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1. 发明申请

WO2016177503A1 VERFAHREN ZUR MASSENSPEKTROMETRISCHEN UNTERSUCHUNG EINES GASES UND MASSENSPEKTROMETER 审中-公开
标题翻译：方法质谱分析气体和质谱仪
公开(公告)号：WO2016177503A1
公开(公告)日：2016-11-10
申请号：PCT/EP2016/055842
申请日：2016-03-17
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH
发明人： ALIMAN, Michel , LAUE, Alexander , CHUNG, Hin Yiu Anthony , FEDOSENKO, Gennady , REUTER, Rüdiger , GORKHOVER, Leonid , ANTONI, Martin , GORUS, Andreas , DERPMANN, Valerie
IPC分类号： H01J49/00 , H01J49/42 , H01J49/02 , H01J49/38
CPC分类号： H01J49/38 , H01J49/0031 , H01J49/027 , H01J49/425 , H01J49/426 , H01J49/427 , H01J49/4295
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur massenspektrometrischen Untersuchung eines Gases (4), umfassend: Ionisieren des Gases (4) zum Erzeugen von Ionen (4a, 4b), sowie Speichern, Anregen und Detektieren zumindest eines Teils der erzeugten Ionen (4a, 4b) in einer FT-Ionenfalle (2). Bei dem Verfahren umfasst das Erzeugen und Speichern der Ionen (4a, 4b) in der FT-Ionenfalle (2) und/oder das Anregen der Ionen (4a, 4b) vor dem Detektieren der Ionen (4a, 4b) in der FT-Ionenfalle (2) mindestens eine selektive, vom Masse-zu-Ladungsverhältnis (m/z) der Ionen (4a, 4b) abhängige IFT-Anregung, insbesondere eine SWIFT-Anregung (10). Die Erfindung betrifft auch ein Massenspektrometer (1).
摘要翻译：本发明涉及一种用于气体的质谱分析的方法（4），包括：离子化用于产生离子的气体（4）（4A，4B），并存储，刺激，至少检测产生的离子的一部分（图4a，4b）在的FT-离子阱（2）。在该方法中产生和离子存储包括（4A，4B）在FT-离子阱（2）和/或离子的激发（4A，4B）之前检测的离子的至（4A，4B）在FT-离子阱（2）至少一种选择性的，从离子的质荷比（M / Z）（图4a，4b）依赖IFT激励，特别是SWIFT激励（10）。本发明还涉及一种质谱仪（1）。

2. 发明申请

WO2014118122A3 METHOD FOR MASS SPECTROMETRIC EXAMINATION OF GAS MIXTURES AND MASS SPECTROMETER THEREFOR 审中-公开
公开(公告)号：WO2014118122A3
公开(公告)日：2014-08-07
申请号：PCT/EP2014/051520
申请日：2014-01-27
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH , CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH
发明人： CHUNG, Hin Yiu Anthony , ALIMAN, Michel , FEDOSENKO, Gennady , RANCK, Albrecht
IPC分类号： H01J49/00 , H01J49/10 , H01J49/14 , C23C16/44 , C23C16/52
摘要： The invention relates to a method for mass spectrometric examination of a gas mixture (2), comprising the following method steps: parallel or serial ionization of the gas mixture (2) to be examined by activating of at least two ionization devices (9a, 9b, 9c) operating using different ionization procedures, and/or ionizing of the gas mixture (2) in a detector (10), to which the gas mixture (2) and ions and/or metastable particles (29) of an ionization gas (30), which are produced by an ionization device (9), are fed, and detecting of the ionized gas mixture (2) in the detector (10) for the mass spectrometric examination thereof. The invention also relates to a mass spectrometer (21 ) for mass spectrometric examination of gas mixtures (2), comprising: an ionization unit (22) for ionizing the gas mixture (2), and a detector (10) for detecting the ionized gas mixture (2). The ionization unit (22) comprises at least two ionization devices (9a, 9b, 9c), arranged in parallel or in series, for ionizing the gas mixture (2) by means of different ionization procedures, wherein the ionization devices (9a, 9b, 9c) alternatively can be activated individually or together, and/or the ionization unit (22) has an ionization device (9) configured to feed ions and/or metastable particles (29) of an ionization gas (30) to the detector (10) in order to ionize the gas mixture (2) in the detector (10).

