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1. 发明申请

WO2009112138A3 DECKEL FÜR MIKRO-SYSTEME UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES DECKELS 审中-公开
公开(公告)号：WO2009112138A3
公开(公告)日：2009-09-17
申请号：PCT/EP2009/001024
申请日：2009-02-13
申请人： FRAUNHOFER - GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , QUENZER, Hans Joachim , OLDSEN, Marten , HOFMANN, Ulrich
发明人： QUENZER, Hans Joachim , OLDSEN, Marten , HOFMANN, Ulrich
IPC分类号： B81B7/00
摘要： Der erfindungsgemäße Deckel dient zur Verkapselung von Mikro-Systemen, wobei der Deckel ein oder mehrere Deckeleinheiten aufweist oder daraus besteht und mindestens eine Deckeleinheit mindestens eine durch Verformung bedingte erste Vertiefung aufweist, die zumindest teilweise durch mindestens ein optisches Fenster, dessen quadratische Oberflachenrauigkeit kleiner gleich 25 nm ist, begrenzt ist Des Weiteren ist Gegenstand der Erfindung ein Verfahren zur Herstellung optischer Komponenten, wobei das Verfahren insbesondere auch für die Herstellung eines erfindungsgemäßen Deckels, der eine Verkapselung auf Wafer-Ebene ermöglicht, geeignet ist

2. 发明申请

WO2009112138A2 COVER FOR MICROSYSTEMS AND METHOD FOR PRODUCING A COVER 审中-公开
标题翻译： COVER微系统和一种用于生产COVER
公开(公告)号：WO2009112138A2
公开(公告)日：2009-09-17
申请号：PCT/EP2009001024
申请日：2009-02-13
申请人： FRAUNHOFER GES FORSCHUNG , QUENZER HANS JOACHIM , OLDSEN MARTEN , HOFMANN ULRICH
发明人： QUENZER HANS JOACHIM , OLDSEN MARTEN , HOFMANN ULRICH
IPC分类号： B81B7/00
CPC分类号： B81B7/0067 , B81B2203/0384 , B81C2203/0118 , B81C2203/031
摘要： The cover according to the invention serves to encapsulate microsystems, wherein the cover comprises or is made of one or more cover units, and at least one cover unit comprises at least one first recess caused by deformation and bounded at least partially by at least one optical window, the quadratic surface roughness thereof being less than or equal to 25 nm. The invention further relates to a method for producing optical components, wherein the method is particularly also suitable for producing a cover according to the invention allowing encapsulation at the wafer level.
摘要翻译：根据本发明的盖用于微系统的封装，其中所述盖包括一个或多个罩单元或由其构成，并具有至少一个盖单元的至少一个由所述第一凹部的变形由至少一个光学窗口造成至少部分地，对于表面粗糙度的平方小于或等于25 纳米，是另外的限制，本发明涉及一种用于生产光学元件的，根据本发明，这使得能够在晶片级的封装用于盖的制造中，特别的方法中，合适的是

3. 发明申请

WO2008087022A8 HOUSING FOR MICRO-MECHANICAL AND MICRO-OPTICAL COMPONENTS USED IN MOBILE APPLICATIONS 审中-公开
标题翻译： HOUSING移动应用中使用的微观力学和微光学元件
公开(公告)号：WO2008087022A8
公开(公告)日：2009-08-13
申请号：PCT/EP2008000321
申请日：2008-01-17
申请人： FRAUNHOFER GES FORSCHUNG , OLDSEN MARTEN , HOFMANN ULRICH
发明人： OLDSEN MARTEN , HOFMANN ULRICH
IPC分类号： B81B7/00
CPC分类号： B81B3/0051 , B81B7/0067 , B81B2201/042 , B81B2201/047 , B81C1/00317 , B81C2203/0109 , B81C2203/0154 , G02B26/0833 , Y10T29/49826
摘要： The invention relates to a housing for one or more micro-mechanical and/or micro-optical components. Said housing comprises a carrier substrate having at least one micro-mechanical and/or micro-optical component and at least one cover substrate that is connected to the carrier substrate. The carrier substrate and the at least one cover substrate form at least one cavity that at least partially surrounds the at least one micro-mechanical and/or micro-optical component. The side of the at least one cover substrate facing the at least on micro-mechanical and/or micro-optical component comprises at least one optical window and at least one mechanical stop. The invention also relates to a method for producing said type of housing and said method can also be used, in particular, for encapsulating wafer planes.
摘要翻译：本发明涉及一种用于一个或多个微机械和/或微光学部件的壳体，其中所述壳体具有至少一个微机械和/或微光学元件和载体基板的至少一个覆盖基板与载体衬底连接，由此形成在载体基板和至少一个覆盖基板的至少一个腔包括至少一个微机械和/或微光学元件，至少部分地，面对所述至少一个微机械和/或微光学器件侧上的侧包括至少一个覆盖基板的至少一个光学窗口和至少一个机械止动件还本发明涉及一种用于制造这样的情况下的方法，可以用于在晶片级封装在特定的方法。

