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1. 发明申请

WO2017102708A1 KONVERTER ZUR ERZEUGUNG EINES SEKUNDÄRLICHTS AUS EINEM PRIMÄRLICHT, LEUCHTMITTEL, DIE SOLCHE KONVERTER ENTHALTEN, SOWIE VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG DER KONVERTER UND LEUCHTMITTEL 审中-公开
标题翻译：转换器用于产生二次光从主灯泡发生此类变换器，用于产生转换和灯含有和方法
公开(公告)号：WO2017102708A1
公开(公告)日：2017-06-22
申请号：PCT/EP2016/080762
申请日：2016-12-13
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
发明人： HOFMANN, Ulrich , QUENZER, Hans-Joachim , LISEC, Thomas , VON WANTOCH, Thomas
IPC分类号： H01L33/50 , F21K9/64
CPC分类号： B81C1/00 , G02F2001/133614 , G09F13/00 , H01L33/507
摘要： Die Erfindung betrifft eine Konverteranordnung zur Umwandlung eines Primärlichts in ein Sekundärlicht, umfassend mindestens einen Körper, der eine lichtkonvertierende Struktur mit offenen Poren aufweist und seitlich von einem Rahmen gehalten wird, wobei die Oberflächen sowohl der lichtkonvertierenden Struktur als auch der Innenseiten des Rahmens mit einer transparenten Schicht bedeckt sind, derart, dass jeder der genannten Körper ein Areal bildet, in dem eine Eigenschaft des einfallenden Lichtes und vorzugsweise dessen Wellenlänge verändert wird. In spezifischen Ausgestaltungen kann die Konverteranordnung beispielsweise Bestandteil von Display-Anordnungen oder von miniaturisierten Bauelementen sein. Die Erfindung gibt auch ein Verfahren zur Herstellung der Konverteranordnung an.
摘要翻译：
本发明涉及一种转换器组件，其用于在二次BEAR rlicht包括至少一个K＆ouml转换主BEAR rlichts;具有开孔的lichtkonvertierende结构体和由框架，其中，所述侧向保持光转换结构的两个表面和框架的内部均被透明层覆盖，使得每个本体形成其中入射光的性质并且优选其波长改变的区域，在特定实施例中，转换器装置可以例如是显示装置或小型化部件的一部分。本发明还提供了一种制造转换器组件的方法。

2. 发明申请

WO2014170155A1 VORRICHTUNG MIT EINEM SCHWINGFÄHIG AUFGEHÄNGTEN OPTISCHEN ELEMENT UND VERFAHREN ZUM AUSLENKEN DESSELBEN 审中-公开
标题翻译： WITH A枢装置安装光学元件与方法偏转SAME
公开(公告)号：WO2014170155A1
公开(公告)日：2014-10-23
申请号：PCT/EP2014/056916
申请日：2014-04-07
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
发明人： GU-STOPPEL, Shanshan , QUENZER, Hans Joachim , HOFMANN, Ulrich , JANES, Joachim
IPC分类号： B81B3/00 , G02B26/08
CPC分类号： G02B26/0833 , B81B3/0027 , B81B2201/042 , G02B26/105
摘要： Die zugrunde liegende Erfindung legt eine Vorrichtung dar, die ein schwingfähig aufgehängtes optischen Element mit mindestens einem Aktuator enthält, der ausgebildet ist, um eine an dem schwingfähig aufgehängten optischen Element vorbeiströmende Fluidströmung zu beeinflussen, sodass das schwingfähig aufgehängte optische Element in Schwingung versetzt wird und die Energie für diese Schwingung dem Fluid entnommen wird. Gleichzeitig wird das Fluid als Kühlmittel verwendet, sodass die dargelegte Vorrichtung aufgrund der abtransportierten Wärmemenge in der Lage ist, größere Lichtleistungen zu handhaben.
摘要翻译：底层发明提出了其中包含一个可摆动的悬挂式光学元件与被配置以影响流过枢转地安装光学元件的流体流动，从而使可摆动地悬挂的光学元件振动和至少一个致动器的装置这种振动能量从流体提取。同时，流体被用作冷却剂，从而使所述设备由于运走量的热量能够处理更大的光输出。