3. 发明申请

WO2013178695A1 LITHOGRAPHY APPARATUS AND METHOD FOR PRODUCING A MIRROR ARRANGEMENT 审中-公开
标题翻译：用于生产镜像装置的平面设备和方法
公开(公告)号：WO2013178695A1
公开(公告)日：2013-12-05
申请号：PCT/EP2013/061096
申请日：2013-05-29
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH
发明人： SCHAFFER, Dirk , CLAUSS, Wilfried , CHUNG, Hin Yiu Anthony
IPC分类号： G03F7/20 , G02B7/182
CPC分类号： G03F7/702 , G02B5/0891 , G02B7/182 , G03F7/70825
摘要： A lithography apparatus (100) is disclosed, having at least one mirror arrangement (200) which comprises a mirror substrate (202), the front side of which is provided with a reflecting surface (204), a side wall (206), which extends along a circumference of the mirror substrate (202) from a rear side of the mirror substrate (202), and mounting elements (214), by means of which the mirror arrangement (200) is mounted on a structural element of the lithography apparatus (100). The rear side of the mirror substrate (202) and an inner side of the side wall (206) delimit a cavity (212). Each of the mounting elements (214) is connected to the mirror arrangement (200) at a connection surface (216). The relation S/D > 0.5 is satisfied at least one of the connection surfaces (216), wherein D denotes a thickness of the side wall (206) at the connection surface (216) and S denotes the length of the shortest path through the mirror material from the centroid of the connection surface (216) to the rear side of the mirror substrate (202).
摘要翻译：公开了一种光刻设备（100），其具有至少一个镜装置（200），其包括镜基板（202），其前侧设置有反射表面（204），侧壁（206）从反射镜基板（202）的后侧沿镜面基板（202）的圆周延伸，以及安装元件（214），反射镜装置（200）通过其安装在光刻设备的结构元件（100）。镜基板（202）的后侧和侧壁（206）的内侧限定空腔（212）。每个安装元件（214）在连接表面（216）处连接到反射镜装置（200）。至少一个连接面（216）满足S / D> 0.5的关系，其中D表示连接面（216）处的侧壁（206）的厚度，S表示通过镜材料从连接表面（216）的重心到镜基底（202）的后侧。

4. 发明申请

WO2020200833A1 MASS SPECTROMETER COMPRISING AN IONIZATION DEVICE 审中-公开
公开(公告)号：WO2020200833A1
公开(公告)日：2020-10-08
申请号：PCT/EP2020/057739
申请日：2020-03-20
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH
发明人： GORKHOVER, Leonid , FEDOSENKO, Gennady , LAUE, Alexander , REUTER, Rüdiger , CHUNG, Hin Yiu Anthony
IPC分类号： H01J49/10 , H01J49/42
摘要： The invention relates to a mass spectrometer (1 ), comprising: an ion trap (2), which has an interior (2a) for storing ions (4a, 4b), a signal generator (5, 6a, 6b), which is connected to an electrode (3, 7a, 7b) of the ion trap (2), which delimits the interior (2a), for coupling in a voltage signal (U RF , U stim1 , U stim2 ), in particular a radiofrequency voltage signal, and an ionization device (15) for ionizing a gas (4) to be ionized and supplied to the interior (2a). The ionization device (15) is connected to the signal generator (5, 6a, 6b) in order to use the voltage signal (U RF , U stim1 , U stim2 ) of the signal generator (5; 6a, 6b), which is coupled into the electrode (3, 7a, 7b), for generating ions (4a, 4b).

