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1. 发明申请

WO2021110318A1 VERFAHREN ZUR ERMITTLUNG EINER ÄNDERUNG EINER ROTATORISCHEN ORIENTIERUNG IM RAUM EINES NMR-GYROSKOPS UND NMR-GYROSKOP 审中-公开
公开(公告)号：WO2021110318A1
公开(公告)日：2021-06-10
申请号：PCT/EP2020/079605
申请日：2020-10-21
申请人： ROBERT BOSCH GMBH
发明人： FUCHS, Tino , RIEDRICH-MOELLER, Janine , BRENNEIS, Andreas , ROELVER, Robert , CURCIC, Michael , DEGENFELD-SCHONBURG, Peter
IPC分类号： G01C19/62 , G01R33/032
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Ermittlung einer rotatorischen Orientierungsänderung mittels eines NMR-Gyroskops sowie ein NMR-Gyroskop. Die Erfindung bedient sich der Maßnahme, bei einer Dampfzelle (104), welche zumindest mit einem gasförmigen ersten Element und einem gasförmigen zweiten Element mit nicht verschwindendem Kernspin gefüllt ist, eine Kernspinkomponente des zweiten Elements in der zweiten Richtung (2) und eine Kernspinkomponente des zweiten Elements in einer dritten Richtung (3) zu bestimmen. Hierbei unterscheiden sich die zweite (2) und dritte Richtung (3) voneinander. Außerdem sind beide Richtungen senkrecht zu einer ersten Richtung (1), die der Richtung des statischen Magnetfeldes und der Polarisationsrichtung der Kernspins des zweiten Elements entspricht. Weiterhin entspricht die zweite Richtung (2) der Richtung eines angelegten Magnetwechselfeldes, dessen Frequenz der Larmorfrequenz der Larmorpräzession der Kernspins des zweiten Elements um das statische Magnetfeld entspricht. Daraus können dann eine rotatorische Orientierungsänderung ermittelt werden mit einer Drehachse parallel zu der ersten Richtung (1), eine rotatorische Orientierungsänderung mit einer Drehachse parallel zu der zweiten Richtung (2) und eine rotatorische Orientierungsänderung mit einer Drehachse parallel zu der dritten Richtung (3).

2. 发明申请

WO2019048171A1 DREIACHSIGE MIKROMECHANISCHE DREHRATEN-SENSORANORDNUNG MIT LINEAR UND ROTATORISCH ANTREIBBAREN SENSOREINRICHTUNGEN 审中-公开
公开(公告)号：WO2019048171A1
公开(公告)日：2019-03-14
申请号：PCT/EP2018/071565
申请日：2018-08-08
申请人： ROBERT BOSCH GMBH
发明人： NEUL, Reinhard , LASSL, Andreas , KUHLMANN, Burkhard , DEGENFELD-SCHONBURG, Peter , PRUETZ, Odd-Axel , KUHLMANN, Nils Felix , LIEWALD, Jan-Timo , BODE, Niels , KUEHNEL, Matthias
IPC分类号： G01C19/5712 , G01C19/5747
摘要： Die Erfindung schafft eine mikromechanische Drehraten-Sensoranordnung und ein entsprechendes Herstellungsverfahren. Die mikromechanische Drehraten-Sensoranordnung umfasst eine rotatorisch um eine erste Achse (z) oszillierend antreibbare erste Drehratensensoreinrichtung (100) zum Erfassen einer ersten äußeren Drehrate um eine zweite Achse (y) und einer zweiten äußeren Drehrate um eine dritte Achse (x), wobei die erste, zweite und dritte Achse (z, y, x) senkrecht zueinander angeordnet sind, und eine linear oszillierend entlang der zweiten Achse (y) durch eine Antriebseinrichtung (AT; AT'; AT") antreibbare zweite Drehratensensoreinrichtung (200; 201; 202) zum Erfassen einer dritten äußeren Drehrate um die erste Achse (z). Die zweite Drehratensensoreinrichtung (200; 201; 202) ist mit der ersten Drehratensensoreinrichtung (100) zum Antreiben der ersten Drehratensensoreinrichtung (100) durch die Antriebseinrichtung (200; 201; 202) über eine erste Kopplungseinrichtung (S1, F5; S2, F6; SA, SB, F12) verbunden.

