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1. 发明专利

JP2011247269A System and method for variable home position dispense system 有权
标题翻译：用于可变的家庭位置调节系统的系统和方法
公开(公告)号：JP2011247269A
公开(公告)日：2011-12-08
申请号：JP2011168830
申请日：2011-08-01
申请人： Entegris Inc , エンテグリース,インコーポレイテッド
发明人： LAVERDIERE MARC , CEDRONE JAMES , GONNELLA GEORGE , GASHGAEE IRAJ , MAGOON PAUL , KING TIMOTHY J
IPC分类号： F04B23/06 , B67D7/30
CPC分类号： F04B43/02 , F04B13/00 , F04B49/065 , F04B2201/0201 , F04B2205/09
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a system and method for pumping a fluid that eliminate or at least substantially reduce defects in pumping systems and methods where conventional techniques are used.SOLUTION: A system and a method for reducing the hold-up volume of a pump are provided. A system and a method for determining a home position for reducing the hold-up volume at a dispense pump 180 and/or a feed pump 150 are provided. The home position for diaphragms 160, 190 can be selected so that the volume of chambers 155, 185 at the dispense pump 180 and/or feed pump 150 contains sufficient fluid to perform the various steps of a dispense cycle while minimizing the hold-up volume. Additionally, the home position of the diaphragms 160, 190 can be selected to optimize the effective range of actual positive displacement.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种用于泵送流体的系统和方法，其消除或至少基本上减少泵系统中的缺陷以及使用常规技术的方法。提供了一种用于减小泵的保持容积的系统和方法。提供了一种用于确定用于减小分配泵180和/或进给泵150处的保持容积的原始位置的系统和方法。可以选择膜片160,190的初始位置，使得在分配泵180和/或进料泵150处的腔室155,185的体积含有足够的流体以执行分配循环的各个步骤，同时使保持体积最小化。此外，可以选择隔膜160,190的原始位置以优化实际的正位移的有效范围。版权所有（C）2012，JPO＆INPIT

2. 发明专利

JP2008016038A Control system for adjusting stop/suction valve for distributing fluid 审中-公开
标题翻译：用于调节分配流体的停止/抽吸阀的控制系统
公开(公告)号：JP2008016038A
公开(公告)日：2008-01-24
申请号：JP2007185233
申请日：2007-07-17
申请人： Entegris Inc , インテグリス・インコーポレーテッド
发明人： MCLOUGHLIN ROBERT F , GONNELLA GEORGE L , KING TIMOTHY J
IPC分类号： B05D3/00 , G05D16/20 , B05C11/10 , G03F7/16 , H01L21/027
CPC分类号： G05D16/2013 , B05C5/02 , B05C11/1013 , B05C11/1026 , G03F7/16 , G05D16/2026 , Y10T137/0379 , Y10T137/2409 , Y10T137/776
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a control system for adjusting a stop/suction valve so as to precisely distribute fluid. SOLUTION: First and second flow limiting devices 20 and 21 have first and second air outlets respectively fluidly communicated with a stop part and a suction part of the stop/suction valve 10. First and second pressure sensors 24 and 25 sense pressure in a first air outlet and pressure in a second air outlet. A computer processor 30 respectively controls the pressure of the first and second outlets in response to the first and second pressure sensors. The pressure of the first and second air outlets is maintained over a predetermined time so that the stop part and the absorption part of the stop/suction valve are respectively maintained in a predetermined opening position. The pressure of the first and second air outlets is controlled so that the stop part and absorption part of the stop/suction valve are respectively maintained in a predetermined closing position over the predetermined time. COPYRIGHT: (C)2008,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供一种用于调节停止/吸入阀以便精确地分配流体的控制系统。解决方案：第一和第二限流装置20和21具有第一和第二空气出口分别与停止部分和止动/吸入阀10的吸入部分流体连通。第一和第二压力传感器24和25感测压力第一空气出口和第二空气出口中的压力。计算机处理器30分别响应于第一和第二压力传感器控制第一和第二出口的压力。第一和第二出气口的压力保持在预定的时间，使得停止部分和停止/吸入阀的吸收部分分别保持在预定的打开位置。控制第一和第二空气出口的压力，使得停止/吸入阀的停止部分和吸收部分在预定时间内分别保持在预定的关闭位置。版权所有（C）2008，JPO＆INPIT