3. 发明申请

WO2013079131A1 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG STRUKTURIERTER OPTISCHER KOMPONENTEN 审中-公开
标题翻译：用于生产结构化光学组件
公开(公告)号：WO2013079131A1
公开(公告)日：2013-06-06
申请号：PCT/EP2012/004105
申请日：2012-09-28
申请人： Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. , QUENZER, Hans Joachim , HOFMANN, Ulrich , STENCHLY, Vanessa
发明人： QUENZER, Hans Joachim , HOFMANN, Ulrich , STENCHLY, Vanessa
IPC分类号： B30B7/02 , G02B5/02 , B81B7/00
CPC分类号： G02B27/0006 , B81B2201/042 , B81C1/00317 , B81C1/00793 , G02B1/118 , G02B5/0242 , G02B5/0278 , G02B26/0833 , G02B26/0841 , Y10T29/49826
摘要： Das erfindungsgemäße Verfahren dient der Herstellung optischer Komponenten, insbesondere Deckeln zur Verkapselung von Mikro-Systemen, wobei auf einem ersten Substrat mindestens ein Verstärkungselement, das vor dem Anordnen hergestellt wird, angeordnet wird, wodurch ein Stapel erzeugt wird. Dieser Stapel wird nach dem Verbinden mit einem zweiten Substrat erwärmt, wodurch das erste Substrat derart verformt wird, dass sich mindestens ein durch das Verstärkungselement abgedeckter Bereich des ersten Substrats verschiebt und/oder neigt beziehungsweise das erste Substrat mit dem Verstärkungselement in Kontakt gebracht wird. Bei einem alternativen erfindungsgemäßen Verfahren wird das Verstärkungselement auf dem zweiten Substrat angeordnet, wobei dieser Stapel dann mit dem ersten Substrat verbunden wird. Das erste Substrat wird im Folgenden derart erwärmt und verformt, dass ein Bereich des ersten Substrats mit dem Verstärkungselement in Kontakt gebracht wird.
摘要翻译：其中，至少一个加强元件，其在放置之前制备，被定位在第一基板上，由此形成层叠形成，本发明的方法被用于生产光学元件，在用于微系统的封装特定封面。此叠层键合到第二衬底，由此，第一衬底被以这样的方式使得至少一个覆盖所述第一基板转移的加强部件部分和/或倾斜，或与加强构件在所述第一基板变形的接触之后加热。在本发明的另一种方法，所述加强构件设置在所述第二基板上，其中该叠层，然后键合到第一衬底上。第一衬底被加热并在下面，所述第一衬底的区域被带入与所述加强构件接触变形。

4. 发明申请

WO2008087022A1 GEHÄUSE FÜR IN MOBILEN ANWENDUNGEN EINGESETZTE MIKROMECHANISCHE UND MIKROOPTISCHE BAUELEMENTE 审中-公开
标题翻译： HOUSING移动应用中使用的微观力学和微光学元件
公开(公告)号：WO2008087022A1
公开(公告)日：2008-07-24
申请号：PCT/EP2008/000321
申请日：2008-01-17
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , HOFMANN, Ulrich
发明人： HOFMANN, Ulrich
IPC分类号： B81B7/00
CPC分类号： B81B3/0051 , B81B7/0067 , B81B2201/042 , B81B2201/047 , B81C1/00317 , B81C2203/0109 , B81C2203/0154 , G02B26/0833 , Y10T29/49826
摘要： Die Erfindung betrifft ein Gehäuse für ein oder mehrere mikromechanische und/oder mikrooptische Bauelemente, wobei das Gehäuse ein Tragersubstrat mit mindestens einem mikromechanischen und/oder mikrooptischen Bauelement und mindestens ein Deckelsubstrat, das mit dem Tragersubstrat in Verbindung steht, aufweist Dabei bilden das Tragersubstrat und das mindestens eine Deckelsubstrat mindestens einen Hohlraum, der das mindestens eine mikromechanische und/oder mikrooptische Bauelement zumindest teilweise einschließt, wobei die dem mindestens einen mikromechanischen und/oder mikrooptischen Bauelement zugewandte Seite mindestens eines Deckelsubstrats mindestens ein optisches Fenster und mindestens einen mechanischen Anschlag aufweist Des Weiteren ist Gegenstand der Erfindung ein Verfahren zur Herstellung eines solchen Gehäuses, wobei das Verfahren insbesondere auch für die Verkapselung auf Wafer Ebene einsetzbar ist.
摘要翻译：本发明涉及一种用于一个或多个微机械和/或微光学部件的壳体，其中所述壳体具有至少一个微机械和/或微光学元件和载体基板的至少一个覆盖基板与载体衬底连接，由此形成在载体基板和至少一个覆盖基板的至少一个腔包括至少一个微机械和/或微光学元件，至少部分地，面对所述至少一个微机械和/或微光学器件侧上的侧包括至少一个覆盖基板的至少一个光学窗口和至少一个机械止动件还本发明涉及一种用于制造这样的情况下的方法，可以用于在晶片级封装在特定的方法。

