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1. 发明申请

WO2014118122A3 METHOD FOR MASS SPECTROMETRIC EXAMINATION OF GAS MIXTURES AND MASS SPECTROMETER THEREFOR 审中-公开
公开(公告)号：WO2014118122A3
公开(公告)日：2014-08-07
申请号：PCT/EP2014/051520
申请日：2014-01-27
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH , CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH
发明人： CHUNG, Hin Yiu Anthony , ALIMAN, Michel , FEDOSENKO, Gennady , RANCK, Albrecht
IPC分类号： H01J49/00 , H01J49/10 , H01J49/14 , C23C16/44 , C23C16/52
摘要： The invention relates to a method for mass spectrometric examination of a gas mixture (2), comprising the following method steps: parallel or serial ionization of the gas mixture (2) to be examined by activating of at least two ionization devices (9a, 9b, 9c) operating using different ionization procedures, and/or ionizing of the gas mixture (2) in a detector (10), to which the gas mixture (2) and ions and/or metastable particles (29) of an ionization gas (30), which are produced by an ionization device (9), are fed, and detecting of the ionized gas mixture (2) in the detector (10) for the mass spectrometric examination thereof. The invention also relates to a mass spectrometer (21 ) for mass spectrometric examination of gas mixtures (2), comprising: an ionization unit (22) for ionizing the gas mixture (2), and a detector (10) for detecting the ionized gas mixture (2). The ionization unit (22) comprises at least two ionization devices (9a, 9b, 9c), arranged in parallel or in series, for ionizing the gas mixture (2) by means of different ionization procedures, wherein the ionization devices (9a, 9b, 9c) alternatively can be activated individually or together, and/or the ionization unit (22) has an ionization device (9) configured to feed ions and/or metastable particles (29) of an ionization gas (30) to the detector (10) in order to ionize the gas mixture (2) in the detector (10).

2. 发明申请

WO2013104583A2 APPARATUS AND METHOD FOR SURFACE PROCESSING OF A SUBSTRATE 审中-公开
标题翻译：基板表面加工的装置和方法
公开(公告)号：WO2013104583A2
公开(公告)日：2013-07-18
申请号：PCT/EP2013/050152
申请日：2013-01-07
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH , CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH
发明人： CHUNG, Hin Yiu Anthony , ALIMAN, Michel , FEDOSENKO, Gennady , RANCK, Albrecht , GORKHOVER, Leonid
CPC分类号： H01J37/32009 , C23C16/405 , C23C16/44 , C23C16/4401 , C23C16/4408 , C23C16/45525 , C23C16/52 , H01J37/32963 , H01J37/32981 , H01J37/3299 , H01J49/027
摘要： The invention relates to an apparatus (1) for surface processing on a substrate (2), for example for applying a coating (14) to the substrate (2) or for removing a coating (14) from the substrate (2), wherein the apparatus (1) comprises: a chamber (5) enclosing an interior (4) and serving for arranging the substrate (2) for the surface processing, a process gas analyser (13a, 13b) for detecting at least one gaseous constituent of a residual gas atmosphere formed in the interior (4), wherein the process gas analyser (13a, 13b) comprises an ion trap (18) for storing the gaseous constituent to be detected, and an ionization device (17) for ionizing the gaseous constituent. The invention also relates to an associated method for monitoring surface processing on a substrate (2).
摘要翻译：本发明涉及一种用于在衬底（2）上进行表面处理的设备（1），例如用于将涂层（14）施加到衬底（2）或从衬底（2）去除涂层（14），其中装置（1）包括：封闭内部（4）并用于布置用于表面处理的基板（2）的室（5），用于检测至少一种气体成分的处理气体分析器（13a，13b）在内部形成的残留气体气氛（4），其中处理气体分析器（13a，13b）包括用于存储要检测的气态成分的离子阱（18）和用于离子化气态成分的离子化装置（17）。本发明还涉及用于监测衬底（2）上的表面处理的相关方法。

