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1. 发明申请

WO2008037791A1 HALTE- UND DREHVORRICHTUNG FÜR BERÜHRUNGSEMPFINDLICHE EBENE OBJEKTE 审中-公开
标题翻译：控股及转向装置压感触控LEVEL建筑
公开(公告)号：WO2008037791A1
公开(公告)日：2008-04-03
申请号：PCT/EP2007/060302
申请日：2007-09-28
申请人： NANOPHOTONICS AG , SIEBERT, Sönke , DREWS, Dietrich , WENZ, Holger
发明人： SIEBERT, Sönke , DREWS, Dietrich , WENZ, Holger
IPC分类号： H01L21/687
CPC分类号： H01L21/68728 , H01L21/68 , H01L21/6838
摘要： Die Erfindung betrifft eine Halte- Drehvorrichtung für berührungsempfindliche ebene Objekte, insbesondere Wafer (16, 61, 80), mit einer Einrichtung zur Abstandspositionierung, welche eingerichtet ist, das Objekt (16, 61, 80) in Richtung senkrecht zur Objektebene auf einem definierten Abstand zu halten, einer Einrichtung zur lateralen Positionierung (20), welche eingerichtet ist, das Objekt (16, 61, 80) in der Objektebene zu positionieren und sich mit dem Objekt (16, 61, 80) um eine Rotationsachse senkrecht zur Objektebene mitzudrehen, und mit einem eine Antriebskraft zur Drehung des Objekts (16, 61, 80) um die Rotationsachse bereitstellenden Rotationsantrieb (34), welcher mit der Einrichtung zur lateralen Positionierung (20) gekoppelt ist, wobei die Antriebskraft mittels der Einrichtung zur lateralen Positionierung (20) in das Objekt (16, 61, 80) einleitbar ist. Die Einrichtung zur Abstandspositionierung weist Mittel zum berührungslosen Halten des Objekts (16, 61, 80) auf und ist vom Rotationsantrieb (34) der Art entkoppelt, dass die Einrichtung zur Abstandspositionierung sich nicht mit dem Objekt mitdreht.
摘要翻译：本发明涉及一种具有距离定位装置，其适于在所述方向上的物体（16，61，80）的保持为触敏扁平物体的旋转装置，特别是晶片（16，61，80）垂直于在限定的距离内的对象平面以保持其适于所述对象（16，61，80）在所述物平面，并与围绕旋转轴线共同旋转垂直于物平面上的物体（16，61，80）来移动的侧向定位装置（20），和针对该对象的绕其耦合到所述侧向定位装置（20），所述旋转轴提供旋转驱动器（34）的驱动力（61 16，80），其中通过横向定位装置的驱动力（20）在所述对象（16，61，80）可被引入。的距离定位装置具有用于所述对象（16，61，80）和去耦，该距离定位装置不与对象旋转的类型的旋转驱动器（34）的非接触保持装置。

2. 发明申请

WO2010015694A1 INSPEKTIONSVORRICHTUNG- UND VERFAHREN FÜR DIE OPTISCHE UNTERSUCHUNG VON OBJEKTOBERFLÄCHEN, INSBESONDERE VON WAFERKANTEN 审中-公开
标题翻译： INSPEKTIONSVORRICHTUNG-和方法适合对象曲面的光学调查成果，特别是晶圆边缘
公开(公告)号：WO2010015694A1
公开(公告)日：2010-02-11
申请号：PCT/EP2009/060253
申请日：2009-08-06
申请人： NANOPHOTONICS AG , DREWS, Dietrich , BODDEN, Andreas , SCHRAUTH, Ralph
发明人： DREWS, Dietrich , BODDEN, Andreas , SCHRAUTH, Ralph
IPC分类号： G01N21/95
CPC分类号： G01N21/9503 , G01N2021/8896
摘要： Die Erfindung betrifft eine Inspektionsvorrichtung und ein Inspektionsverfahren für die optische Untersuchung von Objektoberflächen in einer Kantenumgebung eines ansonsten im Wesentlichen ebenen Objekts (10), insbesondere von Waferkanten. Die Inspektionsvorrichtung weist wenigstens eine der Objektoberfläche unter einem schrägen Winkel zur Objektebene zugewandte und auf die Objektkante (18) fokussierbare Digitalkamera (14) und eine Ebenenbeleuchtungseinrichtung (30), die relativ zur Digitalkamera (14) und zur Objektoberfläche so angeordnet ist, dass ein Bild einer sich an die Objektkante anschließenden ebenen Hauptfläche (22) der Objektoberfläche in der Kantenumgebung unter Hellfeldbeleuchtung erzeugt werden kann, auf, wobei die Ebenenbeleuchtungseinrichtung (30) eine Kolümationseinrichtung umfasst.
摘要翻译：本发明涉及的检查装置和在边缘的对象的表面的光学检查的检查方法围绕否则基本上平坦的物体（10），特别是晶片的边缘。检查装置包括所述对象的表面的至少一个在面向物平面和可聚焦数码相机（14）的对象边缘（18）的倾斜角度和面状照明装置（30）相对于所述的数码相机（14）和被设置到对象表面上，使得图像一个在物体面的物体随后主平坦表面（22）的边缘可在上下明场照明的边缘环境，其中，所述面状照明装置（30）包括一个Kolümationseinrichtung产生。