5. 发明申请

WO2022100846A1 LISSAJOUS DUAL-AXIAL SCAN COMPONENT 审中-公开
公开(公告)号：WO2022100846A1
公开(公告)日：2022-05-19
申请号：PCT/EP2020/082070
申请日：2020-11-13
申请人： HUAWEI TECHNOLOGIES CO., LTD. , FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
发明人： REHER, Marcel , WANTOCH, Thomas, Von , HOFMANN, Ulrich , PETRAK, Oleg , JANICKE, Christian , NIEKIEL, Florian , CAO, Yong
IPC分类号： G02B26/08 , G02B26/10
摘要： The present disclosure provides a Lissajous dual-axial scan component (100) that includes an outer frame (102), a first pair of supports (104A-B), a second pair of supports (106A-B), an inner frame (108), a mirror (110), a sensing arrangement (112), a controller (114) and a memory (116). The memory (116) stores multiple tuples each including a first-axial bias frequency value, a second-axial bias frequency value, and a phase difference between actual driving frequencies (i.e. a first-axial bias frequency and a second-axial bias frequency) of the mirror (110). The controller (114) is coupled to the sensing arrangement (112) to receive signals indicative of current resonant frequencies of the mirror (110) and configured to select one of the tuples from the memory (116) based on the signals received from the sensing arrangement (112) and set the applied bias frequencies, and their phase difference, according to the selected tuple.

6. 发明申请

WO2019243395A1 EINRICHTUNG ZUR PROJEKTION EINES LASERSTRAHLS ZUR ERZEUGUNG EINES BILDES AUF DER NETZHAUT EINES AUGES 审中-公开
公开(公告)号：WO2019243395A1
公开(公告)日：2019-12-26
申请号：PCT/EP2019/066142
申请日：2019-06-19
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
发明人： HOFMANN, Ulrich
IPC分类号： G02B27/01
摘要： Die Erfindung bezieht sich auf eine Einrichtung zur Projektion eines Bildes auf der Netzhaut (17) eines Auges (9) mit einer Laserprojektionsvorrichtung (5, 6, 7), einer Vorrichtung (20) zur Ermittlung der Ausrichtung des Auges und mit einer Nachführeinrichtung (4, 4a) zur Nachführung des Laserstrahls (2) der Laserprojektionsvorrichtung gemäß der ermittelten Ausrichtung. Damit wird eine Projektionsmöglichkeit von Bildern auf die Netzhaut einer Person geschaffen, die auch die momentane Blickrichtung des Auges berücksichtigt.