3. 发明申请

WO2016096233A1 DRUCKREDUZIERUNGSEINRICHTUNG, VORRICHTUNG ZUR MASSENSPEKTROMETRISCHEN ANALYSE EINES GASES UND REINIGUNGSVERFAHREN 审中-公开
标题翻译：减压装置，装置的燃气质谱分析，清洗等
公开(公告)号：WO2016096233A1
公开(公告)日：2016-06-23
申请号：PCT/EP2015/075589
申请日：2015-11-03
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH , CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH
发明人： CHUNG, Hin Yiu Anthony , ALIMAN, Michel , FEDOSENKO, Gennady , REUTER, Rüdiger , GORKHOVER, Leonid , AWAKOWICZ, Peter , BÖKE, Marc , KEUDELL, Achim von , WINTER, Jörg , LAUE, Alexander , BENEDIKT, Jan
IPC分类号： H01J49/24
CPC分类号： H01J49/24
摘要： Die Erfindung betrifft eine Druckreduzierungseinrichtung (3), umfassend: ein Vakuum-Gehäuse (4), welches eine Einlassöffnung (5) für den Einlass eines zu untersuchenden Gases (2) bei einem Umgebungsdruck (P U ) sowie einen Analyseraum (7) für die massenspektrometrische Untersuchung des zu untersuchenden Gases (2) bei einem Arbeitsdruck (P A ) aufweist, wobei die Einlassöffnung (5) und eine Eintrittsöffnung (10) des Analyseraums (7) entlang einer gemeinsamen Sichtlinie (11) angeordnet sind. Das Vakuum-Gehäuse (4) weist eine Mehrzahl von modular miteinander verbindbaren und entlang der Sichtlinie (11) hintereinander anordenbaren Vakuum-Bauteilen (21, 26) auf und durch mindestens eines der Vakuum-Bauteile (23, 27), durch die der Analyseraum (7) verläuft, verläuft auch mindestens ein von dem Analyseraum (7) gasdicht getrennter Druckreduzierungsraum (12). Die Erfindung betrifft auch eine Vorrichtung zur massenspektrometrischen Untersuchung eines Gases (2), welche eine solche Druckreduzierungseinrichtung (3) aufweist, sowie ein Verfahren zum Reinigen einer solchen Druckreduzierungseinrichtung (7).
摘要翻译：本发明涉及一种减压装置（3），包括：真空外壳（4），其质谱的入口开口（5），用于一个给气体所研究的入口（2）在环境压力（PU）和一个分析室（7）的包括下调查到气体检查在工作压力（PA），其特征在于，所述进入口（5）和所述分析空间（7）的沿视线（11）的公共线的入口开口（10）被布置成（2）。真空外壳（4）包括多个模块化互连的视线的和沿（11）一个在另一个可布置真空组件后面（21，26）和通过真空装置中的至少一个（23，27），通过该分析腔室（7），还延伸分析空间（7）独立的气密减压空间（12）中的至少一个。本发明还涉及一种用于气体（2）的质谱分析的装置，具有这样的减压装置（3），以及用于清洁这种减压装置的方法（7）。