4. 发明申请

WO2008071172A1 MIKROSPIEGEL-AKTUATOR MIT KAPSELUNGSMÖGLICHKEIT SOWIE VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG 审中-公开
标题翻译：与KAPSELUNGSMÖGLICHKEIT和方法微镜致动器用于生产
公开(公告)号：WO2008071172A1
公开(公告)日：2008-06-19
申请号：PCT/DE2007/002226
申请日：2007-12-11
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , HOFMANN, Ulrich , OLDSEN, Marten
发明人： HOFMANN, Ulrich , OLDSEN, Marten
IPC分类号： G02B26/08 , B81B3/00
CPC分类号： G02B26/0841 , B81B2201/033 , B81B2201/042 , B81C1/00166
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung eines Mikrospiegel-Aktuators sowie einen entsprechenden Aktuator. Bei dem Verfahren wird der Aktuator aus einem Schichtaufbau aus zumindest drei Hauptschichten (101, 103, 107) erzeugt wird, die über Zwischenschichten (102, 104, 106) zumindest abschnittsweise elektrisch voneinander isoliert sind. Die Schichten werden zur Bildung des Mikrospiegelelementes und der Elektroden strukturiert, wobei die Strukturierung derart erfolgt, dass ein geschlossener Rahmen (310) aus zumindest der obersten Haupt Schicht (107) um den inneren Bereich des Aktuators gebildet wird, der eine hermetische Kapselung des inneren Bereichs durch Aufbringen einer Deckplatte auf den Rahmen ermöglicht. Weiterhin wird zwischen zumindest zwei der Schichten eine von diesen Schichten über die Zwischenschichten elektrisch isolierte Leiterbahnebene (105) erzeugt und zur Bildung von Leiterbahnen strukturiert, über die nach der Bildung von Kontaktöffnungen in ein oder mehreren der Zwischenschichten (102, 104, 106) ein oder mehrere der Elektroden von außerhalb des Rahmens (310) elektrisch kontaktierbar sind. Mit dem Verfahren lässt sich das eine hermetisch dichte Verkapselung des inneren Bereiches des Aktuators bereits auf Wafer-Ebene auf einfache Weise erreichen.
摘要翻译：本发明涉及一种用于制造微反射镜致动器和相应的致动器的方法。在该方法中，致动器是在所述中间层（102，104，106）被产生至少三个主层（101，103，107）的层叠结构的至少部分电隔离彼此。所述层被图案化以形成微反射镜元件和电极，所述结构化发生在从至少最上面的主层（107）封闭的框架（310）的致动器的内部部分，所述内部区域的密封封罩的周围形成这样的方式可能通过将盖板固定到框架上。此外，会产生至少两个层之间的这些层电绝缘，该中间层的互连层（105）和构造为形成导体路径，通过它，在一个或多个中间层的形成的接触孔之后（102，104，106）的一个或更从帧（310）的外侧上的电极可以电接触。与所述过程可以在已经实现致动器的晶片级的内部区域的密封封装容易。

