专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明申请

WO2009112138A3 DECKEL FÜR MIKRO-SYSTEME UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES DECKELS 审中-公开
公开(公告)号：WO2009112138A3
公开(公告)日：2009-09-17
申请号：PCT/EP2009/001024
申请日：2009-02-13
申请人： FRAUNHOFER - GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , QUENZER, Hans Joachim , OLDSEN, Marten , HOFMANN, Ulrich
发明人： QUENZER, Hans Joachim , OLDSEN, Marten , HOFMANN, Ulrich
IPC分类号： B81B7/00
摘要： Der erfindungsgemäße Deckel dient zur Verkapselung von Mikro-Systemen, wobei der Deckel ein oder mehrere Deckeleinheiten aufweist oder daraus besteht und mindestens eine Deckeleinheit mindestens eine durch Verformung bedingte erste Vertiefung aufweist, die zumindest teilweise durch mindestens ein optisches Fenster, dessen quadratische Oberflachenrauigkeit kleiner gleich 25 nm ist, begrenzt ist Des Weiteren ist Gegenstand der Erfindung ein Verfahren zur Herstellung optischer Komponenten, wobei das Verfahren insbesondere auch für die Herstellung eines erfindungsgemäßen Deckels, der eine Verkapselung auf Wafer-Ebene ermöglicht, geeignet ist

2. 发明申请

WO2009010309A1 MIKROSYSTEM UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES MIKROSYSTEMS 审中-公开
标题翻译：微系统和方法用于生产微系统
公开(公告)号：WO2009010309A1
公开(公告)日：2009-01-22
申请号：PCT/EP2008/006070
申请日：2008-07-10
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , HOFMANN, Ulrich , QUENZER, Hans-Joachim , OLDSEN, Marten
发明人： HOFMANN, Ulrich , QUENZER, Hans-Joachim , OLDSEN, Marten
IPC分类号： G02B26/08 , B81B3/00 , H04N5/74
CPC分类号： G02B26/0841 , B81B3/0054 , B81B2201/033 , B81B2201/042 , G02B26/105
摘要： Die Erfindung betrifft ein Mikrosystem mit mindestens einem Mikrospiegel (1) und mindestens einem Mikrospiegelaktuator (2) zum Schwenken des mindestens einen Mikrospiegels (1) um mindestens eine Achse aus einer entspannten Ruhelage heraus, umfassend einen Rahmenchip und eine auf dem Rahmenchip angeordnete transparente Abdeckung (3), wobei der Rahmenchip einen Chiprahmen (10) aufweist, an dem der mindestens eine Mikrospiegel (1) elastisch schwenkbar angelenkt ist, wobei der mindestens eine Mikrospiegel (1) ferner innerhalb des Chiprahmens (10) und in einer zwischen der transparenten Abdeckung (3) und einer Trägerschicht gebildeten Kavität (11) angeordnet ist. Dabei ist der mindestens eine Mikrospiegel (1) um die mindestens eine Achse schwenkbar an einem Rahmen (14) angelenkt ist, der seinerseits schwenkbar an dem Chiprahmen (10) angelenkt ist, wobei der Rahmen (14) dauerhaft aus einer durch die Trägerschicht definierten Chipebene herausgeschwenkt ist, so dass der Mikrospiegel (1) in seiner Ruhelage um einen nichtverschwindenden Winkel gegenüber der Chipebene gekippt ist. Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zum Herstellen eines derartigen Mikrosystems.
摘要翻译：本发明涉及一种微系统与至少一个微反射镜（1）和至少一个Mikrospiegelaktuator（2），用于至少一个轴从静止的松弛位置枢转所述至少一个微反射镜（1），包括一个框架芯片和布置在框架芯片透明盖（ 3），其特征在于，具有在其上的至少一个微反射镜（1）铰接弹性可枢转的芯片框架（10），所述框架的芯片，其中所述至少一个微反射镜（1）进一步包括（芯片框架10）和内侧（在透明盖之间形成的空腔3）和载体层（11）布置。在这里，所述至少一个微反射镜（1）铰接围绕至少一个轴的框架（14），其反过来铰接在枢接于模具框架（10），其中由所述载体层芯片级别上定义的框架（14）永久地从平面被枢转，使得所述微反射镜（1）在其静止的位置倾斜到不消失的角度到芯片平面。本发明还涉及一种用于制造这样的微的方法。

