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    • 1. 发明申请
    • SCANSYSTEM UND SENDE- UND EMPFANGSVORRICHTUNG FÜR EIN SCANSYSTEM
    • WO2019048148A1
    • 2019-03-14
    • PCT/EP2018/071127
    • 2018-08-03
    • ROBERT BOSCH GMBH
    • HOLLECZEK, AnnemarieHATTASS, MirkoHAS, RemigiusSCHMIDT, Benjamin
    • G01S7/481G01S17/42G01S17/89G01S17/93
    • Die Erfindung betrifft ein Scansystem (1), aufweisend einen Sende- und Empfangspfad (10, 12) mit einem Sender (11) und einem Empfänger (13) und einer rotierenden Scanvorrichtung 2. Der Sender (11) sendet Strahlung (3) aus, die sich entlang einer optischen Achse auf dem Sendepfad (10) ausbreitet. Die vom Zielobjekt (4) empfangene Strahlung (7) wird vom Empfänger (13) auf dem Empfangspfad (12) detektiert. Ferner umfasst die rotierende Scanvorrichtung (2) eine Optik (30) und eine rotierende Ablenkeinheit (33), welche die Strahlung des Sende- und Empfangspfads (10, 12) ablenkt. Die Optik (30) weist eine erste Fokussiereinrichtung (31) und eine rotierende zweite Fokussiereinrichtung (32) auf. Die Bewegungen der rotierenden Ablenkeinheit (33) und der rotierenden zweiten Fokussiereinrichtung (32) erfolgen synchron, um eine Ausrichtung der abgelenkten Strahlung mit der zweiten Fokussiereinrichtung (32) zu gewährleisten. Des Weiteren bildet die erste Fokussiereinrichtung (31) die vom Sender (11) ausgesandte Strahlung (3) so auf die rotierende Ablenkeinheit (33) ab, dass der Strahldurchmesser auf der rotierenden Ablenkeinheit (33) reduziert ist. Darüber hinaus, lenkt die rotierende Ablenkeinheit (33) die Strahlung (3) auf die rotierende zweite Fokussiereinrichtung (32) um, und die rotierende zweite Fokussiereinrichtung (32) kollimiert die Strahlung (3) zum Zielobjekt (4) hin. Die rotierende zweite Fokussiereinrichtung (32) bildet die vom Zielobjekt (4) empfangene Strahlung (7) so auf die rotierende Ablenkeinheit (33) ab, dass der Strahldurchmesser auf der rotierenden Ablenkeinheit (33) reduziert ist, und die rotierende Ablenkeinheit (33) lenkt die empfangene Strahlung (7) zum Empfänger 13 μm.
    • 3. 发明申请
    • DREHRATENSENSOR MIT MINIMIERTEN STÖRBEWEGUNGEN IN DER ANTRIEBSMODE
    • 旋转速率传感器,以传输模式最小寄生运动
    • WO2017012748A1
    • 2017-01-26
    • PCT/EP2016/061717
    • 2016-05-24
    • ROBERT BOSCH GMBH
    • LASSL, AndreasKUHLMANN, BurkhardHATTASS, MirkoHOEPPNER, ChristianSCHMIDT, BenjaminBALSLINK, Thorsten
    • G01C19/5747
    • G01C19/5747B81B3/0054B81B2201/0228G01C19/5712G01C19/5726G01C19/5762
    • Es wird ein Drehratensensor mit einem Substrat mit einer Haupterstreckungsebene und mit mindestens einer gegenüber dem Substrat beweglichen ersten Struktur und mit mindestens einer gegenüber dem Substrat und gegenüber der ersten Struktur beweglichen zweiten Struktur vorgeschlagen, wobei der Drehratensensor mindestens eine erste Antriebsstruktur zur Auslenkung der ersten Struktur aus einer Ruhelage der ersten Struktur mit einer Bewegungskomponente im Wesentlichen parallel zu einer ersten Achse umfasst, wobei der Drehratensensor mindestens eine zweite Antriebsstruktur zur Auslenkung der zweiten Struktur aus einer Ruhelage der zweiten Struktur mit einer Bewegungskomponente im Wesentlichen parallel zu der ersten Achse umfasst, wobei die erste Struktur und die zweite Struktur zu einer im Wesentlichen gegenphasigen Schwingung mit Bewegungskomponenten im Wesentlichen parallel zu der ersten Achse anregbar sind, wobei die erste Antriebsstruktur mindestens eine an dem Substrat befestigte erste Feder derart aufweist, dass die erste Feder einem Verschwenken der ersten Struktur im Wesentlichen um eine zu einer senkrecht zu der Haupterstreckungsebene verlaufenden zweiten Achse parallel verlaufende Achse entgegenwirkt, wobei die zweite Antriebsstruktur mindestens eine an dem Substrat befestigte zweite Feder derart aufweist, dass die zweite Feder einem Verschwenken der zweiten Struktur im Wesentlichen um eine zu der zweiten Achse parallel verlaufende weitere Achse entgegenwirkt.