4. 发明申请

WO2015003819A1 MASSENSPEKTROMETER, DESSEN VERWENDUNG, SOWIE VERFAHREN ZUR MASSENSPEKTROMETRISCHEN UNTERSUCHUNG EINES GASGEMISCHES 审中-公开
标题翻译：质谱仪其用途，和方法的混合气体质谱分析
公开(公告)号：WO2015003819A1
公开(公告)日：2015-01-15
申请号：PCT/EP2014/053361
申请日：2014-02-20
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH , CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH
发明人： FEDOSENKO, Gennady , ALIMAN, Michel , CHUNG, Hin Yiu Anthony , RANCK, Albrecht , GORKHOVER, Leonid
IPC分类号： H01J49/14
CPC分类号： H01J49/04 , H01J49/0027 , H01J49/105 , H01J49/14 , H01J49/145 , H01J49/147
摘要： Die Erfindung betrifft ein Massenspektrometer (1) zur massenspektrometrischen Untersuchung von Gasgemischen (2), umfassend: eine lonisierungseinrichtung (12) sowie eine lonenfalle (10) zur Speicherung und zur massenspektrometrischen Untersuchung des Gasgemischs (2). Bei einem Aspekt der Erfindung ist die lonisierungseinrichtung (12) zur Zuführung von Ionen (13a) und/oder von metastabilen Teilchen (13b) eines lonisierungsgases (13) und/oder von Elektronen (20a) zu der lonenfalle (10) für die Ionisierung des zu untersuchenden Gasgemischs (2) ausgebildet und das Massenspektrometer (1) ist ausgebildet, vor der Untersuchung des Gasgemischs (2) die in der lonenfalle (10) vorhandene Anzahl von Ionen (13a) und/oder metastabilen Teilchen (13b) des lonisierungsgases (13) und/oder die Anzahl von Ionen (14a) eines in der lonenfalle (10) vorhandenen Restgases (14) zu ermitteln. Die Erfindung betrifft auch die Verwendung eines solchen Massenspektrometers (1) sowie ein Verfahren zur massenspektrometrischen Untersuchung eines Gasgemischs (2).
摘要翻译：本发明涉及一种质量分析装置（1）的气体混合物（2）的质谱分析，其包括：一个电离装置（12）和用于存储离子阱（10）和所述混合物（2）的气体的质谱分析。在本发明中，离子化装置（12）用于供给离子（13A）和/或亚稳粒子的一个方面（13B）是一个lonisierungsgases（13）和/或电子（20A），为的电离离子阱（10）要被检查的气体混合物（2）被形成和质谱仪（1）被设计，气体混合物的调查（2）之前的lonisierungsgases的离子（13A）和/或亚稳粒子（13B）的存在于离子阱（10）号（13 ）和/或确定）的存在于离子阱（10离子（14a）的数目，所述残余气体（14）。本发明还涉及使用这样的质谱仪（1）和用于混合物（2）气体的质谱分析的方法的。

5. 发明公开

EP3020063A1 MASSENSPEKTROMETER, DESSEN VERWENDUNG, SOWIE VERFAHREN ZUR MASSENSPEKTROMETRISCHEN UNTERSUCHUNG EINES GASGEMISCHES 审中-公开
标题翻译：质谱仪其用途，和方法的混合气体质谱分析
公开(公告)号：EP3020063A1
公开(公告)日：2016-05-18
申请号：EP14706019.8
申请日：2014-02-20
申请人： Carl Zeiss SMT GmbH , Carl Zeiss Microscopy GmbH
发明人： FEDOSENKO, Gennady , ALIMAN, Michel , CHUNG, Hin Yiu Anthony , RANCK, Albrecht , GORKHOVER, Leonid
IPC分类号： H01J49/14
CPC分类号： H01J49/04 , H01J49/0027 , H01J49/105 , H01J49/14 , H01J49/145 , H01J49/147
摘要： The invention relates to a mass spectrometer (1) for the mass spectrometric examination of gas mixtures (2), comprising: an ionizing apparatus (12), and an ion trap (10) for the storage and the mass spectrometric examination of the gas mixture (2). In one aspect of the invention, the ionizing apparatus (12) is designed to feed ions (13a) and/or metastable particles (13b) of an ionization gas (13) and/or electrons (20a) to the ion trap (10) for the ionization of the gas mixture (2) to be examined, and the mass spectrometer (1) is designed to determine, before the examination of the gas mixture (2), the number of ions (13a) and/or metastable particles (13b) of the ionization gas (13) that are present in the ion trap (10) and/or the number of ions (14a) of a residual gas (14), which residual gas is present in the ion trap (10). The invention further relates to the use of such a mass spectrometer (1) and to a method for the mass spectrometric examination of a gas mixture (2).
摘要翻译：本发明涉及质谱仪对于气体混合物的质谱检查，包括：一个电离装置和离子阱用于存储和气体混合物的质谱检查。在本公开的一个方面中，电离装置被构造用于供给离子和/或离子化气体的亚稳定颗粒和/或用于提供电子到该离子阱用于电离气体混合物要被检查和质谱仪被实施为确定性的矿离子和/或存在于离子阱和/或残余存在于之前检查气体混合物中的离子阱的气体的离子的数量的离子化气体的亚稳粒子的数量。因此，本发明涉及使用寻求质谱仪和气体混合物的质谱检测的方法。