7. 发明申请

WO2019020708A1 MEMS SPIEGELANORDNUNG UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER MEMS SPIEGELANORDNUNG 审中-公开
公开(公告)号：WO2019020708A1
公开(公告)日：2019-01-31
申请号：PCT/EP2018/070215
申请日：2018-07-25
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
发明人： QUENZER, Hans Joachim , HOFMANN, Ulrich , STENCHLY, Vanessa
IPC分类号： G02B26/08 , B81B7/00
摘要： Es wird eine MEMS Spiegelanordnung zum Erfassen eines großen Winkelbereichs bis zu 180°, vorzugsweise bis zu 160°, und ein Verfahren zur Herstellung einer MEMS Spiegelanordnung vorgeschlagen. Die Spiegelanordnung umfasst ein Trägersubstrat (1), an dem ein um mindestens eine Achse schwingender Spiegel (2) aufgehängt ist, einen transparenten Deckel (4), der mit dem Trägersubstrat (1) hermetisch dicht verbunden ist und der eine ellipsoide Kuppel (6) mit im Wesentlichen runder Grundfläche aufweist ist, und eine Kompensationsoptik (8), die in einem vorgegebenen Strahlengang für ein einfallendes Strahlenbündel außerhalb der Kuppel (6) angeordnet ist, wobei die Mitte des Spiegels (2) im Mittelpunkt der Kuppel liegt und wobei die Kompensationsoptik (8) das einfallende Strahlenbündel derart koliimiert, dass eine durch die Grenzflächen der Kuppel hervorgerufene Divergenz oder Konvergenz des Strahlenbündels nach dem Austritt aus der Kuppel (6) im wesentlichen kompensiert ist. Die MEMS Spiegelanordnungen werden durch Fügen eines Deckelwafers und eines Spiegelwafers, die jeweils eine Mehrzahl von halbkugelförmigen Kuppeln und am Trägersubstrat aufgehängten Spiegein aufweisen, wobei dann die Spiegelanordnungen aus den zusammengefügten Wafern vereinzelt werden. Die Kuppeln des Decke!wafers werden durch das Glasfließen hergesteilt.

8. 发明申请

WO2009010309A1 MIKROSYSTEM UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES MIKROSYSTEMS 审中-公开
标题翻译：微系统和方法用于生产微系统
公开(公告)号：WO2009010309A1
公开(公告)日：2009-01-22
申请号：PCT/EP2008/006070
申请日：2008-07-10
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , HOFMANN, Ulrich , QUENZER, Hans-Joachim , OLDSEN, Marten
发明人： HOFMANN, Ulrich , QUENZER, Hans-Joachim , OLDSEN, Marten
IPC分类号： G02B26/08 , B81B3/00 , H04N5/74
CPC分类号： G02B26/0841 , B81B3/0054 , B81B2201/033 , B81B2201/042 , G02B26/105
摘要： Die Erfindung betrifft ein Mikrosystem mit mindestens einem Mikrospiegel (1) und mindestens einem Mikrospiegelaktuator (2) zum Schwenken des mindestens einen Mikrospiegels (1) um mindestens eine Achse aus einer entspannten Ruhelage heraus, umfassend einen Rahmenchip und eine auf dem Rahmenchip angeordnete transparente Abdeckung (3), wobei der Rahmenchip einen Chiprahmen (10) aufweist, an dem der mindestens eine Mikrospiegel (1) elastisch schwenkbar angelenkt ist, wobei der mindestens eine Mikrospiegel (1) ferner innerhalb des Chiprahmens (10) und in einer zwischen der transparenten Abdeckung (3) und einer Trägerschicht gebildeten Kavität (11) angeordnet ist. Dabei ist der mindestens eine Mikrospiegel (1) um die mindestens eine Achse schwenkbar an einem Rahmen (14) angelenkt ist, der seinerseits schwenkbar an dem Chiprahmen (10) angelenkt ist, wobei der Rahmen (14) dauerhaft aus einer durch die Trägerschicht definierten Chipebene herausgeschwenkt ist, so dass der Mikrospiegel (1) in seiner Ruhelage um einen nichtverschwindenden Winkel gegenüber der Chipebene gekippt ist. Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zum Herstellen eines derartigen Mikrosystems.
摘要翻译：本发明涉及一种微系统与至少一个微反射镜（1）和至少一个Mikrospiegelaktuator（2），用于至少一个轴从静止的松弛位置枢转所述至少一个微反射镜（1），包括一个框架芯片和布置在框架芯片透明盖（ 3），其特征在于，具有在其上的至少一个微反射镜（1）铰接弹性可枢转的芯片框架（10），所述框架的芯片，其中所述至少一个微反射镜（1）进一步包括（芯片框架10）和内侧（在透明盖之间形成的空腔3）和载体层（11）布置。在这里，所述至少一个微反射镜（1）铰接围绕至少一个轴的框架（14），其反过来铰接在枢接于模具框架（10），其中由所述载体层芯片级别上定义的框架（14）永久地从平面被枢转，使得所述微反射镜（1）在其静止的位置倾斜到不消失的角度到芯片平面。本发明还涉及一种用于制造这样的微的方法。

