekt (10) abgeschattet wird. Weiterhin wird eine sich an die Objektkante anschließende ebene Hauptfläche (22) in der Kantenumgebung mittels einer Ebenenbeleuchtungseinrichtung (30) beleuchtet, so dass ein Hellfeldbild der Hauptfläche (22) erzeugt wird. Aus Bildpunktinformationen des Bildes wird anhand eines Kontrastes zwischen der Objektkaπte (18) und dem Hintergrund ein Randes des Objekts (10) ermittelt und anhand eines Kontrastes zwischen der Objektkante (18) und der Hauptfläche (22) eine Übergangslinie (Bevelline).
摘要翻译：本发明涉及的检查装置和用于物体表面的光学检查的检查方法，尤其是晶片边沿的。检查方法提供了一个对象边缘（18），由数字照相机（14）的装置的数字图像被接收。在从物体的数字照相机侧远程的Kantenbiides的记录上侧的背光源（10）连接，发射它的光在Digitaikamera（14），其中所述光在Digitaikamera（14）的光的方向发射部分地从对象的方向（10）被遮蔽。此外，在随后的主平面的边缘的物体（22）照射在所述边缘环境由平面照明装置（30）的装置，从而产生主表面（22）的亮场图像。所述图像的像素信息的对象（10）的过渡线（Bevelline）的边缘被确定，并且对象边缘（18），以及基于所述Objektkapte（18）之间的对比度的主表面（22）和背景之间的对比度的基础上。

7. 发明申请

WO2006072422A1 GREIFER ZUM HALTEN POSITIONIEREN EINES SCHEIBEN-ODER PLATTENFÖRMIGEN OBJEKTS UND VERFAHREN ZUM HALTEN UND POSITIONIEREN EINES SCHEIBEN-ODER PLATTENFÖRMIGEN OBJEKTS 审中-公开
标题翻译：抢HOLDING定位磁盘或磁盘状物体AND METHOD FOR HOLDING和定位磁盘或磁盘状物体
公开(公告)号：WO2006072422A1
公开(公告)日：2006-07-13
申请号：PCT/EP2005/014013
申请日：2005-12-23
申请人： NANOPHOTONICS AG , SIEBERT, Sönke , LANG, Andreas , BINDER, Alfred , ABRAHAM, Michael
发明人： SIEBERT, Sönke , LANG, Andreas , BINDER, Alfred , ABRAHAM, Michael
IPC分类号： H01L21/683 , B65G47/91 , H01L21/68
CPC分类号： H01L21/6838 , H01L21/68
摘要： Es wird ein Greifer (20) zum berührungsfreien Halten und präzisen Positionieren eines scheiben- oder plattenförmigen Objekts (31, 32) vorgeschlagen, der eine Haltevorrichtung (21) zur Erzeugung einer im Wesentlichen senkrecht zur Haupterstreckungsebene des Objekts (31, 32) wirkenden Haltekraft aufweist, wobei der Greifer (20) von der Haltevorrichtung (21) getrennte Positionierungsdüsen (22) aufweist, die zur Erzeugung einer im Wesentlichen parallel zur Haupterstreckungsebene des Objekts (31, 32) wirkenden Positionierungskraft mittels eines aus den Positionierungsdüsen (22) austretenden Fluids vorgesehen sind.
摘要翻译：它是用于非接触保持和一个圆盘或板状物体的精确定位（31，32），提出了一种夹持器（20），具有保持力，保持装置（21），用于产生一个基本垂直于所述物体的主延伸平面（31，32）作用其中，所述保持装置的夹具（20）（21）单独的定位的喷嘴（22），作用以产生一个基本上平行于通过定位喷嘴中的一个出现的对象（31，32）的主延伸平面上的定位力被提供（22）流体，

8. 发明申请

WO2009127573A3 CLASSIFICATION DEVICE AND METHOD FOR THE CLASSIFICATION OF SURFACE DEFECTS ESPECIALLY ON WAFER SURFACES 审中-公开
标题翻译：分类设备和方法分类尤其是晶片表面表面缺陷
公开(公告)号：WO2009127573A3
公开(公告)日：2010-04-01
申请号：PCT/EP2009054215
申请日：2009-04-08
申请人： NANOPHOTONICS AG , BUGNER DIRK , SITOV SERGEI , NIKOLOV MLADEN
发明人： BUGNER DIRK , SITOV SERGEI , NIKOLOV MLADEN
IPC分类号： G06T7/00
CPC分类号： G01N21/9503 , G01N2021/8854 , G06T2207/30148
摘要： The invention relates to a classification device, a classification method, and a computer program product for the classification of surface defects on the surfaces of objects, especially on wafer surfaces. According to the method, the surface defect is associated with a pre-defined defect category for which at least one piece of property information from the group of compulsory conditions and property value distributions is stored. Values of defined defect properties of the surface defect are determined, the determined defect property values are checked to see that they meet the compulsory conditions if at least one compulsory condition is stored, the association with the defect category is approved if the compulsory conditions are met and no characteristic value distribution for the defect category is stored, and a probability value for the association of the surface defect with the defect category is determined by comparing the property value distributions with the determined defect characteristic values if at least one property value distribution for the defect category is stored.
摘要翻译：本发明涉及一种分类设备，分类方法和表面缺陷的物体上的表面的分类的计算机程序产品，特别是在晶片的表面。根据预定的缺陷类的表面缺陷的本发明的方法被分配给选自强制性条款和属性值分布的属性信息被存储至少。在这种情况下，当检测到的表面缺陷的某些缺陷特性的值，来确定检查的严格条件达成缺陷属性值，如果必要条件被存储至少，属于缺陷类肯定的，如果强制性条件满足并且不用于缺陷类属性值分布被存储，并且一个如果通过存储用于缺陷类的至少一个属性值的分布进行比较与所确定的缺陷的属性值的特性值分布的表面缺陷的缺陷类的关联来确定概率值。