6. 发明公开

EP2802681A2 APPARATUS AND METHOD FOR SURFACE PROCESSING OF A SUBSTRATE 审中-公开
标题翻译： DEVICE AND METHOD FOR基板的表面处理
公开(公告)号：EP2802681A2
公开(公告)日：2014-11-19
申请号：EP13702347.9
申请日：2013-01-07
申请人： Carl Zeiss SMT GmbH , Carl Zeiss Microscopy GmbH
发明人： CHUNG, Hin Yiu Anthony , ALIMAN, Michel , FEDOSENKO, Gennady , RANCK, Albrecht , GORKHOVER, Leonid
IPC分类号： C23C16/44 , G03F7/20 , G01N21/94 , C23C16/52 , H01J37/32 , H01J49/02 , H01J49/42
CPC分类号： H01J37/32009 , C23C16/405 , C23C16/44 , C23C16/4401 , C23C16/4408 , C23C16/45525 , C23C16/52 , H01J37/32963 , H01J37/32981 , H01J37/3299 , H01J49/027
摘要： The invention relates to an apparatus (1) for surface processing on a substrate (2), for example for applying a coating (14) to the substrate (2) or for removing a coating (14) from the substrate (2), wherein the apparatus (1) comprises: a chamber (5) enclosing an interior (4) and serving for arranging the substrate (2) for the surface processing, a process gas analyser (13a, 13b) for detecting at least one gaseous constituent of a residual gas atmosphere formed in the interior (4), wherein the process gas analyser (13a, 13b) comprises an ion trap (18) for storing the gaseous constituent to be detected, and an ionization device (17) for ionizing the gaseous constituent. The invention also relates to an associated method for monitoring surface processing on a substrate (2).

7. 发明公开

EP2951851A2 METHOD FOR MASS SPECTROMETRIC EXAMINATION OF GAS MIXTURES AND MASS SPECTROMETER THEREFOR 有权转让
标题翻译：气体混合和质谱仪方法质谱测试THEREOF
公开(公告)号：EP2951851A2
公开(公告)日：2015-12-09
申请号：EP14701405.4
申请日：2014-01-27
申请人： Carl Zeiss SMT GmbH , Carl Zeiss Microscopy GmbH
发明人： CHUNG, Hin Yiu Anthony , ALIMAN, Michel , FEDOSENKO, Gennady , RANCK, Albrecht
IPC分类号： H01J49/00 , H01J49/10 , H01J49/14 , C23C16/44 , C23C16/52
CPC分类号： H01J49/0031 , C23C16/4405 , C23C16/52 , H01J37/32862 , H01J49/009 , H01J49/105 , H01J49/107 , H01J49/145 , H01J49/424 , H01J2237/335
摘要： The invention relates to a method for mass spectrometric examination of a gas mixture (2), comprising the following method steps: parallel or serial ionization of the gas mixture (2) to be examined by activating of at least two ionization devices (9a, 9b, 9c) operating using different ionization procedures, and/or ionizing of the gas mixture (2) in a detector (10), to which the gas mixture (2) and ions and/or metastable particles (29) of an ionization gas (30), which are produced by an ionization device (9), are fed, and detecting of the ionized gas mixture (2) in the detector (10) for the mass spectrometric examination thereof. The invention also relates to a mass spectrometer (21 ) for mass spectrometric examination of gas mixtures (2), comprising: an ionization unit (22) for ionizing the gas mixture (2), and a detector (10) for detecting the ionized gas mixture (2). The ionization unit (22) comprises at least two ionization devices (9a, 9b, 9c), arranged in parallel or in series, for ionizing the gas mixture (2) by means of different ionization procedures, wherein the ionization devices (9a, 9b, 9c) alternatively can be activated individually or together, and/or the ionization unit (22) has an ionization device (9) configured to feed ions and/or metastable particles (29) of an ionization gas (30) to the detector (10) in order to ionize the gas mixture (2) in the detector (10).
摘要翻译：一种方法，包括气体混合物的并行或串行电离通过激活使用不同的离子化过程操作至少两个电离装置，和/或通过在一个检测器，气体混合物和离子和/或亚稳的电离的粒子电离气体混合物气体被供给。因此，该方法包括在检测器用于其质谱检查检测电离气体混合物。对于气体混合物的质谱检查一种质谱仪包括离子化单元，用于电离的气体混合物，和用于检测电离气体混合物的检测器。