    • 它至少建议一个相对的衬底和第一结构可移动的第二结构相反,具有具有主延伸平面,并且具有至少一个基片可移动的第一结构对面和衬底的横摆率传感器,其中至少一个第一驱动结构的用于第一结构的偏转旋转率传感器 包括用一个移动分量与第一结构的一个静止位置基本上平行于第一轴线,旋转速度传感器包括用于从与一个移动分量与第二结构的一个静止位置,所述第二结构的偏转至少一个第二驱动器结构,其基本上平行于所述第一轴线,其中所述第一 结构和第二结构,以基本上反相振荡运动部件基本平行于所述第一轴线能够被激发,其中,所述第一驱动结构的至少一个固定到基板只 ,E菲德具有这样一种方式,第一弹簧反作用于第一结构的枢转大致到的平面垂直于所述第二轴线平行于所述轴线延伸,其中所述第二驱动器结构包括至少一个固定于所述基底的第二弹簧,以使第二主延伸平面 弹簧反作用于第二结构的枢转基本上是一个平行于另一个轴线延伸的第二轴线。
    • 4. 发明申请
    • DREHRATENSENSOR MIT EINEM EINE HAUPTERSTRECKUNGSEBENE AUFWEISENDEN SUBSTRAT ZUR DETEKTION EINER DREHRATE
    • 与延长密钥水平上具有基板检测转速旋转速率传感器
    • WO2014184225A1
    • 2014-11-20
    • PCT/EP2014/059816
    • 2014-05-14
    • ROBERT BOSCH GMBH
    • MAUL, RobertKUHLMANN, BurkhardHATTASS, MirkoAMELING, RalfSCHMIDT, BenjaminSCHEBEN, RolfBALSLINK, Thorsten
    • G01C19/5747
    • G01C19/5705G01C19/5719G01C19/574G01C19/5747
    • Es wird ein Drehratensensor (100) mit einem eine Haupterstreckungsebene aufweisenden Substrat (1) zur Detektion einer Drehrate, wobei sich die Drehrate in eine sich entweder parallel zur Haupterstreckungsebene oder senkrecht zur Haupterstreckungsebene verlaufende Richtung erstreckt, wobei der Drehratensensor ein primäres Paar seismischer Massen (11,12) und eine sekundäres Paar seismischer Massen (21,22) umfasst, wobei das primäre Paar seismischer Massen eine erste Primärmasse (11) und eine zweite Primärmasse (12) aufweist und das sekundäre Paar seismischer Massen eine erste Sekundärmasse (21) und eine zweite Sekundärmasse (22) aufweist, wobei die erste Primärmasse und die zweite Primärmasse zueinander entlang einer parallel zur Haupterstreckungsebene des Drehratensensors verlaufenden primären Auslenkungsrichtung (P) relativ zum Substrat bewegbar sind und die erste Sekundärmasse und die zweite Sekundärmasse entlang einer parallel zur Haupterstreckungsebene des Drehratensensors verlaufenden sekundären Auslenkungsrichtung (S) relativ zum Substrat bewegbar sind, wobei einerseits die erste und zweite Primärmasse und andererseits die erste und die zweite Sekundärmasse entweder antiparallel oder parallel zueinander gemäß der jeweiligen Auslenkungsrichtung bewegbar sind, dadurch gekennzeichnet, dass sich die primäre Auslenkungsrichtung im Wesentlichen senkrecht zur sekundären Auslenkungsrichtung erstreckt und wobei das primäre Paar seismischer Massen und/oder das sekundäre Paar seismischer Massen so antreibbar sind, dass bei einer Rotation des Drehratensensor die Corioliskraft zur Auslenkung der ersten Primärmasse und der zweiten Primärmasse und/oder der ersten Sekundärmasse und der zweiten Sekundärmasse führt.