9. 发明申请

WO2010015694A1 INSPEKTIONSVORRICHTUNG- UND VERFAHREN FÜR DIE OPTISCHE UNTERSUCHUNG VON OBJEKTOBERFLÄCHEN, INSBESONDERE VON WAFERKANTEN 审中-公开
标题翻译： INSPEKTIONSVORRICHTUNG-和方法适合对象曲面的光学调查成果，特别是晶圆边缘
公开(公告)号：WO2010015694A1
公开(公告)日：2010-02-11
申请号：PCT/EP2009/060253
申请日：2009-08-06
申请人： NANOPHOTONICS AG , DREWS, Dietrich , BODDEN, Andreas , SCHRAUTH, Ralph
发明人： DREWS, Dietrich , BODDEN, Andreas , SCHRAUTH, Ralph
IPC分类号： G01N21/95
CPC分类号： G01N21/9503 , G01N2021/8896
摘要： Die Erfindung betrifft eine Inspektionsvorrichtung und ein Inspektionsverfahren für die optische Untersuchung von Objektoberflächen in einer Kantenumgebung eines ansonsten im Wesentlichen ebenen Objekts (10), insbesondere von Waferkanten. Die Inspektionsvorrichtung weist wenigstens eine der Objektoberfläche unter einem schrägen Winkel zur Objektebene zugewandte und auf die Objektkante (18) fokussierbare Digitalkamera (14) und eine Ebenenbeleuchtungseinrichtung (30), die relativ zur Digitalkamera (14) und zur Objektoberfläche so angeordnet ist, dass ein Bild einer sich an die Objektkante anschließenden ebenen Hauptfläche (22) der Objektoberfläche in der Kantenumgebung unter Hellfeldbeleuchtung erzeugt werden kann, auf, wobei die Ebenenbeleuchtungseinrichtung (30) eine Kolümationseinrichtung umfasst.
摘要翻译：本发明涉及的检查装置和在边缘的对象的表面的光学检查的检查方法围绕否则基本上平坦的物体（10），特别是晶片的边缘。检查装置包括所述对象的表面的至少一个在面向物平面和可聚焦数码相机（14）的对象边缘（18）的倾斜角度和面状照明装置（30）相对于所述的数码相机（14）和被设置到对象表面上，使得图像一个在物体面的物体随后主平坦表面（22）的边缘可在上下明场照明的边缘环境，其中，所述面状照明装置（30）包括一个Kolümationseinrichtung产生。

10. 发明申请

WO2008037791A1 HALTE- UND DREHVORRICHTUNG FÜR BERÜHRUNGSEMPFINDLICHE EBENE OBJEKTE 审中-公开
标题翻译：控股及转向装置压感触控LEVEL建筑
公开(公告)号：WO2008037791A1
公开(公告)日：2008-04-03
申请号：PCT/EP2007/060302
申请日：2007-09-28
申请人： NANOPHOTONICS AG , SIEBERT, Sönke , DREWS, Dietrich , WENZ, Holger
发明人： SIEBERT, Sönke , DREWS, Dietrich , WENZ, Holger
IPC分类号： H01L21/687
CPC分类号： H01L21/68728 , H01L21/68 , H01L21/6838
摘要： Die Erfindung betrifft eine Halte- Drehvorrichtung für berührungsempfindliche ebene Objekte, insbesondere Wafer (16, 61, 80), mit einer Einrichtung zur Abstandspositionierung, welche eingerichtet ist, das Objekt (16, 61, 80) in Richtung senkrecht zur Objektebene auf einem definierten Abstand zu halten, einer Einrichtung zur lateralen Positionierung (20), welche eingerichtet ist, das Objekt (16, 61, 80) in der Objektebene zu positionieren und sich mit dem Objekt (16, 61, 80) um eine Rotationsachse senkrecht zur Objektebene mitzudrehen, und mit einem eine Antriebskraft zur Drehung des Objekts (16, 61, 80) um die Rotationsachse bereitstellenden Rotationsantrieb (34), welcher mit der Einrichtung zur lateralen Positionierung (20) gekoppelt ist, wobei die Antriebskraft mittels der Einrichtung zur lateralen Positionierung (20) in das Objekt (16, 61, 80) einleitbar ist. Die Einrichtung zur Abstandspositionierung weist Mittel zum berührungslosen Halten des Objekts (16, 61, 80) auf und ist vom Rotationsantrieb (34) der Art entkoppelt, dass die Einrichtung zur Abstandspositionierung sich nicht mit dem Objekt mitdreht.
摘要翻译：本发明涉及一种具有距离定位装置，其适于在所述方向上的物体（16，61，80）的保持为触敏扁平物体的旋转装置，特别是晶片（16，61，80）垂直于在限定的距离内的对象平面以保持其适于所述对象（16，61，80）在所述物平面，并与围绕旋转轴线共同旋转垂直于物平面上的物体（16，61，80）来移动的侧向定位装置（20），和针对该对象的绕其耦合到所述侧向定位装置（20），所述旋转轴提供旋转驱动器（34）的驱动力（61 16，80），其中通过横向定位装置的驱动力（20）在所述对象（16，61，80）可被引入。的距离定位装置具有用于所述对象（16，61，80）和去耦，该距离定位装置不与对象旋转的类型的旋转驱动器（34）的非接触保持装置。

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