3. 发明申请

WO2009007139A1 MIKROMECHANISCHE VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM PROJIZIEREN ELEKTROMAGNETISCHER STRAHLUNG 审中-公开
标题翻译：微机械装置和方法用于投影无线电波
公开(公告)号：WO2009007139A1
公开(公告)日：2009-01-15
申请号：PCT/EP2008/006071
申请日：2008-07-10
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , QUENZER, Hans-Joachim , HOFMANN, Ulrich , OLDSEN, Marten
发明人： QUENZER, Hans-Joachim , HOFMANN, Ulrich , OLDSEN, Marten
IPC分类号： G02B7/00 , G02B26/08 , G02B26/10
CPC分类号： G02B7/008 , G02B26/0833 , G02B26/105
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft eine mikromechanische Vorrichtung mit einem beweglichen Element, die eine steuerbare Heizvorrichtung für einen definierten Wärmeeintrag in das bewegliche Element umfasst, wobei die Vorrichtung ferner eine Steuereinheit (5) aufweist, die eingerichtet ist zum Steuern der Heizvorrichtung in Abhängigkeit von einer momentanen Temperatur und/oder von einem momentanen Wärmeeintrag. Die Vorrichtung kann z.B. zum Projizieren elektromagnetischer Strahlung eingerichtet sein, wenn das bewegliche Element gestaltet ist als Strahlablenk-Einheit (2) zum Umlenken von von einer Strahlungsquelle (1) ausgehender Strahlung auf eine Projektionsfläche (3). Die Erfindung betrifft schließlich auch ein entsprechendes Verfahren zum Projizieren elektromagnetischer Strahlung.
摘要翻译：本发明涉及一种具有一个可动元件，其包括可控加热装置用于在所述可动构件限定的热输入，其中所述设备还包括控制单元（5），其被布置成控制在依赖加热器上的当前温度的微机械装置和/或瞬时热输入。该装置可以例如（1）输出辐射到投影表面（3）被适配用于投射的电磁辐射，当可动元件设计为一个光束偏转单元（2），用于从辐射源转向。最后，本发明还涉及一种用于投射的电磁辐射的相应方法。

4. 发明申请

WO2008071172A1 MIKROSPIEGEL-AKTUATOR MIT KAPSELUNGSMÖGLICHKEIT SOWIE VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG 审中-公开
标题翻译：与KAPSELUNGSMÖGLICHKEIT和方法微镜致动器用于生产
公开(公告)号：WO2008071172A1
公开(公告)日：2008-06-19
申请号：PCT/DE2007/002226
申请日：2007-12-11
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , HOFMANN, Ulrich , OLDSEN, Marten
发明人： HOFMANN, Ulrich , OLDSEN, Marten
IPC分类号： G02B26/08 , B81B3/00
CPC分类号： G02B26/0841 , B81B2201/033 , B81B2201/042 , B81C1/00166
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Mikrospiegel-Aktuators sowie einen entsprechenden Aktuator. Bei dem Verfahren wird der Aktuator aus einem Schichtaufbau aus zumindest drei Hauptschichten (101, 103, 107) erzeugt wird, die über Zwischenschichten (102, 104, 106) zumindest abschnittsweise elektrisch voneinander isoliert sind. Die Schichten werden zur Bildung des Mikrospiegelelementes und der Elektroden strukturiert, wobei die Strukturierung derart erfolgt, dass ein geschlossener Rahmen (310) aus zumindest der obersten Haupt Schicht (107) um den inneren Bereich des Aktuators gebildet wird, der eine hermetische Kapselung des inneren Bereichs durch Aufbringen einer Deckplatte auf den Rahmen ermöglicht. Weiterhin wird zwischen zumindest zwei der Schichten eine von diesen Schichten über die Zwischenschichten elektrisch isolierte Leiterbahnebene (105) erzeugt und zur Bildung von Leiterbahnen strukturiert, über die nach der Bildung von Kontaktöffnungen in ein oder mehreren der Zwischenschichten (102, 104, 106) ein oder mehrere der Elektroden von außerhalb des Rahmens (310) elektrisch kontaktierbar sind. Mit dem Verfahren lässt sich das eine hermetisch dichte Verkapselung des inneren Bereiches des Aktuators bereits auf Wafer-Ebene auf einfache Weise erreichen.
摘要翻译：本发明涉及一种用于制造微反射镜致动器和相应的致动器的方法。在该方法中，致动器是在所述中间层（102，104，106）被产生至少三个主层（101，103，107）的层叠结构的至少部分电隔离彼此。所述层被图案化以形成微反射镜元件和电极，所述结构化发生在从至少最上面的主层（107）封闭的框架（310）的致动器的内部部分，所述内部区域的密封封罩的周围形成这样的方式可能通过将盖板固定到框架上。此外，会产生至少两个层之间的这些层电绝缘，该中间层的互连层（105）和构造为形成导体路径，通过它，在一个或多个中间层的形成的接触孔之后（102，104，106）的一个或更从帧（310）的外侧上的电极可以电接触。与所述过程可以在已经实现致动器的晶片级的内部区域的密封封装容易。