9. 发明申请

WO2009007139A1 MIKROMECHANISCHE VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM PROJIZIEREN ELEKTROMAGNETISCHER STRAHLUNG 审中-公开
标题翻译：微机械装置和方法用于投影无线电波
公开(公告)号：WO2009007139A1
公开(公告)日：2009-01-15
申请号：PCT/EP2008/006071
申请日：2008-07-10
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , QUENZER, Hans-Joachim , HOFMANN, Ulrich , OLDSEN, Marten
发明人： QUENZER, Hans-Joachim , HOFMANN, Ulrich , OLDSEN, Marten
IPC分类号： G02B7/00 , G02B26/08 , G02B26/10
CPC分类号： G02B7/008 , G02B26/0833 , G02B26/105
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft eine mikromechanische Vorrichtung mit einem beweglichen Element, die eine steuerbare Heizvorrichtung für einen definierten Wärmeeintrag in das bewegliche Element umfasst, wobei die Vorrichtung ferner eine Steuereinheit (5) aufweist, die eingerichtet ist zum Steuern der Heizvorrichtung in Abhängigkeit von einer momentanen Temperatur und/oder von einem momentanen Wärmeeintrag. Die Vorrichtung kann z.B. zum Projizieren elektromagnetischer Strahlung eingerichtet sein, wenn das bewegliche Element gestaltet ist als Strahlablenk-Einheit (2) zum Umlenken von von einer Strahlungsquelle (1) ausgehender Strahlung auf eine Projektionsfläche (3). Die Erfindung betrifft schließlich auch ein entsprechendes Verfahren zum Projizieren elektromagnetischer Strahlung.
摘要翻译：本发明涉及一种具有一个可动元件，其包括可控加热装置用于在所述可动构件限定的热输入，其中所述设备还包括控制单元（5），其被布置成控制在依赖加热器上的当前温度的微机械装置和/或瞬时热输入。该装置可以例如（1）输出辐射到投影表面（3）被适配用于投射的电磁辐射，当可动元件设计为一个光束偏转单元（2），用于从辐射源转向。最后，本发明还涉及一种用于投射的电磁辐射的相应方法。

10. 发明申请

WO2022100829A1 DEFLECTION DEVICE WITH A MIRROR FOR USE IN SCANNER TECHNICAL FIELD 审中-公开
公开(公告)号：WO2022100829A1
公开(公告)日：2022-05-19
申请号：PCT/EP2020/081823
申请日：2020-11-12
申请人： HUAWEI TECHNOLOGIES CO., LTD. , FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
发明人： SENGER, Frank , HOFMANN, Ulrich , MARAUSKA, Stephan , JANICKE, Christian , WANTOCH, Thomas, Von , ALBERS, Jörg , WILLE, Gunnar , CAO, Yong
IPC分类号： G02B26/08 , B81B3/00
摘要： The present disclosure provides a deflection device (100, 200, 300, 400) for use in a scanner. The deflection device (100, 200, 300, 400) includes a substrate (102, 202), a mirror (106, 206, 304, 404) and actuator means (110). The mirror (106, 206, 304, 404) arranged in a recess (104, 204, 306, 406) in the substrate (102, 202) by connector means (108) in such a way that it can rotate about at least two axes in an oscillatory manner. The actuator means (110) causes the mirror (106, 206, 304, 404) to oscillate. The actuator means (110) are arranged in one or more trenches (112A-D) in the substrate (102, 202) surrounding the recess (104, 204, 306, 406), in such a way that a change of shape of the actuator means (110) will cause a movement in the substrate (102, 202), thereby inducing oscillatory movement of the mirror (106, 206, 304, 404).

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