8. 发明申请

WO2018219575A1 VERFAHREN ZUR MASSENSPEKTROMETRISCHEN UNTERSUCHUNG EINES GASES UND MASSENSPEKTROMETER 审中-公开
公开(公告)号：WO2018219575A1
公开(公告)日：2018-12-06
申请号：PCT/EP2018/061159
申请日：2018-05-02
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH
发明人： ALIMAN, Michel , LAUE, Alexander , SCHUETZ, Andreas , REUTER, Rüdiger
IPC分类号： H01J49/00 , H01J49/42
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur massenspektrometrischen Untersuchung eines Gases, umfassend: Anregen von Ionen des zu untersuchenden Gases in einer FT-Ionenfalle, Aufnehmen eines ersten Frequenz-Spektrums (FS1) in einem ersten Messzeitintervall (FFT1) während oder nach dem Anregen der Ionen, wobei das erste Frequenz-Spektrum (FS1) Ionen-Frequenzen (f i ) der angeregten Ionen und Störfrequenzen (f n ) enthält, sowie Aufnehmen eines zweiten Frequenz-Spektrums (FS2) in einem zweiten Messzeitintervall (FFT2), wobei das zweite Frequenz-Spektrum (FS2) die Störfrequenzen (f n ), aber nicht die Ionen-Frequenzen (fj) des ersten Frequenz-Spektrums (FS1) enthält, sowie Vergleichen des ersten Frequenz-Spektrums (FS1) mit dem zweiten Frequenz-Spektrum (FS2) zum Identifizieren der Störfrequenzen (f n ) in dem ersten Frequenz-Spektrum (FS1). Die Erfindung betrifft auch ein Massenspektrometer, welches geeignet ist, das Verfahren zur massenspektrometrischen Untersuchung des Gases durchzuführen.