5. 发明申请

WO2007113325A1 MIKROMECHANISCHE GEHÄUSUNG MIT MINDESTENS ZWEI KAVITÄTEN MIT UNTERSCHIEDLICHEM INNENDRUCK UND/ODER UNTERSCHIEDLICHER GASZUSAMMENSETZUNG SOWIE VERFAHREN ZU DEREN HERSTELLUNG 审中-公开
标题翻译： MICRO机械GEHÄUSUNG有至少两个不同与内部压力和/或不同的气体成分及其制造方法孔洞
公开(公告)号：WO2007113325A1
公开(公告)日：2007-10-11
申请号：PCT/EP2007/053342
申请日：2007-04-04
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , MERZ, Peter , REINERT, Wolfgang , OLDSEN, Marten , SCHWARZELBACH, Oliver
发明人： MERZ, Peter , REINERT, Wolfgang , OLDSEN, Marten , SCHWARZELBACH, Oliver
IPC分类号： B81B7/00
CPC分类号： B81B7/0038 , B81B7/02 , B81C1/00285
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft ein Vielfach-Bauelement, vorgesehen zum späteren Vereinzeln unter Ausbildung aktive Strukturen enthaltender Bauteile, sowie ein entsprechendes, in der Mikrosystemtechnik einsetzbares Bauteil, wobei das Vielfach-Bauelement bzw. das Bauteil ein flächiges Substrat und eine ebenfalls flächig ausgebildete Kappenstruktur aufweist, die so miteinander verbunden sind, dass sie mindestens einen ersten und einen zweiten Hohlraum pro genanntem Bauteil umschließen, die gegeneinander und gegen die Außenumgebung abgedichtet sind, dadurch gekennzeichnet, dass der erste der beiden Hohlräume mit einem Gettermaterial versehen ist und aufgrund dieses Gettermaterials einen anderen Innendruck und/oder eine andere Gaszusammensetzung aufweist als der zweite Hohlraum. Die Erfindung betrifft weiterhin ein Verfahren zum Herstellen solcher Bauelemente bzw. Bauteile, für welches Gasmischungen aus verschiedenen Gasarten eingesetzt werden, die ein unterschiedliches Absorptionsverhalten gegenüber dem Gettermaterial aufweisen.
摘要翻译：本发明涉及一种多组分，提供了一种用于随后的分离，以形成含有活性结构部件，和一个相应的，在微系统技术组件可用，其中所述多组分或部件具有平的基底和类似平面结构帽结构，接合在一起，使得它们包围至少第一和每个调用的组件的第二空腔，其彼此和来自外部环境的密封，其特征在于，所述第一两个腔的设置有吸气剂材料，并且由于这个吸气另一内部压力和/或小于第二空腔的不同的气体组合物。本发明还涉及一种制造这样的装置或部件，其被用于不同类型的气体，其具有朝向所述吸气剂材料不同的吸收行为的气体混合物的方法。

6. 发明公开

EP2171515A1 MIKROMECHANISCHE VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM PROJIZIEREN ELEKTROMAGNETISCHER STRAHLUNG 审中-公开
标题翻译：微机械装置和方法用于投影无线电波
公开(公告)号：EP2171515A1
公开(公告)日：2010-04-07
申请号：EP08785024.4
申请日：2008-07-10
申请人： Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
发明人： QUENZER, Hans-Joachim , HOFMANN, Ulrich , OLDSEN, Marten
IPC分类号： G02B7/00 , G02B26/08 , G02B26/10
CPC分类号： G02B7/008 , G02B26/0833 , G02B26/105
摘要： The present invention relates to a micromechanical apparatus having a moving element which comprises a controllable heating apparatus for introduction of a defined amount of heat into the moving element, wherein the apparatus furthermore has a control unit (5) which is designed to control the heating apparatus as a function of an instantaneous temperature and/or of an instantaneous amount of heat that is introduced. By way of example, the apparatus can be designed to project electromagnetic radiation when the moving element is in the form of a beam deflection unit (2) for deflection of radiation, which originates from a radiation source (1), onto a projection surface (3). Finally, the invention also relates to a corresponding method for projection of electromagnetic radiation.