5. 发明申请

WO2018153430A1 METHOD FOR REAL-TIME MONITORING OF A PROCESS AND MASS SPECTROMETER 审中-公开
公开(公告)号：WO2018153430A1
公开(公告)日：2018-08-30
申请号：PCT/EP2017/053899
申请日：2017-02-21
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH
发明人： CHUNG, Hin Yiu Anthony , LUNDQUIST, Theodore , ALIMAN, Michel , ANTONI, Martin , FEDOSENKO, Gennady , DERPMANN, Valerie , REUTER, Rüdiger , LAUE, Alexander , GORKHOVER, Leonid , GORUS, Andreas
IPC分类号： H01J37/32 , A61B5/08 , H01J49/00
摘要： The invention relates to a method for real-time monitoring of a process, comprising: performing a mass spectrometric real-time measurement of a gas mixture (4) generated in the monitored process to determine real-time mass spectrometric data (25a-c) indicative of the monitored process, evaluating the monitored process by correlating and/or calibrating the real-time mass spectrometric data (25a-c) with metrology data determined by at least one post-process metrology method for evaluating a previous process and/or by comparing the real-time mass spectrometric data (25a-c) with at least one limit value, preferably with a limit value (29) of a process window of the monitored process. The invention also relates to a mass spectrometer for performing the method.

6. 发明申请

WO2016096457A1 IONIZATION DEVICE AND MASS SPECTROMETER THEREWITH 审中-公开
标题翻译：离子装置和大容量光谱仪
公开(公告)号：WO2016096457A1
公开(公告)日：2016-06-23
申请号：PCT/EP2015/078506
申请日：2015-12-03
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH
发明人： ALIMAN, Michel , CHUNG, Hin Yiu Anthony , FEDOSENKO, Gennady , REUTER, Rüdiger , LAUE, Alexander , KEUDELL, Achim von , BÖKE, Marc , BENTER, Thorsten , WINTER, Jörg , AWAKOWICZ, Peter , GORKHOVER, Leonid
IPC分类号： H01J27/08 , H01J49/12 , H01J49/14
CPC分类号： H01J49/145 , H01J27/08 , H01J37/08 , H01J49/12
摘要： The invention relates to an ionization device (1), comprising: a plasma generating device (4) for generating metastable particles (6a) and/or ions (6b) of an ionization gas (6) in a primary plasma region (9), a field generating device (13) for generating a glow discharge (12) in a secondary plasma region (10), an inlet (2) for supplying a gas (3) to be ionized into the secondary plasma region (10), and a further inlet (5) for supplying the metastable particles (6a) and/or the ions (6b) of the ionization gas (6) into the secondary plasma region (10). The invention also relates to a mass spectrometer (20) comprising such an ionization device (1 ) and a detector (17), disposed downstream of the outlet (16) of the ionization device (1), for the mass-spectrometric analysis of the ionized gas (3a, 3a').
摘要翻译：本发明涉及电离装置（1），其包括：用于在初级等离子体区域（9）中产生电离气体（6）的亚稳颗粒（6a）和/或离子（6b）的等离子体产生装置（4）用于在次级等离子体区域（10）中产生辉光放电（12）的场产生装置（13），用于供给待离子化到二次等离子体区域（10）中的气体（3）的入口（2）用于将亚稳颗粒（6a）和/或电离气体（6）的离子（6b）供应到次级等离子体区域（10）中的另外的入口（5）。本发明还涉及一种质谱仪（20），其包括设置在离子化装置（1）的出口（16）下游的这种离子化装置（1）和检测器（17），用于质谱分析电离气体（3a，3a'）。