5. 发明申请

WO2009010309A1 MIKROSYSTEM UND VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINES MIKROSYSTEMS 审中-公开
标题翻译：微系统和方法用于生产微系统
公开(公告)号：WO2009010309A1
公开(公告)日：2009-01-22
申请号：PCT/EP2008/006070
申请日：2008-07-10
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , HOFMANN, Ulrich , QUENZER, Hans-Joachim , OLDSEN, Marten
发明人： HOFMANN, Ulrich , QUENZER, Hans-Joachim , OLDSEN, Marten
IPC分类号： G02B26/08 , B81B3/00 , H04N5/74
CPC分类号： G02B26/0841 , B81B3/0054 , B81B2201/033 , B81B2201/042 , G02B26/105
摘要： Die Erfindung betrifft ein Mikrosystem mit mindestens einem Mikrospiegel (1) und mindestens einem Mikrospiegelaktuator (2) zum Schwenken des mindestens einen Mikrospiegels (1) um mindestens eine Achse aus einer entspannten Ruhelage heraus, umfassend einen Rahmenchip und eine auf dem Rahmenchip angeordnete transparente Abdeckung (3), wobei der Rahmenchip einen Chiprahmen (10) aufweist, an dem der mindestens eine Mikrospiegel (1) elastisch schwenkbar angelenkt ist, wobei der mindestens eine Mikrospiegel (1) ferner innerhalb des Chiprahmens (10) und in einer zwischen der transparenten Abdeckung (3) und einer Trägerschicht gebildeten Kavität (11) angeordnet ist. Dabei ist der mindestens eine Mikrospiegel (1) um die mindestens eine Achse schwenkbar an einem Rahmen (14) angelenkt ist, der seinerseits schwenkbar an dem Chiprahmen (10) angelenkt ist, wobei der Rahmen (14) dauerhaft aus einer durch die Trägerschicht definierten Chipebene herausgeschwenkt ist, so dass der Mikrospiegel (1) in seiner Ruhelage um einen nichtverschwindenden Winkel gegenüber der Chipebene gekippt ist. Die Erfindung betrifft ferner ein Verfahren zum Herstellen eines derartigen Mikrosystems.
摘要翻译：本发明涉及一种微系统与至少一个微反射镜（1）和至少一个Mikrospiegelaktuator（2），用于至少一个轴从静止的松弛位置枢转所述至少一个微反射镜（1），包括一个框架芯片和布置在框架芯片透明盖（ 3），其特征在于，具有在其上的至少一个微反射镜（1）铰接弹性可枢转的芯片框架（10），所述框架的芯片，其中所述至少一个微反射镜（1）进一步包括（芯片框架10）和内侧（在透明盖之间形成的空腔3）和载体层（11）布置。在这里，所述至少一个微反射镜（1）铰接围绕至少一个轴的框架（14），其反过来铰接在枢接于模具框架（10），其中由所述载体层芯片级别上定义的框架（14）永久地从平面被枢转，使得所述微反射镜（1）在其静止的位置倾斜到不消失的角度到芯片平面。本发明还涉及一种用于制造这样的微的方法。

6. 发明申请

WO2009007139A1 MIKROMECHANISCHE VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM PROJIZIEREN ELEKTROMAGNETISCHER STRAHLUNG 审中-公开
标题翻译：微机械装置和方法用于投影无线电波
公开(公告)号：WO2009007139A1
公开(公告)日：2009-01-15
申请号：PCT/EP2008/006071
申请日：2008-07-10
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , QUENZER, Hans-Joachim , HOFMANN, Ulrich , OLDSEN, Marten
发明人： QUENZER, Hans-Joachim , HOFMANN, Ulrich , OLDSEN, Marten
IPC分类号： G02B7/00 , G02B26/08 , G02B26/10
CPC分类号： G02B7/008 , G02B26/0833 , G02B26/105
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft eine mikromechanische Vorrichtung mit einem beweglichen Element, die eine steuerbare Heizvorrichtung für einen definierten Wärmeeintrag in das bewegliche Element umfasst, wobei die Vorrichtung ferner eine Steuereinheit (5) aufweist, die eingerichtet ist zum Steuern der Heizvorrichtung in Abhängigkeit von einer momentanen Temperatur und/oder von einem momentanen Wärmeeintrag. Die Vorrichtung kann z.B. zum Projizieren elektromagnetischer Strahlung eingerichtet sein, wenn das bewegliche Element gestaltet ist als Strahlablenk-Einheit (2) zum Umlenken von von einer Strahlungsquelle (1) ausgehender Strahlung auf eine Projektionsfläche (3). Die Erfindung betrifft schließlich auch ein entsprechendes Verfahren zum Projizieren elektromagnetischer Strahlung.
摘要翻译：本发明涉及一种具有一个可动元件，其包括可控加热装置用于在所述可动构件限定的热输入，其中所述设备还包括控制单元（5），其被布置成控制在依赖加热器上的当前温度的微机械装置和/或瞬时热输入。该装置可以例如（1）输出辐射到投影表面（3）被适配用于投射的电磁辐射，当可动元件设计为一个光束偏转单元（2），用于从辐射源转向。最后，本发明还涉及一种用于投射的电磁辐射的相应方法。