    • 会有具有横摆率传感器(100),一主延伸平面基板,具有(1)用于检测的横摆率,其中所述旋转速度在一个延伸或者平行于主平面或垂直于延伸方向,旋转速度传感器(初级对地震震动质量11的主平面 ,12)和次级对震动块(21,22),其中所述第一对振动质量的具有第一初级质量(11)和第二主质量(12)和辅助对敏感质量块的,一个第一辅块(21)和一个 第二辅块(22),其中,所述第一主质量和第二主质量对于彼此沿平行于延伸的主偏转方向(P)的旋转率传感器的主延伸平面的方向是相对于所述基板和第一辅块和沿着平行于所述Drehratensens的主延伸平面中的第二辅块可动 延伸二次偏转方向(S)ORS是相对于衬底,其特征在于,一方面,第一和第二主质量和在另一方面中,第一和第二辅块或者是反平行或彼此平行根据相应的偏转可动可动,其特征在于所述主偏转方向大致 垂直于副偏转方向上延伸,并且其中所述第一对振动质量和/或辅助对震动块的被驱动使得,对于所述旋转速率传感器的旋转,科里奥利力偏转所述第一主质量和第二初级质量和/或所述第一辅块和第二 次质量导致。
    • 6. 发明申请
    • MIKROMECHANISCHES SENSORBAUTEIL FÜR EINEN DREHRATENSENSOR
    • MICRO机械传感器对于组分A的横摆率传感器
    • WO2015193028A1
    • 2015-12-23
    • PCT/EP2015/060099
    • 2015-05-07
    • ROBERT BOSCH GMBH
    • OHMS, TorstenMAUL, RobertHATTASS, MirkoHOEPPNER, ChristianSCHMIDT, BenjaminSCHEBEN, Rolf
    • G01C19/5733G01C19/5747
    • G01C19/5747G01C19/5733
    • Die Erfindung betrifft ein mikromechanisches Sensorbauteil für einen Drehratensensor mit einer ersten, zweiten, dritten und vierten seismischen Masse (12a bis 12d), welche um einen Zwischenraum der an einer Halterung (10) verstellbar angeordnet sind, dass die erste seismische Masse (12a) und die zweite seismische Masse (12b) zumindest entlang einer ersten Schwingachse (14) und die dritte seismische Masse (12c) und die vierte seismische Masse (12d) zumindest entlang einer zweiten Schwingachse (16) verstellbar sind, wobei eine erste Wippenstruktur (26a) über ein erstes Wippen-Koppelelement (28a) mit der ersten seismischen Masse (12a) und über ein zweites Wippen-Koppelelement (28b) mit der zweiten seismischen Masse (12b) verbunden ist und benachbart zu einer Außenseite (30a) der dritten seismischen Masse (12c) so an der Halterung (10) angeordnet ist, dass die erste Wippenstruktur (26a) in Bezug zu der Halterung (10) in eine erste Wippbewegung um eine vorgegebene erste Drehachse (32a) versetzbar ist.
    • 本发明涉及一种用于被布置成通过一个支架(10)的间隙可调,配有第一,第二,第三和第四振动质量的旋转率传感器(12a至12d)的微机械传感器装置,使得第一振动质量(12a)和 所述第二振动质量(12B)在沿振荡上的第一轴线(14)和所述第三振动质量(12C)和第四震动块(12D)沿振荡(16)的第二轴线至少是可调的,其特征在于,第一摇杆结构(26a)的至少 第一摇杆耦合元件(28A)到所述第一振动质量(12a)和第二摇杆耦合元件(28B)与所述第二振动质量(12b)的连接,并且邻近于第三振动质量的外侧(30A)(12C ),以便(在托架10)被布置成使得第一摇杆结构(26a)的相对于在第一摇摆运动保持器(10)(约旋转32a的预定的第一轴线) 可以设置。
    • 7. 发明申请
    • INTERPOSER FÜR DIE MONTAGE EINES VERTIKAL HYBRID INTEGRIERTEN BAUTEILS AUF EINEM BAUTEILTRÄGER
    • INTERPOSER用于垂直混合集成成分对一分量载波的安装
    • WO2015185449A1
    • 2015-12-10
    • PCT/EP2015/061946
    • 2015-05-29
    • ROBERT BOSCH GMBH
    • NEUL, ReinhardCLASSEN, JohannesKRAMER, TorstenREINMUTH, JochenHATTASS, MirkoTEBJE, LarsMEISEL, Daniel ChristophREICHENBACH, RalfHEUCK, FriedjofPUYGRANIER, Antoine
    • B81B7/00G01L19/14H01L23/13
    • B81B7/0048B81B2207/012B81B2207/07B81B2207/096H01L23/13H01L23/49827H01L2224/16225
    • Es wird ein Interposerkonzept zur Reduzierung von montagebedingten mechanischen Spannungen im Aufbau eines vertikal hybrid integrierten Bauteils vorgeschlagen, das eine zuverlässige mechanische Fixierung des Bauteils auf einem Bauteilträger und eine platzsparende elektrische Kontaktierung des Bauteils ermöglicht. Ein solcher Interposer (301) besteht aus einem flächigen Trägersubstrat (310) mit mindestens einer vorderseitigen Verdrahtungsebene (320), in der vorderseitige Anschlusspads (321) für die Montage des Bauteils (100) auf dem Interposer (301) ausgebildet sind, mit mindestens einer rückseitigen Verdrahtungsebene (330), in der rückseitige Anschlusspads (331) für die Montage auf einem Bauteilträger (110) ausgebildet sind, wobei die vorderseitigen Anschlusspads (321) und die rückseitigen Anschlusspads (331) versetzt zueinander angeordnet sind, und mit Durchkontakten (340) zur elektrischen Verbindung der mindestens einen vorderseitigen Verdrahtungsebene (320) und der mindestens einen rückseitigen Verdrahtungsebene (330). Erfindungsgemäß umfasst das Trägersubstrat (310) mindestens einen Randabschnitt (360) und mindestens einen Mittelabschnitt (350), die durch eine Stressentkopplungsstruktur (371) zumindest weitgehend mechanisch entkoppelt sind. Die vorderseitigen Anschlusspads (321) für die Montage des Bauteils (100) sind ausschließlich auf dem Mittelabschnitt (350) angeordnet, während die rückseitigen Anschlusspads (331) für die Montage auf einem Bauteilträger (110) ausschließlich auf dem Randabschnitt (360) angeordnet sind.