3. 发明申请

WO2019063399A1 MEMS-VORRICHTUNG MIT UNTERDRÜCKUNG VON STÖRMODEN SOWIE ENTSPRECHENDES BETRIEBSVERFAHREN 审中-公开
公开(公告)号：WO2019063399A1
公开(公告)日：2019-04-04
申请号：PCT/EP2018/075431
申请日：2018-09-20
申请人： ROBERT BOSCH GMBH
发明人： NEUL, Reinhard , LASSL, Andreas , DEGENFELD-SCHONBURG, Peter , KUHLMANN, Nils Felix , SCHATZ, Frank , BODE, Niels , KUEHNEL, Matthias
IPC分类号： B81B3/00 , G01C19/5733
摘要： Die Erfindung schafft eine MEMS-Vorrichtung sowie ein entsprechendes Betriebsverfahren. Die MEMS-Vorrichtung ist ausgestattet mit einem schwingungsfähigen mikromechanischen System (100), welches in einer Mehrzahl von Nutzmoden anregbar ist, wobei das schwingungsfähige mikromechanische System (100) mindestens eine Systemkomponente (1) aufweist, welche durch eine Überlagerung der Nutzmoden in mindestens einem parasitären Störmode anregbar ist. Es ist eine Abgleicheinrichtung (50) vorgesehen, welche derart gestaltet ist, dass sie durch Anlegen einer elektromagnetischen Wechselwirkung (W) an die Systemkomponente (1) dem parasitären Störmode entgegenwirkt.

4. 发明申请

WO2019030036A1 DREHRATENSENSOR, VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES DREHRATENSENSORS 审中-公开
公开(公告)号：WO2019030036A1
公开(公告)日：2019-02-14
申请号：PCT/EP2018/070567
申请日：2018-07-30
申请人： ROBERT BOSCH GMBH
发明人： NEUL, Reinhard , LASSL, Andreas , LIEWALD, Jan-Timo , BODE, Niels , KUEHNEL, Matthias , KUHLMANN, Burkhard , PRUETZ, Odd-Axel , KUHLMANN, Nils Felix , DEGENFELD-SCHONBURG, Peter
IPC分类号： G01C19/5783 , G01C19/5733
摘要： Es wird ein Drehratensensor mit einem Substrat beansprucht, wobei das Substrat eine Haupterstreckungsebene (110, 120) aufweist, wobei der Drehratensensor mindestens ein erstes und ein zweites in Schwingung versetzbares Masseelement aufweist (10, 20), wobei eine erste Haupterstreckungsrichtung (110) des Substrats von dem ersten Masseelement (10) zum zweiten Masseelement (20) zeigt, wobei in die erste Haupterstreckungsrichtung (110) zwischen dem ersten und zweiten Masseelement (10, 20) eine Koppelstruktur (30) angeordnet ist, dadurch gekennzeichnet, dass ein erster Koppelbereich (31) der Koppelstruktur (30) in einer ersten Funktionsschicht (1) angeordnet ist, wobei ein erster Massebereich (11) des ersten Masseelements (10) in der ersten Funktionsschicht (1) angeordnet ist, wobei ein zweiter Massebereich (12) des ersten Masseelements (10) in einer zweiten Funktionsschicht (2) angeordnet ist, wobei die erste Funktionsschicht (1) in eine Erstreckungsrichtung (200), senkrecht zur Haupterstreckungsebene (110, 120), zwischen dem Substrat und der zweiten Funktionsschicht (2) angeordnet ist, wobei eine zweite Haupterstreckungsrichtung (120) senkrecht auf der ersten Haupterstreckungsrichtung (110) steht, wobei der erste Koppelbereich (31) in die erste Haupterstreckungsrichtung (110) eine größere Ausdehnung aufweist als in die zweite Haupterstreckungsrichtung (120).