3. 发明专利

JP2014240661A 可変定位置ディスペンスシステムのためのシステムおよび方法有权
标题翻译：可变固定位置分配系统的系统和方法
公开(公告)号：JP2014240661A
公开(公告)日：2014-12-25
申请号：JP2014203908
申请日：2014-10-02
申请人：インテグリス・インコーポレーテッド , Entegris Inc
发明人： LAVERDIERE MARC , JAMES CEDRON , GEORGE GONNELLA , GASHGAEE IRAJ , MAGOON PAUL , KING TIMOTHY J
IPC分类号： F04B43/02 , B67D7/30
CPC分类号： F04B43/02 , F04B13/00 , F04B49/065 , F04B2201/0201 , F04B2205/09
摘要：【課題】従来技術のポンピングシステムおよびポンピング方法の欠点を排除するか、または少なくとも実質的に減らす、流体ポンピングのシステムおよび方法を提供する。【解決手段】ポンピングシステムであって、ディスペンスポンプを備え、このディスペンスポンプは、ディスペンスチャンバと、このディスペンスチャンバ内で複数の位置へと移動可能なディスペンスダイアフラムとを備え、複数の位置は、ディスペンスポンプ内のプロセス流体のためのゼロ有効容積に対応するハードストップ位置と、ディスペンスサイクルを有するプロセスのための有効容積に対応するディスペンス位置とを含み、ディスペンスポンプは最大有効容積を有し、かつ、有効容積は最大有効容積未満であるポンピングシステム。【選択図】図2
摘要翻译：要解决的问题：提供流体泵送的系统和方法，其消除了常规泵送系统和泵送方法的缺陷，或至少大大减少了它们。解决方案：泵送系统包括分配泵。分配泵包括分配室和能够移动到分配室内的多个位置的分配膜。多个位置包含对应于分配泵中的处理流体的无效有效体积的硬停止位置，以及对应于具有分配循环的过程的有效体积的分配位置。分配泵具有最大有效容积，有效体积小于最大有效容积。

4. 发明专利

JP2011003203A Flow control system for adjusting stop/suction valve for distributing fluid 审中-公开
标题翻译：用于调节流量控制系统，用于调节用于分配流体的停止/止回阀
公开(公告)号：JP2011003203A
公开(公告)日：2011-01-06
申请号：JP2010163589
申请日：2010-07-21
申请人： Entegris Inc , インテグリス・インコーポレーテッド
发明人： MCLOUGHLIN ROBERT F , GONNELLA GEORGE L , KING TIMOTHY J
IPC分类号： B05D3/00 , G05D16/20 , B05C11/10 , G03F7/16 , H01L21/027
CPC分类号： G05D16/2013 , B05C5/02 , B05C11/1013 , B05C11/1026 , G03F7/16 , G05D16/2026 , Y10T137/0379 , Y10T137/2409 , Y10T137/776
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a control system for adjusting a stop/suction valve so as to precisely distribute fluid.SOLUTION: First and second flow limiting devices 20 and 21 have first and second air outlets, respectively fluid-communicated with a stop part and a suction part of the stop/suction valve 10. First and second pressure sensors 24 and 25 sense the pressure inside a first air outlet and the pressure inside a second air outlet. A computer processor 30, respectively independently controls the pressure of the first and the second air outlets, in response to the first and the second pressure sensors. The pressure of the first and the second air outlets is maintained over a predetermined time so that the stoppage part and the absorption part of the stop/suction valve are respectively maintained at a prescribed opening position, and the pressure of the first and second air outlets is controlled respectively independently so that the stoppage part and the absorption part of the stop/suction valve are respectively maintained in a predetermined closing position over a predetermined time.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种用于调节停止/吸入阀以便精确地分配流体的控制系统。解决方案：第一和第二限流装置20和21具有分别与停止部分流体连通的第一和第二空气出口和吸气阀10的抽吸部分。第一和第二压力传感器24和25检测第一空气出口内的压力和第二空气出口内的压力。计算机处理器30响应于第一和第二压力传感器分别独立地控制第一和第二空气出口的压力。第一和第二空气出口的压力保持在预定时间内，使得停止/吸入阀的停止部分和吸收部分分别保持在规定的打开位置，并且第一和第二出气口分别独立地控制，使得停止/吸入阀的停止部分和吸收部分在预定时间内分别保持在预定的关闭位置。