    • 它提出了一种内插的概念,以减少在垂直集成式混合装置的构造,其允许分量载波和保存部件的电接触的空间上的部件的可靠的机械固定组件相关的机械应力。 这样的内插器(301)由具有在所述前侧接触垫中的至少一个前侧布线层(320)(321)的平坦载体基板(310)被设计用于在具有至少一个内插器(301)的安装部件(100)的 在后连接器焊盘(331)被设计用于安装一分量载波(110)上回布线平面(330)被布置,其中,所述前侧接触垫(321)和从彼此偏移的后部连接器焊盘(331),以及通孔(340) 用于所述至少一个前侧布线层(320)和所述至少一个背面布线层(330)电连接。 根据本发明,所述载体基片(310)包括至少一个边缘部分(360)和至少其至少在很大程度上由应力隔离结构(371)机械分离的中间部分(350)。 前侧接触垫(321),用于安装部件(100)被布置仅在中央部分(350),而所述后连接器焊盘(331),用于安装一个分量载波(110)上的上缘部(360)排他地布置。
    • 8. 发明申请
    • SENSORVORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM BETREIBEN EINER SENSORVORRICHTUNG MIT MINDESTENS EINER SEISMISCHEN MASSE
    • 传感器装置和使用至少一个地震质量来操作传感器装置的方法
    • WO2015117817A2
    • 2015-08-13
    • PCT/EP2015/051055
    • 2015-01-21
    • ROBERT BOSCH GMBH
    • MAUL, RobertHATTASS, MirkoSCHEBEN, Rolf
    • G01C19/574
    • G01C19/574
    • Die Erfindung betrifft eine Sensorvorrichtung mit mindestens einer ersten seismischen Masse (10a), und einer Betreibereinrichtung (14), mittels welcher zumindest die erste seismische Masse (10a) in eine Schwingbewegung derart versetzbar ist, dass eine Projektion der Schwingbewegung der ersten seismischen Masse (10a) auf eine erste Raumrichtung (16a) eine erste harmonische Schwingung der ersten seismische Masse (10a)mit einer ersten Frequenz (F1) entlang der ersten Raumrichtung (16a) ist, wobei gleichzeitig eine Projektion der Schwingbewegung der ersten seismische Masse (10a) auf eine geneigt zu der ersten Raumrichtung (16a) ausgerichtetezweite Raumrichtung (16b) eine zweite harmonische Schwingung der ersten seismische Masse(10a) mit einer zweiten Frequenz (f2) ungleich der ersten Frequenz (f1) entlang der zweiten Raumrichtung (16b) ist. Des Weiteren betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Betreiben einer Sensorvorrichtung mit mindestens einer seismischen Masse (10a, 10b).
    • 本发明,借助于该至少一个振荡运动的第一振动质量(10A)是这样移动的,一个投影涉及一种具有至少一个第一振动质量(10A)的传感器设备,并且操作者装置(14) 第一检验质量块(10A),以在空间(16A)的第一方向的摆动运动是第一振动质量(10A)具有沿所述第一空间方向(16A)的第一频率(F1)的第一谐波,同时的摆动运动的一个投影 在空间第一振动质量(10A)对准的第二一倾斜于第一空间方向(16A)方向(16B)具有第二频率(F2)不像沿第二空间方向上的第一频率(F1),第一振动质量的二次谐波(10A)的 (16B)。 此外,本发明涉及一种用于操作具有至少一个震动质量块(10a,10b)的传感器设备的方法