5. 发明申请

WO2020002381A1 MIKROMECHANISCHES BAUELEMENT UND VERFAHREN ZUM BETRIEB EINES MIKROMECHANISCHEN BAUELEMENTS 审中-公开
公开(公告)号：WO2020002381A1
公开(公告)日：2020-01-02
申请号：PCT/EP2019/066917
申请日：2019-06-25
申请人： ROBERT BOSCH GMBH
发明人： NEUL, Reinhard , LASSL, Andreas , BODE, Niels , KUEHNEL, Matthias , CURCIC, Michael , KUHLMANN, Nils Felix , DEGENFELD-SCHONBURG, Peter
IPC分类号： G01C19/5719 , G01C19/5726
摘要： Es wird ein Verfahren zum Betrieb eines mikromechanischen Bauelements vorgeschlagen, wobei das mikromechanische Bauelement einen Massenschwinger und eine Antriebsstruktur aufweist, wobei die Antriebsstruktur zur Anregung einer nichtlinearen Antriebsschwingung des Massenschwingers konfiguriert ist, wobei die Antriebsschwingung bei kleinen Amplituden eine Basisfrequenz aufweist und bei größeren Amplituden eine Frequenz aufweist, die gegenüber der Basisfrequenz verschoben ist, wobei durch Anpassung der Amplitude der Antriebsschwingung die Frequenz der Antriebsschwingung auf eine Zielfrequenz eingestellt wird, wobei die Zielfrequenz größer oder kleiner als die Basisfrequenz ist. Ferner wird ein mikromechanisches Bauelement, aufweisend einen Massenschwinger und eine Antriebsstruktur vorgeschlagen, wobei die Antriebsstruktur zur Anregung einer nichtlinearen Antriebsschwingung des Massenschwingers konfiguriert ist.

6. 发明申请

WO2019030041A1 VERFAHREN ZUR BEREITSTELLUNG EINES DETEKTIONSSIGNALS FÜR ZU DETEKTIERENDE OBJEKTE 审中-公开
公开(公告)号：WO2019030041A1
公开(公告)日：2019-02-14
申请号：PCT/EP2018/070589
申请日：2018-07-30
申请人： ROBERT BOSCH GMBH
发明人： UTERMOEHLEN, Fabian , LEIDICH, Stefan , DEGENFELD-SCHONBURG, Peter
IPC分类号： G01S17/10 , G01S7/481 , G01S7/486 , G01S7/487
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Bereitstellung eines Detektionssignals für zu detektierende Objekte (70), wobei - mittels eines ersten optischen nicht-linearen 3-Wellenprozesses (30, 30a) aus einem Lichtstrahl einer Lichtquelle (10) mit einer Ausgangsfrequenz (f laser ) zumindest ein erster und ein zweiter Lichtstrahl erzeugt werden, die unterschiedliche Frequenz (f obj , f ref ) aufweisen und wobei - der erste Lichtstrahl mit einer Referenzfrequenz (f ref ) detektiert wird und wobei - der zweite Lichtstrahl mit einer Objektfrequenz (f obj ) ausgesendet und nach Reflexion an einem Objekt (70) empfangen wird und wobei - der Lichtstrahl mit der Ausgangsfrequenz (f laser ) und der zweite Lichtstrahl mit der Objektfrequenz (f obj ) überlagert werden, und wobei - mittels eines zweiten optischen nicht-linearen 3-Wellenprozesses (30, 30b) aus den beiden überlagerten Lichtstrahlen mit der Ausgangsfrequenz (f laser ) und mit der Objektfrequenz (f obj ) ein Referenzstrahl mit Referenzfrequenz (f ref ) erzeugt wird, und wobei - ein Detektionssignal erzeugt wird, derart, dass anhand der Zeitdifferenz zwischen der Detektion des ersten Lichtstrahls mit der Referenzfrequenz (f ref ) und einer Detektion einer Änderung des Referenzstrahls mit Referenzfrequenz (f ref ) auf Grund besagter Überlagerung die Entfernung (d) des Objekts (70) bestimmbar ist.