7. 发明授权

EP1945563B1 IN DER MIKROSYSTEMTECHNIK EINSETZBARES BAUELEMENT SOWIE LÖTVERFAHREN ZUM VERBINDEN ENTSPRECHENDER WAFER- BZW. BAUELEMENT-TEILE 有权
公开(公告)号：EP1945563B1
公开(公告)日：2018-10-31
申请号：EP06819339.0
申请日：2006-11-08
申请人： Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
发明人： OLDSEN, Marten , REINERT, Wolfgang , MERZ, Peter
IPC分类号： B81C1/00
CPC分类号： B81C1/00269 , Y10T428/23

8. 发明授权

EP2004542B1 MIKROMECHANISCHE GEHÄUSUNG MIT MINDESTENS ZWEI KAVITÄTEN MIT UNTERSCHIEDLICHEM INNENDRUCK UND/ODER UNTERSCHIEDLICHER GASZUSAMMENSETZUNG SOWIE VERFAHREN ZU DEREN HERSTELLUNG 有权
标题翻译： MICRO机械GEHÄUSUNG有至少两个不同与内部压力和/或不同的气体成分及其制造方法孔洞
公开(公告)号：EP2004542B1
公开(公告)日：2014-06-11
申请号：EP07727811.7
申请日：2007-04-04
申请人： Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
发明人： MERZ, Peter , REINERT, Wolfgang , OLDSEN, Marten , SCHWARZELBACH, Oliver
IPC分类号： B81C1/00 , B81B7/00 , B81B7/02
CPC分类号： B81B7/0038 , B81B7/02 , B81C1/00285

9. 发明授权

EP2100179B1 MIKROSPIEGEL-AKTUATOR MIT KAPSELUNGSMÖGLICHKEIT SOWIE VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG 有权
标题翻译：与KAPSELUNGSMÖGLICHKEIT和方法微镜致动器用于生产
公开(公告)号：EP2100179B1
公开(公告)日：2013-11-06
申请号：EP07856077.8
申请日：2007-12-11
申请人： Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
发明人： HOFMANN, Ulrich , OLDSEN, Marten
IPC分类号： G02B26/08 , B81B3/00 , B81C1/00
CPC分类号： G02B26/0841 , B81B2201/033 , B81B2201/042 , B81C1/00166

10. 发明公开

EP2100179A1 MIKROSPIEGEL-AKTUATOR MIT KAPSELUNGSMÖGLICHKEIT SOWIE VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG 有权
标题翻译：与KAPSELUNGSMÖGLICHKEIT和方法微镜致动器用于生产
公开(公告)号：EP2100179A1
公开(公告)日：2009-09-16
申请号：EP07856077.8
申请日：2007-12-11
申请人： Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der Angewandten Forschung e.V.
发明人： HOFMANN, Ulrich , OLDSEN, Marten
IPC分类号： G02B26/08 , B81B3/00
CPC分类号： G02B26/0841 , B81B2201/033 , B81B2201/042 , B81C1/00166
摘要： The invention relates to a micromirror actuator and a corresponding actuator. According to the method, the actuator is produced from a layered construction of at least three main layers (101, 103, 107) at least partly electrically insulated from each other by intermediate layers (102, 104, 106). The layers are structured to form the micromirror element and the electrodes, the structuring being achieved such that a closed frame (310) made from at least the upper main layer (107) is formed around the inner region of the actuator, permitting a hermetic encapsulation of the inner region by application of a cover plate to the frame. A conductor path plane (105) is generated between at least two of the layers, electrically insulated from said layers by the intermediate layers and structured to form conductor tracks, by means of which one or more of the electrodes may be electrically contacted from outside the frame (310) after the formation of contact openings in one or more of the intermediate layers (102, 104, 106). By means of said method a hermetically sealed encapsulation of the inner region fo the actuator may be achieved in a simple manner even on the wafer level.

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式