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1. 发明申请

WO2008037791A1 HALTE- UND DREHVORRICHTUNG FÜR BERÜHRUNGSEMPFINDLICHE EBENE OBJEKTE 审中-公开
标题翻译：控股及转向装置压感触控LEVEL建筑
公开(公告)号：WO2008037791A1
公开(公告)日：2008-04-03
申请号：PCT/EP2007/060302
申请日：2007-09-28
申请人： NANOPHOTONICS AG , SIEBERT, Sönke , DREWS, Dietrich , WENZ, Holger
发明人： SIEBERT, Sönke , DREWS, Dietrich , WENZ, Holger
IPC分类号： H01L21/687
CPC分类号： H01L21/68728 , H01L21/68 , H01L21/6838
摘要： Die Erfindung betrifft eine Halte- Drehvorrichtung für berührungsempfindliche ebene Objekte, insbesondere Wafer (16, 61, 80), mit einer Einrichtung zur Abstandspositionierung, welche eingerichtet ist, das Objekt (16, 61, 80) in Richtung senkrecht zur Objektebene auf einem definierten Abstand zu halten, einer Einrichtung zur lateralen Positionierung (20), welche eingerichtet ist, das Objekt (16, 61, 80) in der Objektebene zu positionieren und sich mit dem Objekt (16, 61, 80) um eine Rotationsachse senkrecht zur Objektebene mitzudrehen, und mit einem eine Antriebskraft zur Drehung des Objekts (16, 61, 80) um die Rotationsachse bereitstellenden Rotationsantrieb (34), welcher mit der Einrichtung zur lateralen Positionierung (20) gekoppelt ist, wobei die Antriebskraft mittels der Einrichtung zur lateralen Positionierung (20) in das Objekt (16, 61, 80) einleitbar ist. Die Einrichtung zur Abstandspositionierung weist Mittel zum berührungslosen Halten des Objekts (16, 61, 80) auf und ist vom Rotationsantrieb (34) der Art entkoppelt, dass die Einrichtung zur Abstandspositionierung sich nicht mit dem Objekt mitdreht.
摘要翻译：本发明涉及一种具有距离定位装置，其适于在所述方向上的物体（16，61，80）的保持为触敏扁平物体的旋转装置，特别是晶片（16，61，80）垂直于在限定的距离内的对象平面以保持其适于所述对象（16，61，80）在所述物平面，并与围绕旋转轴线共同旋转垂直于物平面上的物体（16，61，80）来移动的侧向定位装置（20），和针对该对象的绕其耦合到所述侧向定位装置（20），所述旋转轴提供旋转驱动器（34）的驱动力（61 16，80），其中通过横向定位装置的驱动力（20）在所述对象（16，61，80）可被引入。的距离定位装置具有用于所述对象（16，61，80）和去耦，该距离定位装置不与对象旋转的类型的旋转驱动器（34）的非接触保持装置。

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