7. 发明申请

WO2021165015A1 MIKROMECHANISCHE DREHRATEN-SENSORANORDNUNG, DREHRATEN-SENSORARRAY UND ENTSPRECHENDES HERSTELLUNGSVERFAHREN 审中-公开
公开(公告)号：WO2021165015A1
公开(公告)日：2021-08-26
申请号：PCT/EP2021/052067
申请日：2021-01-29
申请人： ROBERT BOSCH GMBH
发明人： NEUL, Reinhard , LASSL, Andreas , KUHLMANN, Burkhard , DEGENFELD-SCHONBURG, Peter , KUHLMANN, Nils Felix , KUEHNEL, Matthias , PRUETZ, Odd-Axel , LIEWALD, Jan-Timo , BODE, Niels
IPC分类号： G01C19/56 , G01C19/5712
摘要： Die Erfindung schafft eine mikromechanische Drehraten-Sensoranordnung, ein Drehraten-Sensorarray und ein entsprechendes Herstellungsverfahren. Die mikromechanische Drehraten-Sensoranordnung umfasst eine rotatorisch um eine erste Achse (z) oszillierend durch eine Antriebseinrichtung (AT1, AT2) über eine Antriebsrahmeneinrichtung (RA1a, RA1b, RA2a, RA2b) antreibbare erste Drehratensensoreinrichtung (100) zum Erfassen einer ersten äußeren Drehrate um eine zweite Achse (y) und einer zweiten äußeren Drehrate um eine dritte Achse (x), wobei die erste, zweite und dritte Achse (z, y, x) senkrecht zueinander angeordnet sind; und eine linear oszillierend entlang der zweiten Achse (y) durch die Antriebseinrichtung (AT1, AT2) über die Antriebsrahmeneinrichtung (RA1a, RA1b, RA2a, RA2b) antreibbare zweite Drehratensensoreinrichtung (200) zum Erfassen einer dritten äußeren Drehrate um die erste Achse (z). Die erste Drehratensensoreinrichtung (100) ist über die Antriebsrahmeneinrichtung (RA1a, RA1b, RA2a, RA2b) mit der zweiten Drehratensensoreinrichtung (200) verbunden. Die Antriebsrahmeneinrichtung (RA1a, RA1b, RA2a, RA2b) weist einen ersten Antriebsrahmen (RA1a, RA1b) und einen zweiten Antriebsrahmen (RA2a, RA2b) auf, welche durch die Antriebseinrichtung (AT1, AT2) gegenphasig entlang der dritten Achse (x) oszillierend antreibbar sind. Wippen verbinden erste und zweite Rotoreinrichtungen und die ersten und zweiten Antriebsrahmen.

8. 发明申请

WO2019091788A1 DREHRATENSENSOR MIT EINEM EINE HAUPTERSTRECKUNGSEBENE AUFWEISENDEN SUBSTRAT, HERSTELLUNGSVERFAHREN FÜR EINEN DREHRATENSENSOR 审中-公开
公开(公告)号：WO2019091788A1
公开(公告)日：2019-05-16
申请号：PCT/EP2018/079262
申请日：2018-10-25
申请人： ROBERT BOSCH GMBH
发明人： NEUL, Reinhard , LASSL, Andreas , KUHLMANN, Burkhard , DEGENFELD-SCHONBURG, Peter , KUHLMANN, Nils Felix , LIEWALD, Jan-Timo , BODE, Niels , KUEHNEL, Matthias
IPC分类号： G01C19/5712
摘要： Drehratensensor (1) mit einem eine Haupterstreckungsebene (100, 200) aufweisenden Substrat beansprucht, wobei der Drehratensensor (1) eine Rotationselementanordnung (10, 20) umfasst, wobei die Rotationselementanordnung (10, 20) zur Detektion von Drehraten anliegend in einer ersten Haupterstreckungsachse (100) des Substrats und von Drehraten anliegend in einer zur ersten Haupterstreckungsachse (100) senkrechten zweiten Haupterstreckungsachse (200) des Substrats ausgebildet ist, dadurch gekennzeichnet, dass der Drehratensensor (1) eine Sensoranordnung (40) aufweist, wobei die Sensoranordnung (40) zur Detektion einer senkrecht zu der Haupterstreckungsebene (100, 200) des Substrats anliegenden Drehrate ausgebildet ist, wobei sowohl die Sensoranordnung (40) als auch die Rotationselementanordnung (10, 20) mithilfe einer Antriebsanordnung (30) antreibbar sind, wobei die Antriebsanordnung (30) zur Antriebsbewegung entlang der ersten Haupterstreckungsachse (100) ausgebildet ist.