7. 发明申请

WO2007113325A1 MIKROMECHANISCHE GEHÄUSUNG MIT MINDESTENS ZWEI KAVITÄTEN MIT UNTERSCHIEDLICHEM INNENDRUCK UND/ODER UNTERSCHIEDLICHER GASZUSAMMENSETZUNG SOWIE VERFAHREN ZU DEREN HERSTELLUNG 审中-公开
标题翻译： MICRO机械GEHÄUSUNG有至少两个不同与内部压力和/或不同的气体成分及其制造方法孔洞
公开(公告)号：WO2007113325A1
公开(公告)日：2007-10-11
申请号：PCT/EP2007/053342
申请日：2007-04-04
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , MERZ, Peter , REINERT, Wolfgang , OLDSEN, Marten , SCHWARZELBACH, Oliver
发明人： MERZ, Peter , REINERT, Wolfgang , OLDSEN, Marten , SCHWARZELBACH, Oliver
IPC分类号： B81B7/00
CPC分类号： B81B7/0038 , B81B7/02 , B81C1/00285
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft ein Vielfach-Bauelement, vorgesehen zum späteren Vereinzeln unter Ausbildung aktive Strukturen enthaltender Bauteile, sowie ein entsprechendes, in der Mikrosystemtechnik einsetzbares Bauteil, wobei das Vielfach-Bauelement bzw. das Bauteil ein flächiges Substrat und eine ebenfalls flächig ausgebildete Kappenstruktur aufweist, die so miteinander verbunden sind, dass sie mindestens einen ersten und einen zweiten Hohlraum pro genanntem Bauteil umschließen, die gegeneinander und gegen die Außenumgebung abgedichtet sind, dadurch gekennzeichnet, dass der erste der beiden Hohlräume mit einem Gettermaterial versehen ist und aufgrund dieses Gettermaterials einen anderen Innendruck und/oder eine andere Gaszusammensetzung aufweist als der zweite Hohlraum. Die Erfindung betrifft weiterhin ein Verfahren zum Herstellen solcher Bauelemente bzw. Bauteile, für welches Gasmischungen aus verschiedenen Gasarten eingesetzt werden, die ein unterschiedliches Absorptionsverhalten gegenüber dem Gettermaterial aufweisen.
摘要翻译：本发明涉及一种多组分，提供了一种用于随后的分离，以形成含有活性结构部件，和一个相应的，在微系统技术组件可用，其中所述多组分或部件具有平的基底和类似平面结构帽结构，接合在一起，使得它们包围至少第一和每个调用的组件的第二空腔，其彼此和来自外部环境的密封，其特征在于，所述第一两个腔的设置有吸气剂材料，并且由于这个吸气另一内部压力和/或小于第二空腔的不同的气体组合物。本发明还涉及一种制造这样的装置或部件，其被用于不同类型的气体，其具有朝向所述吸气剂材料不同的吸收行为的气体混合物的方法。