7. 发明申请

WO2016096233A1 DRUCKREDUZIERUNGSEINRICHTUNG, VORRICHTUNG ZUR MASSENSPEKTROMETRISCHEN ANALYSE EINES GASES UND REINIGUNGSVERFAHREN 审中-公开
标题翻译：减压装置，装置的燃气质谱分析，清洗等
公开(公告)号：WO2016096233A1
公开(公告)日：2016-06-23
申请号：PCT/EP2015/075589
申请日：2015-11-03
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH , CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH
发明人： CHUNG, Hin Yiu Anthony , ALIMAN, Michel , FEDOSENKO, Gennady , REUTER, Rüdiger , GORKHOVER, Leonid , AWAKOWICZ, Peter , BÖKE, Marc , KEUDELL, Achim von , WINTER, Jörg , LAUE, Alexander , BENEDIKT, Jan
IPC分类号： H01J49/24
CPC分类号： H01J49/24
摘要： Die Erfindung betrifft eine Druckreduzierungseinrichtung (3), umfassend: ein Vakuum-Gehäuse (4), welches eine Einlassöffnung (5) für den Einlass eines zu untersuchenden Gases (2) bei einem Umgebungsdruck (P U ) sowie einen Analyseraum (7) für die massenspektrometrische Untersuchung des zu untersuchenden Gases (2) bei einem Arbeitsdruck (P A ) aufweist, wobei die Einlassöffnung (5) und eine Eintrittsöffnung (10) des Analyseraums (7) entlang einer gemeinsamen Sichtlinie (11) angeordnet sind. Das Vakuum-Gehäuse (4) weist eine Mehrzahl von modular miteinander verbindbaren und entlang der Sichtlinie (11) hintereinander anordenbaren Vakuum-Bauteilen (21, 26) auf und durch mindestens eines der Vakuum-Bauteile (23, 27), durch die der Analyseraum (7) verläuft, verläuft auch mindestens ein von dem Analyseraum (7) gasdicht getrennter Druckreduzierungsraum (12). Die Erfindung betrifft auch eine Vorrichtung zur massenspektrometrischen Untersuchung eines Gases (2), welche eine solche Druckreduzierungseinrichtung (3) aufweist, sowie ein Verfahren zum Reinigen einer solchen Druckreduzierungseinrichtung (7).
摘要翻译：本发明涉及一种减压装置（3），包括：真空外壳（4），其质谱的入口开口（5），用于一个给气体所研究的入口（2）在环境压力（PU）和一个分析室（7）的包括下调查到气体检查在工作压力（PA），其特征在于，所述进入口（5）和所述分析空间（7）的沿视线（11）的公共线的入口开口（10）被布置成（2）。真空外壳（4）包括多个模块化互连的视线的和沿（11）一个在另一个可布置真空组件后面（21，26）和通过真空装置中的至少一个（23，27），通过该分析腔室（7），还延伸分析空间（7）独立的气密减压空间（12）中的至少一个。本发明还涉及一种用于气体（2）的质谱分析的装置，具有这样的减压装置（3），以及用于清洁这种减压装置的方法（7）。