9. 发明申请

WO2019030037A1 EIN- UND ZWEIACHSIGER DREHRATENSENSOR 审中-公开
公开(公告)号：WO2019030037A1
公开(公告)日：2019-02-14
申请号：PCT/EP2018/070574
申请日：2018-07-30
申请人： ROBERT BOSCH GMBH
发明人： NEUL, Reinhard , LASSL, Andreas , BODE, Niels , KUHLMANN, Burkhard , KUHLMANN, Nils Felix , DEGENFELD-SCHONBURG, Peter
IPC分类号： G01C19/574 , G01C19/5747
摘要： Es wird ein Drehratensensor (1) mit einem, eine Haupterstreckungsebene aufweisenden Substrat und einem ersten Massenschwinger (2) und einem zweiten Massenschwinger (3) beansprucht, wobei der erste und zweite Massenschwinger (2, 3) mit dem Substrat schwingungsfähig verbunden sind und darüber hinaus der erste Massenschwinger (2) und der zweite Massenschwinger (3) schwingungsfähig miteinander verbunden sind, wobei der erste Massenschwinger (2) eine erste Elektrodenanordnung (7) umfasst, wobei der zweite Massenschwinger (3) eine zweite Elektrodenanordnung (8) umfasst, wobei das Substrat eine dritte Elektrodenanordnung (9) umfasst, wobei der Drehratensensor (1) zur Detektion einer ersten Drehrate um eine erste Drehachse konfiguriert ist und/oder der Drehratensensor (1) zur Detektion einer zweiten Drehrate um eine zweite Drehachse konfiguriert ist, wobei sich die erste Drehachse entlang einer zur Haupterstreckungsebene im Wesentlichen parallel angeordneten X-Richtung (101) erstreckt, wobei sich die zweite Drehachse entlang einer zur Haupterstreckungsebene im Wesentlichen senkrecht angeordneten Z-Richtung (103) erstreckt, wobei der erste Massenschwinger (2) und der zweite Massenschwinger (3) in einer Antriebsbewegungsrichtung gegenphasig entlang einer senkrecht zur X-Richtung (101) und senkrecht zur Z-Richtung (103) angeordneten Y-Richtung (102) auslenkbar sind, wobei der erste und zweite Massenschwinger (2, 3) bei einer Drehung um die erste Drehachse eine erste Kraft in Z-Richtung (103) erfahren, wobei der erste und zweite Massenschwinger (2, 3) bei Drehung um die zweite Drehachse eine zweite Kraft in X-Richtung (101) erfahren.

10. 发明申请

WO2018224468A1 VERFAHREN ZUR BEREITSTELLUNG EINES DETEKTIONSSIGNALS FÜR ZU DETEKTIERENDE OBJEKTE 审中-公开
公开(公告)号：WO2018224468A1
公开(公告)日：2018-12-13
申请号：PCT/EP2018/064697
申请日：2018-06-05
申请人： ROBERT BOSCH GMBH
发明人： UTERMOEHLEN, Fabian , DEGENFELD-SCHONBURG, Peter , LEIDICH, Stefan
IPC分类号： G01S17/10 , G01S7/483 , G02F1/39
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Bereitstellung eines Detektionssignals für zu detektierende Objekte (70), wobei zwei erste Photonenpakete (4, 5) unterschiedlicher Wellenlänge (λ1, λ2) mit verschränkten Photonenpaaren erzeugt werden und wobei Photonen eines der ersten Photonenpakete (4, λ1) auf ein Objekt (70) ausgesendet werden wobei das vom Objekt (70) reflektierte Photonenpaket (λ1) dann mittels Quantenverschränkung mit dem zweiten ersten Photonenpaket (5, λ2) wechselwirkt und wobei das Detektionssignal basierend auf der Zeitdifferenz von Aussendung des ersten Photonenpakets (4, λ1) auf das Objekt (70) und Detektion einer Wechselwirkung zwischen den beiden Photonenpaketen (λ1, λ2) erzeugt wird.

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