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1. 发明专利

JP2010176707A System and method for flow monitoring and control 有权
标题翻译：流量监测与控制系统与方法
公开(公告)号：JP2010176707A
公开(公告)日：2010-08-12
申请号：JP2010106809
申请日：2010-05-06
申请人： Entegris Inc , エンテグリース,インコーポレイテッド
发明人： BRODEUR CRAIG L , LAVERDIERE MARC , MCLOUGHLIN ROBERT F , NIERMEYER KARL J , SHYU JIEH-HWA
IPC分类号： G05D7/06 , G01F1/00 , G01F1/36
CPC分类号： G01F1/363 , G05D7/0635 , Y10T137/7761
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a flow control device that controls a flow rate using a single sensor. SOLUTION: A control device (30) includes: an inlet (32) for receiving a flow; an outlet (34) for directing a flow to other components of a flow system; a pressure loss element (36); a pressure sensor (38) located upstream from the pressure loss element (36) configured to measure an upstream pressure; a pressure sensor (40) located downstream from the pressure loss element (36) configured to measure a downstream pressure; a controller (42), which includes processor, memory and software instructions for determining a fluid flow rate for generating a valve control signal; and a valve (44), such as a butterfly valve and a hydraulically driven valve, responsive to the valve control signal to regulate fluid flow. COPYRIGHT: (C)2010,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供一种使用单个传感器控制流量的流量控制装置。控制装置（30）包括：用于接收流动的入口（32）; 用于将流引导到流系统的其它部件的出口（34）; 压力损失元件（36）; 位于所述压力损失元件（36）上游的压力传感器（38），其构造成测量上游压力; 压力传感器（40）位于所述压力损失元件（36）的下游，被配置成测量下游压力; 控制器（42），其包括用于确定用于产生阀门控制信号的流体流速的处理器，存储器和软件指令; 以及响应于阀控制信号来调节流体流动的阀（44），例如蝶阀和液压驱动阀。版权所有（C）2010，JPO＆INPIT

2. 发明专利

JP2011247269A System and method for variable home position dispense system 有权
标题翻译：用于可变的家庭位置调节系统的系统和方法
公开(公告)号：JP2011247269A
公开(公告)日：2011-12-08
申请号：JP2011168830
申请日：2011-08-01
申请人： Entegris Inc , エンテグリース,インコーポレイテッド
发明人： LAVERDIERE MARC , CEDRONE JAMES , GONNELLA GEORGE , GASHGAEE IRAJ , MAGOON PAUL , KING TIMOTHY J
IPC分类号： F04B23/06 , B67D7/30
CPC分类号： F04B43/02 , F04B13/00 , F04B49/065 , F04B2201/0201 , F04B2205/09
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a system and method for pumping a fluid that eliminate or at least substantially reduce defects in pumping systems and methods where conventional techniques are used.SOLUTION: A system and a method for reducing the hold-up volume of a pump are provided. A system and a method for determining a home position for reducing the hold-up volume at a dispense pump 180 and/or a feed pump 150 are provided. The home position for diaphragms 160, 190 can be selected so that the volume of chambers 155, 185 at the dispense pump 180 and/or feed pump 150 contains sufficient fluid to perform the various steps of a dispense cycle while minimizing the hold-up volume. Additionally, the home position of the diaphragms 160, 190 can be selected to optimize the effective range of actual positive displacement.
摘要翻译：要解决的问题：提供一种用于泵送流体的系统和方法，其消除或至少基本上减少泵系统中的缺陷以及使用常规技术的方法。提供了一种用于减小泵的保持容积的系统和方法。提供了一种用于确定用于减小分配泵180和/或进给泵150处的保持容积的原始位置的系统和方法。可以选择膜片160,190的初始位置，使得在分配泵180和/或进料泵150处的腔室155,185的体积含有足够的流体以执行分配循环的各个步骤，同时使保持体积最小化。此外，可以选择隔膜160,190的原始位置以优化实际的正位移的有效范围。版权所有（C）2012，JPO＆INPIT