5. 发明申请

WO2006057957A3 SYSTEM AND METHOD FOR A VARIABLE HOME POSITION DISPENSE SYSTEM 审中-公开
标题翻译：用于可变的家庭位置调节系统的系统和方法
公开(公告)号：WO2006057957A3
公开(公告)日：2007-11-15
申请号：PCT/US2005042127
申请日：2005-11-21
申请人： ENTEGRIS INC , LAVERDIERE MARC , CEDRONE JAMES , GONNELLA GEORGE , GASHGAEE IRAJ , MAGOON PAUL , KING TIMOTHY J
发明人： LAVERDIERE MARC , CEDRONE JAMES , GONNELLA GEORGE , GASHGAEE IRAJ , MAGOON PAUL , KING TIMOTHY J
IPC分类号： F04B49/00 , B67D7/30 , F04B49/06
CPC分类号： F04B43/02 , F04B13/00 , F04B49/065 , F04B2201/0201 , F04B2205/09
摘要： Embodiments of the present, invention provide a system and method for reducing the hold-up volume of a pump. More particularly, embodiments of the present invention provide a system and method for determining a home position to reduce hold-up volume at a dispense pump and/or a feed pump. The home position for the diaphragm can be selected such that the volume of the chamber at the dispense pump and/or feed pump contains sufficient fluid to perform the various steps of a dispense cycle while minimizing the hold-up volume. Additionally, the home position of the diaphragm can be selected to optimize the effective range of positive displacement.
摘要翻译：本发明的实施例提供了一种用于减小泵的保持容积的系统和方法。更具体地，本发明的实施例提供了一种用于确定原始位置以减少分配泵和/或进料泵的滞留体积的系统和方法。可以选择膜片的原始位置，使得在分配泵和/或进料泵处的室的体积包含足够的流体，以在最小化保持体积的同时执行分配循环的各个步骤。另外，可以选择隔膜的原始位置来优化正位移的有效范围。

6. 发明公开

EP1146967A4 FLOW CONTROLLER 审中-公开
标题翻译： DURCHFLUSSREGLER
公开(公告)号：EP1146967A4
公开(公告)日：2009-05-20
申请号：EP00909945
申请日：2000-01-20
申请人： ENTEGRIS INC
发明人： MCLOUGHLIN ROBERT F , GONNELLA GEORGE L , KING TIMOTHY J
IPC分类号： B05D3/00 , G05D16/20 , B05C11/10 , G03F7/16 , H01L21/027
CPC分类号： G05D16/2013 , B05C5/02 , B05C11/1013 , B05C11/1026 , G03F7/16 , G05D16/2026 , Y10T137/0379 , Y10T137/2409 , Y10T137/776
摘要： A control system for digitally monitoring and/or controlling pressure to a pneumatic load such as a stop/suckback valve (10). Pressure is sensed (24, 25) in the pneumatic fluid input lines to the pneumatic load, and a closed loop control (30) is used to maintain the pressure at a predetermined level. In an alternative embodiment, the control sytem is used to ensure equal dispensing in multipoint dispense apparatus. Thus, pressure is sensed downstream of each valve (10a, 10b, 10c) in fluid communication with a respective nozzle (A, B, C). Any pressure differential detected is corrected by appropriate valve adjustment.
摘要翻译：用于数字监控和/或控制气动负载（例如停止/反吸阀（10））的压力的控制系统。在气动负载的气动流体输入管线中感测到压力（24,25），并且使用闭环控制（30）将压力保持在预定水平。在一个替代实施例中，控制系统用于确保多点分配装置中的均匀分配。因此，在与相应喷嘴（A，B，C）流体连通的每个阀（10a，10b，10c）的下游感测到压力。任何检测到的压差都通过适当的阀门调整进行校正

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