8. 发明申请

WO2007113325A8 MICROMECHANICAL HOUSING COMPRISING AT LEAST TWO CAVITIES HAVING DIFFERENT INTERNAL PRESSURE AND/OR DIFFERENT GAS COMPOSITIONS AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF 审中-公开
标题翻译： MICRO机械GEHÄUSUNG有至少两个不同与内部压力和/或不同的气体成分及其制造方法孔洞
公开(公告)号：WO2007113325A8
公开(公告)日：2009-11-12
申请号：PCT/EP2007053342
申请日：2007-04-04
申请人： FRAUNHOFER GES FORSCHUNG , MERZ PETER , REINERT WOLFGANG , OLDSEN MARTEN , SCHWARZELBACH OLIVER
发明人： MERZ PETER , REINERT WOLFGANG , OLDSEN MARTEN , SCHWARZELBACH OLIVER
IPC分类号： B81B7/00
CPC分类号： B81B7/0038 , B81B7/02 , B81C1/00285
摘要： The invention relates to a multiple component which is to be subsequently individualised by forming components containing active structures, in addition to a corresponding component which can be used in microsystem technology systems. Said multiple component and/or component comprises a flat substrate and also a flat cap structure which are bound to each other such that they surround at least one first and one second cavity per component, which are sealed against each other and towards the outside. Said component is characterised in that the first of the two cavities is provided with getter material and due to said getter material has a different internal pressure and/or a different gas composition than the second cavity. The invention also relates to a method for producing said type of component and/or components for which gas mixtures of various types of gas have a different absorption ratio in relation to the getter material.
摘要翻译：本发明涉及一种多组分，提供了一种用于随后的分离，以形成含有活性结构部件，和一个相应的，在微系统技术组件可用，其中所述多组分或部件具有平的基底和类似平面结构帽结构，接合在一起，使得它们包围至少第一和每个调用的组件的第二空腔，其彼此和来自外部环境的密封，其特征在于，所述第一两个腔的设置有吸气剂材料，并且由于这个吸气另一内部压力和/或小于第二空腔的不同的气体组合物。本发明还涉及一种制造这样的装置或部件，其被用于不同类型的气体，其具有朝向所述吸气剂材料不同的吸收行为的气体混合物的方法。

9. 发明申请

WO2007054524A1 DECKELWAFER BZW. BAUELEMENT-DECKEL, WAFERBAUTEIL BZW. IN DER MIKROSYSTEMTECHNIK EINSETZBARES BAUELEMENT SOWIE LÖTVERFAHREN ZUM VERBINDEN ENTSPRECHENDER WAFER- BZW. BAUELEMENT-TEILE 审中-公开
标题翻译：盖或WAFER COMPONENT礼帽，晶片部件或微系统技术可利用的分量和焊接加盟此类晶片或 COMPONENT PARTS
公开(公告)号：WO2007054524A1
公开(公告)日：2007-05-18
申请号：PCT/EP2006/068252
申请日：2006-11-08
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , OLDSEN, Marten , REINERT, Wolfgang , MERZ, Peter
发明人： OLDSEN, Marten , REINERT, Wolfgang , MERZ, Peter
IPC分类号： B81C5/00
CPC分类号： B81C1/00269 , Y10T428/23
摘要： Die Erfindung betrifft einen Deckelwafer mit einem Kern (1) und einer Innenseite (7,10,11), wobei die Innenseite jeweils einen oder mehrere ringförmige Außenbereiche (7), (einen) sich an den/die Außenbereich(e) nach innen anschließende(n) ringförmige(n) Bereich(e) (10) sowie (einen) Innenbereich(e) (11) umfasst, sowie einen Bauelement-Deckel mit nur einem ringförmigen Außenbereich auf seiner Innenseite, dadurch gekennzeichnet, dass zumindest der/die Bereich(e) (10) eine Pufferschicht aufweist/aufweisen, die einen Benetzungwinkel von 265°C und 450°C schmilzt. Die Erfindung betrifft auch einen Bauelement-Deckel mit jeweils einem der Bereiche (7), (10) und (11), der die genannte Pufferschicht in vergleichbarer Weise aufweist. Ferner betrifft die Erfindung ein Waferbauteil bzw. ein in der Mikrosystemtechnik einsetzbares Bauelement, das einen derartigen, mit Hilfe eines Lotmaterials angebrachten Deckelwafer bzw. Bauelement-Deckel aufweist, sowie ein Verfahren zu deren Herstellung.
摘要翻译：本发明涉及一种具有一个磁芯（1）和内侧（7,10,11）的帽晶片，其中，一个或多个相应的外环形部分的内部（7），（a）在所述/外部区域（一个或多个）的向内邻接（n）的环（或多个）区（一个或多个）（10）和（a）的内部区域（一个或多个）（11），以及一个组件盖，具有在其内侧仅环形外区域，其特征在于至少所述/该区域（E）（10）包括缓冲层/包含<35°具有用于在的范围内的金属共晶>熔体265℃的润湿角和450℃ 本发明还涉及一种组件盖，具有以类似的方式，所述缓冲层的区域（7）中的每一个，（10）和（11）。此外，本发明涉及一种晶片或在具有这种微系统技术设备中可使用的部件，安装在由焊料材料帽晶片和设备盖，以及用于它们的制备方法的手段。

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