3. 发明专利

JP2011071564A System and method of controlling fluid flow 有权
标题翻译：控制流体流动的系统和方法
公开(公告)号：JP2011071564A
公开(公告)日：2011-04-07
申请号：JP2011004417
申请日：2011-01-12
申请人： Entegris Inc , エンテグリース,インコーポレイテッド
发明人： LAVERDIERE MARC , MCLOUGHLIN ROBERT F
IPC分类号： H01L21/31 , G05D7/00 , G05D7/06 , G05D11/00
CPC分类号： G05D7/0635 , H01L21/6715 , Y10T137/0989
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an optimum system and a method of controlling fluid dispensation so as to surely effect the clean break-off of fluid upon the finishing of a dispensing process, and to decrease the crystallization of the fluid in a dispensing nozzle. SOLUTION: The system includes a control device capable of generating a flow rate control signal which closes a control valve in accordance with a first close distance parameter for the first segment of a close distance and capable of generating the flow rate control signal which closes the control valve in accordance with a second close distance parameter for the second segment of the close distance. COPYRIGHT: (C)2011,JPO&INPIT
摘要翻译：要解决的问题：提供一种最佳系统和一种控制流体分配的方法，以便在分配过程完成时可靠地影响流体的干净分离，并且减少流体在分配喷嘴。解决方案：该系统包括能够产生流量控制信号的控制装置，该流量控制信号根据紧密距离的第一段的第一近距离参数关闭控制阀，并且能够产生流量控制信号，根据近距离的第二段的第二近距离参数关闭控制阀。版权所有（C）2011，JPO＆INPIT

4. 发明专利

JP2014240661A 可変定位置ディスペンスシステムのためのシステムおよび方法有权
标题翻译：可变固定位置分配系统的系统和方法
公开(公告)号：JP2014240661A
公开(公告)日：2014-12-25
申请号：JP2014203908
申请日：2014-10-02
申请人：インテグリス・インコーポレーテッド , Entegris Inc
发明人： LAVERDIERE MARC , JAMES CEDRON , GEORGE GONNELLA , GASHGAEE IRAJ , MAGOON PAUL , KING TIMOTHY J
IPC分类号： F04B43/02 , B67D7/30
CPC分类号： F04B43/02 , F04B13/00 , F04B49/065 , F04B2201/0201 , F04B2205/09
摘要：【課題】従来技術のポンピングシステムおよびポンピング方法の欠点を排除するか、または少なくとも実質的に減らす、流体ポンピングのシステムおよび方法を提供する。【解決手段】ポンピングシステムであって、ディスペンスポンプを備え、このディスペンスポンプは、ディスペンスチャンバと、このディスペンスチャンバ内で複数の位置へと移動可能なディスペンスダイアフラムとを備え、複数の位置は、ディスペンスポンプ内のプロセス流体のためのゼロ有効容積に対応するハードストップ位置と、ディスペンスサイクルを有するプロセスのための有効容積に対応するディスペンス位置とを含み、ディスペンスポンプは最大有効容積を有し、かつ、有効容積は最大有効容積未満であるポンピングシステム。【選択図】図2
摘要翻译：要解决的问题：提供流体泵送的系统和方法，其消除了常规泵送系统和泵送方法的缺陷，或至少大大减少了它们。解决方案：泵送系统包括分配泵。分配泵包括分配室和能够移动到分配室内的多个位置的分配膜。多个位置包含对应于分配泵中的处理流体的无效有效体积的硬停止位置，以及对应于具有分配循环的过程的有效体积的分配位置。分配泵具有最大有效容积，有效体积小于最大有效容积。

5. 发明专利

JP2013058251A System and method for flow monitoring and control 有权
标题翻译：流量监测与控制系统与方法
公开(公告)号：JP2013058251A
公开(公告)日：2013-03-28
申请号：JP2012256361
申请日：2012-11-22
申请人： Entegris Inc , インテグリス・インコーポレーテッド
发明人： BRODEUR CRAIG L , LAVERDIERE MARC , MCLOUGHLIN ROBERT F , NIERMEYER KARL J , SHYU JIEH-HWA
IPC分类号： G05D7/00 , G05D7/06
CPC分类号： G01F1/363 , G05D7/0635 , Y10T137/7761
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a flow control device that can control flow rate using a single sensor.SOLUTION: A control device (30) comprises: an inlet (32) for receiving a flow; an outlet (34) for directing the flow to other components of a flow system; a pressure reduction element (36); a pressure sensor (38) located upstream from the pressure reduction element (36) configured to measure upstream pressure; a pressure sensor (40) located downstream from the pressure reduction element (36) configured to measure downstream pressure; a controller (42), which can comprise a processor, a memory and software instructions for determining fluid flow rate and generating a valve control signal; and a valve (44), such as a butterfly valve and a hydraulically driven valve, responsive to the valve control signal to regulate fluid flow.
摘要翻译：要解决的问题：提供可以使用单个传感器来控制流量的流量控制装置。控制装置（30）包括：用于接收流动的入口（32）; 用于将流引导到流动系统的其它部件的出口（34）; 减压元件（36）; 位于所述减压元件（36）上游的压力传感器（38），其被配置成测量上游压力; 位于所述减压元件（36）的下游的压力传感器（40），其构造成测量下游压力; 控制器（42），其可以包括处理器，用于确定流体流速并产生阀门控制信号的存储器和软件指令; 以及响应于阀控制信号来调节流体流动的阀（44），例如蝶阀和液压驱动阀。版权所有（C）2013，JPO＆INPIT