3. 发明申请

WO2010015696A1 INSPEKTIONSVORRICHTUNG- UND VERFAHREN FÜR DIE OPTISCHE UNTERSUCHUNG VON OBJEKTOBERFLÄCHEN, INSBESONDERE EINER WAFERNOTCH 审中-公开
标题翻译： INSPEKTIONSVORRICHTUNG-和方法适合对象曲面的光学调查成果，特别是在晶片NOTCH
公开(公告)号：WO2010015696A1
公开(公告)日：2010-02-11
申请号：PCT/EP2009/060255
申请日：2009-08-06
申请人： NANOPHOTONICS AG , DREWS, Dietrich , GUCKES, Manfred , NIKOLOV, Mladen
发明人： DREWS, Dietrich , GUCKES, Manfred , NIKOLOV, Mladen
IPC分类号： G01N21/95 , G01N21/88
CPC分类号： G01N21/9503 , G01N21/8806 , G01N2021/8822 , G01N2021/8825
摘要： Die Erfindung betrifft eine Inspektionsvorrichtung und ein Inspektionsverfahren für die optische Untersuchung von Objektoberflächen im Bereich eines Strukturmerkmals einer Kante des Objekts, insbesondere für die optische Untersuchung der Notch eines Wafers. Bei dem erfindungsgemäßen Verfahren wird ein digitales Bild von einer Objektkante wenigstens im Bereich eines Strukturmerkmals mittels einer Digitalkamera unter Dunkeifeldbeleuchtung aufgenommen und aus Bildpunktinformationen des Dunkelfeldbildes wenigstens ein typischer Reflex des Strukturmerkmals unter Dunkelfeldbeleuchtung identifiziert. Nach einem anderen Aspekt der Erfindung wird das digitale Bild so aufgenommen, dass eine Hauptfläche in der Kantenumgebung unter Hellfeldbeleuchtung und die Objektkante im Dunkelfeld liegt. Während des Aufnehmens ist eine Hintergrund beleuchtung auf der der Digitalkamera abgewandten Seite des Objekts zugeschaltet, deren Licht in Richtung der Digitalkamera abstrahlt und teilweise von dem Objekt abgeschattet wird. Aus Bildpunktinformationen des Hellfeldbildes wird anhand eines Kontrastunterschiedes zwischen der Hauptfläche und der Objektkante und/oder zwischen der Objektkante und der Hintergrundbeleuchtung wenigstens die Form des Strukturmerkmals identifiziert.
摘要翻译：本发明涉及的检查装置和用于物体的表面的在所述物体的边缘的结构特征的区域中的光学检查用于晶片的凹口的光学检查的检查方法，尤其如此。在本发明方法的对象的边缘的一个数字图像中的结构特征的区域中至少采取由Dunkeifeldbeleuchtung下的数码相机的装置和从至少在暗视场照明的功能的典型的反射的暗场图像的像素信息来标识。根据本发明的另一个方面，数字图像被记录，使得在所述边缘环境的一个主要表面低于明视场照明，并在暗视场中物体边缘。当记录一个背景照明是在物体的数字照相机侧的相反侧被切换，这在数字照相机的方向上发射光，并通过该对象被部分遮挡。所述亮场图像的像素信息的，该特征的形状由所述主表面和所述物体之间和/或所述对象边缘和背光至少的边缘之间的对比度差来标识。