9. 发明申请

WO2022223232A1 VORRICHTUNG ZUR SPEKTROMETRISCHEN UNTERSUCHUNG EINES GASES UND LITHOGRAPHIEANLAGE 审中-公开
公开(公告)号：WO2022223232A1
公开(公告)日：2022-10-27
申请号：PCT/EP2022/057761
申请日：2022-03-24
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH
发明人： ALIMAN, Michel , RANCK, Albrecht
IPC分类号： H01J49/40 , G01N27/623
摘要： Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (1) zur spektrometrischen Untersuchung eines Gases (2), umfassend: eine Extraktionseinrichtung (12) zur Extraktion von Ionen (11) des zu untersuchenden Gases (2) aus einer Ionenkammer (5), einen Ionen-Detektor (13) zur Detektion der Ionen (11), eine Ionen- Transfereinrichtung (14) zum Transfer der Ionen (11) von der Extraktionseinrichtung (12) zu dem Ionen-Detektor (13) entlang einer Ionen- Transferstrecke (Lm), eine Zuführungseinrichtung (16) zur Zuführung eines Bremsgases (17) zu der Ionen-Transferstrecke (Lm), sowie eine Auswerteeinrichtung (21) zur Bestimmung von Transportzeiten (tm) beim Transport der Ionen (11) von der Extraktionseinrichtung (12) zu dem Ionen- Detektor (13) entlang der Ionen-Transferstrecke (Lm). Die Vorrichtung (1) ist ausgebildet, einen Druck (pM) entlang der Ionen-Transferstrecke (Lm) zwischen einem ersten, niedrigeren Druckbereich (Δp1) und einem zweiten, höheren Druckbereich (Δp2) umzuschalten und die Auswerteeinrichtung (21) ist ausgebildet, in einem ersten Betriebszustand (MS) anhand der Transportzeiten (tm) der Ionen (11) bei dem Druck (pM) in dem ersten Druckbereich (Δp1) eine massenspektrometrische Untersuchung des Gases (2) durchzuführen und in einem zweiten Betriebszustand (IMS) anhand der Transportzeiten (tm) der Ionen (11) bei dem Druck (pM) in dem zweiten Druckbereich (Δp2) eine ionenmobilitäts-spektrometrische Untersuchung des Gases (2) durchzuführen. Die Erfindung betrifft auch eine Lithographieanlage, insbesondere eine EUV- Lithographieanlage, die mindestens eine solche Vorrichtung (1) aufweist.

10. 发明申请

WO2017194333A1 APPARATUS AND METHOD FOR DETECTING IONS 审中-公开
标题翻译：检测离子的装置和方法
公开(公告)号：WO2017194333A1
公开(公告)日：2017-11-16
申请号：PCT/EP2017/060204
申请日：2017-04-28
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH
发明人： ALIMAN, Michel , BUTZMANN, Stefan , BROCKHAUS, Albrecht , SCHMIDT, Michael , CHUNG, Hin Yiu Anthony , LAUE, Alexander
IPC分类号： H01J49/38 , H01J49/02 , H01J49/42
CPC分类号： H01J49/38 , H01J49/022 , H01J49/424
摘要： The invention relates to an apparatus (1) for detecting ions (4a, 4b), comprising: an ion trap (2) having a first electrode, preferably a ring electrode (3) and also having at least one second electrode, preferably a cap electrode (7a, 7b), a storage signal generator (5) for generating an RF storage signal (U RF ), which can be coupled into the first electrode (3) in order to generate an electric storage field (E) in the ion trap (2), and also an excitation device (6a, 6b) for generating an excitation signal (U stim1 , U stim2 ) for exciting ions (4a, 4b) stored in the ion trap (2). The storage signal generator (5) is designed to set an amplitude (A RF ) and/or a frequency (f RF ) of the RF storage signal (U RF ). The invention also relates to an associated method for mass-selective detection of ions (4a, 4b). Furthermore, a suitable ionization method with constant or targeted ionization energies is presented.
摘要翻译：本发明涉及一种用于检测离子（4a，4b）的设备（1），其包括：离子阱（2），其具有第一电极，优选为环形电极（3），并且还具有在至少一个第二电极，优选地为帽电极（7a，7b），用于产生RF存储信号（U RF）的存储信号发生器（5），其可以被耦合到第一电极）以在离子阱（2）中产生电存储场（E），并且还包括用于产生激励信号（U stim1，U ex）的激励装置（6a，6b）（2）中存储的激发离子（4a，4b）。存储信号发生器（5）被设计用于设置RF存储信号（U n）的幅度（A RF）和/或频率（f RF） RF ）。本发明还涉及用于质量选择性检测离子（4a，4b）的相关方法。此外，还介绍了一种具有恒定或目标电离能的合适电离方法。

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