6. 发明专利

MY174750A PURIFIER CASSETTE 未知
公开(公告)号：MY174750A
公开(公告)日：2020-05-13
申请号：MYPI2015000834
申请日：2013-09-30
申请人： ENTEGRIS INC
发明人： LAVERDIERE MARC , KUWABARA HIROKAZU , KURATA KOICHI , PUGLIA JOHN P , LEE BEN MAI PAK , BARROWS LOUIS JR , MADHAVARAM KALYAN , MENN DMITRI , NIERMEYER J KARL
摘要： The present disclosure relates to purification cassettes (100,) that have reinforcing features. One embodiment relates to a purification cassette (100,) with tension members (238). A purification system may include a removable cassette defining a media cavity. A set of tension members (238) may span between a first sidewall and second sidewall. The set of tension members (238) can divide the media cavity into a plurality of lanes.

7. 发明专利

SG11201502550YA CONNECTION SYSTEM AND METHOD 未知
公开(公告)号：SG11201502550YA
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：SG11201502550Y
申请日：2013-09-30
申请人： ENTEGRIS INC
发明人： LAVERDIERE MARC , PUGLIA JOHN P , LEE BEN MAI PAK , MADHAVARAM KALYAN , MARTLAND CRAIG WALLACE , MENN DMITRI , NIERMEYER J KARL
IPC分类号： F16L19/00 , B01D29/07 , B01D35/30 , B25B17/00 , B25B17/02 , F16L19/02 , F16L19/025
摘要： The present disclosure relates to purification cassettes that have reinforcing features. One embodiment relates to a purification cassette with tensions members. A purification system may include a removable cassette defining a media cavity. A set of tension members may span between a first sidewall and second sidewall. The set of tension members can divide the media cavity into a plurality of lanes.

8. 发明专利

SG135178A1 SYSTEM AND METHOD OF CONTROLLING FLUID FLOW 未知
公开(公告)号：SG135178A1
公开(公告)日：2007-09-28
申请号：SG2007057557
申请日：2005-02-07
申请人： ENTEGRIS INC
发明人： LAVERDIERE MARC , MCLOUGHLIN ROBERT F
IPC分类号： G05D7/00 , G05D7/06 , G05D11/00
摘要： Embodiments of the present invention provide systems and methods of controlling fluid dispense to ensure clean break off of fluid at the end of a dispense process and to reduce crystallization of fluid in the dispense nozzle. One embodiment of the present invention can include a controller that can, generate a flow control signal to cause a control valve to close according to a first close rate parameter for a first segment of the close range and to generate the flow control signal to cause the control valve to close according to a second close rate parameter for a second segment of the close range.

9. 发明专利

DE60208437T2 未知
公开(公告)号：DE60208437T2
公开(公告)日：2006-08-10
申请号：DE60208437
申请日：2002-09-13
申请人： ENTEGRIS INC
发明人： NIERMEYER J KARL , LAVERDIERE MARC , STANKOWSKI J , SMITH E
IPC分类号： B01D35/30 , B01D65/00 , B01D35/26

10. 发明专利

SG11201502555QA PURIFICATION SYSTEM 未知
公开(公告)号：SG11201502555QA
公开(公告)日：2015-04-29
申请号：SG11201502555Q
申请日：2013-09-30
申请人： ENTEGRIS INC
发明人： LAVERDIERE MARC , KUWABARA HIROKAZU , KURATA KOICHI , PUGLIA JOHN P , LEE BEN MAI PAK , BARROWS LOUIS , MADHAVARAM KALYAN , MENN DMITRI , NIERMEYER J KARL , MARTLAND CRAIG WALLACE
IPC分类号： B01D63/14 , B01D29/07 , B01D35/30 , B01D65/00 , F16L19/00 , F16L19/02
摘要： The present disclosure relates to purification cassettes that have reinforcing features. One embodiment relates to a purification cassette with tensions members. A purification system may include a removable cassette defining a media cavity. A set of tension members may span between a first sidewall and second sidewall. The set of tension members can divide the media cavity into a plurality of lanes.

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