4. 发明申请

WO2010015695A1 INSPEKTIONSVORRICHTUNG- UND VERFAHREN FÜR DIE OPTISCHE UNTERSUCHUNG VON OBJEKTOBERFLÄCHEN, INSBESONDERE VON WAFERKANTEN 审中-公开
标题翻译： INSPEKTIONSVORRICHTUNG-和方法适合对象曲面的光学调查成果，特别是晶圆边缘
公开(公告)号：WO2010015695A1
公开(公告)日：2010-02-11
申请号：PCT/EP2009/060254
申请日：2009-08-06
申请人： NANOPHOTONICS AG , DREWS, Dietrich
发明人： DREWS, Dietrich
IPC分类号： G01N21/95
CPC分类号： G01N21/9503 , G01N2021/8896
摘要： Die Erfindung betrifft eine Inspektionsvorrichtung und ein Inspektionsverfahren für die optische Untersuchung von Objektoberflächen, insbesondere von Waferkanten. Das Inspektionsverfahren sieht vor, dass ein digitales Bild von einer Objektkante (18) mittels einer Digitalkamera (14) aufgenommen wird. Während des Aufnehmens des Kantenbiides ist eine Hintergrundbeleuchtung auf der der Digitalkamera abgewandten Seite des Objektes (10) zugeschaltet, deren Licht in Richtung der Digitaikamera (14) abstrahlt, wobei das in Richtung der Digitaikamera (14) abgestrahlte Licht teilweise von dem Objekt (10) abgeschattet wird. Weiterhin wird eine sich an die Objektkante anschließende ebene Hauptfläche (22) in der Kantenumgebung mittels einer Ebenenbeleuchtungseinrichtung (30) beleuchtet, so dass ein Hellfeldbild der Hauptfläche (22) erzeugt wird. Aus Bildpunktinformationen des Bildes wird anhand eines Kontrastes zwischen der Objektkaπte (18) und dem Hintergrund ein Randes des Objekts (10) ermittelt und anhand eines Kontrastes zwischen der Objektkante (18) und der Hauptfläche (22) eine Übergangslinie (Bevelline).
摘要翻译：本发明涉及的检查装置和用于物体表面的光学检查的检查方法，尤其是晶片边沿的。检查方法提供了一个对象边缘（18），由数字照相机（14）的装置的数字图像被接收。在从物体的数字照相机侧远程的Kantenbiides的记录上侧的背光源（10）连接，发射它的光在Digitaikamera（14），其中所述光在Digitaikamera（14）的光的方向发射部分地从对象的方向（10）被遮蔽。此外，在随后的主平面的边缘的物体（22）照射在所述边缘环境由平面照明装置（30）的装置，从而产生主表面（22）的亮场图像。所述图像的像素信息的对象（10）的过渡线（Bevelline）的边缘被确定，并且对象边缘（18），以及基于所述Objektkapte（18）之间的对比度的主表面（22）和背景之间的对比度的基础上。

5. 发明申请

WO2009127574A1 INSPEKTIONSSYSTEM UND -VERFAHREN FÜR DIE OPTISCHE UNTERSUCHUNG VON OBJEKTKANTEN, INSBESONDERE VON WAFERKANTEN 审中-公开
标题翻译：检查系统和方法用于物体边缘，特别是晶片边缘的光学调查成果
公开(公告)号：WO2009127574A1
公开(公告)日：2009-10-22
申请号：PCT/EP2009/054216
申请日：2009-04-08
申请人： NANOPHOTONICS AG , BUGNER, Dirk , NIKOLOV, Mladen , LAUBE, Frank , SITOV, Sergei , DREWS, Dietrich
发明人： BUGNER, Dirk , NIKOLOV, Mladen , LAUBE, Frank , SITOV, Sergei , DREWS, Dietrich
IPC分类号： G01N21/95
CPC分类号： G01N21/9503 , G01N2021/8825
摘要： Die Anmeldung betrifft ein Inspektionssystem und ein Inspektionsverfahren für die optische Untersuchung von Objektkanten, insbesondere von Waferkanten. Das Inspektionsverfahren sieht die Schritte vor: Aufnehmen eines digitalen Bildes von der Objektkante mittels Digitalkamera (101, 202, 212, 222) unter Hellfeldbeleuchtung, Aufnehmen eines digitalen Bildes von der Objektkante mittels Digitalkamera (101, 202, 212, 222) unter Dunkelfeldbeleuchtung und Zusammenfassen der Bildinformation aus dem Hellfeldbild und dem Dunkelfeldbild. Das Zusammenfassen der Bildinformation umfasst vorzugsweise ein Zuordnen zusammenhängender Bildpunkte in dem Hellfeldbild zu einem Defektfragment (301, 301', 302, 302', 441,.442, 443, 444, 446) in Abhängigkeit von den Bildpunktinhalten, ein Zuordnen zusammenhängender Bildpunkte in dem Dunkelfeldbild zu einem Defektfragment in Abhängigkeit von den Bildpunktinhalten, und ein Zusammenfassen der Defektfragmente aus dem Hellfeldbild und dem DunkelfeldbiId in einem gemeinsamen virtuellen Kantenbild.
摘要翻译：本申请涉及的检查系统和用于物体边缘的光学检查的检查方法，特别是晶片的边缘。检查方法提供如下步骤：在暗场照明和总结通过数字照相机的装置接收所述对象边缘的数字图像（101，202，212，222）下明场照明，通过数字照相机的装置获取所述对象边缘的数字图像（101，202，212，222）来自亮场图像和暗场图像的图像信息。的图像信息的分组优选地包括在所述明视场图像的连续像素的映射到一个缺陷片段（301，301”，302,302' ，441，0.442，443，444，446）作为像素含量的函数，分配在连续的像素暗视场图像中根据图像点内容，并在共同的虚拟边缘图像从亮场图像的缺陷片段和DunkelfeldbiId组合缺陷片段。

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