8. 发明申请

WO2015003819A1 MASSENSPEKTROMETER, DESSEN VERWENDUNG, SOWIE VERFAHREN ZUR MASSENSPEKTROMETRISCHEN UNTERSUCHUNG EINES GASGEMISCHES 审中-公开
标题翻译：质谱仪其用途，和方法的混合气体质谱分析
公开(公告)号：WO2015003819A1
公开(公告)日：2015-01-15
申请号：PCT/EP2014/053361
申请日：2014-02-20
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH , CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH
发明人： FEDOSENKO, Gennady , ALIMAN, Michel , CHUNG, Hin Yiu Anthony , RANCK, Albrecht , GORKHOVER, Leonid
IPC分类号： H01J49/14
CPC分类号： H01J49/04 , H01J49/0027 , H01J49/105 , H01J49/14 , H01J49/145 , H01J49/147
摘要： Die Erfindung betrifft ein Massenspektrometer (1) zur massenspektrometrischen Untersuchung von Gasgemischen (2), umfassend: eine lonisierungseinrichtung (12) sowie eine lonenfalle (10) zur Speicherung und zur massenspektrometrischen Untersuchung des Gasgemischs (2). Bei einem Aspekt der Erfindung ist die lonisierungseinrichtung (12) zur Zuführung von Ionen (13a) und/oder von metastabilen Teilchen (13b) eines lonisierungsgases (13) und/oder von Elektronen (20a) zu der lonenfalle (10) für die Ionisierung des zu untersuchenden Gasgemischs (2) ausgebildet und das Massenspektrometer (1) ist ausgebildet, vor der Untersuchung des Gasgemischs (2) die in der lonenfalle (10) vorhandene Anzahl von Ionen (13a) und/oder metastabilen Teilchen (13b) des lonisierungsgases (13) und/oder die Anzahl von Ionen (14a) eines in der lonenfalle (10) vorhandenen Restgases (14) zu ermitteln. Die Erfindung betrifft auch die Verwendung eines solchen Massenspektrometers (1) sowie ein Verfahren zur massenspektrometrischen Untersuchung eines Gasgemischs (2).
摘要翻译：本发明涉及一种质量分析装置（1）的气体混合物（2）的质谱分析，其包括：一个电离装置（12）和用于存储离子阱（10）和所述混合物（2）的气体的质谱分析。在本发明中，离子化装置（12）用于供给离子（13A）和/或亚稳粒子的一个方面（13B）是一个lonisierungsgases（13）和/或电子（20A），为的电离离子阱（10）要被检查的气体混合物（2）被形成和质谱仪（1）被设计，气体混合物的调查（2）之前的lonisierungsgases的离子（13A）和/或亚稳粒子（13B）的存在于离子阱（10）号（13 ）和/或确定）的存在于离子阱（10离子（14a）的数目，所述残余气体（14）。本发明还涉及使用这样的质谱仪（1）和用于混合物（2）气体的质谱分析的方法的。

9. 发明申请

WO2017194333A1 APPARATUS AND METHOD FOR DETECTING IONS 审中-公开
标题翻译：检测离子的装置和方法
公开(公告)号：WO2017194333A1
公开(公告)日：2017-11-16
申请号：PCT/EP2017/060204
申请日：2017-04-28
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH
发明人： ALIMAN, Michel , BUTZMANN, Stefan , BROCKHAUS, Albrecht , SCHMIDT, Michael , CHUNG, Hin Yiu Anthony , LAUE, Alexander
IPC分类号： H01J49/38 , H01J49/02 , H01J49/42
CPC分类号： H01J49/38 , H01J49/022 , H01J49/424
摘要： The invention relates to an apparatus (1) for detecting ions (4a, 4b), comprising: an ion trap (2) having a first electrode, preferably a ring electrode (3) and also having at least one second electrode, preferably a cap electrode (7a, 7b), a storage signal generator (5) for generating an RF storage signal (U RF ), which can be coupled into the first electrode (3) in order to generate an electric storage field (E) in the ion trap (2), and also an excitation device (6a, 6b) for generating an excitation signal (U stim1 , U stim2 ) for exciting ions (4a, 4b) stored in the ion trap (2). The storage signal generator (5) is designed to set an amplitude (A RF ) and/or a frequency (f RF ) of the RF storage signal (U RF ). The invention also relates to an associated method for mass-selective detection of ions (4a, 4b). Furthermore, a suitable ionization method with constant or targeted ionization energies is presented.
摘要翻译：本发明涉及一种用于检测离子（4a，4b）的设备（1），其包括：离子阱（2），其具有第一电极，优选为环形电极（3），并且还具有在至少一个第二电极，优选地为帽电极（7a，7b），用于产生RF存储信号（U RF）的存储信号发生器（5），其可以被耦合到第一电极）以在离子阱（2）中产生电存储场（E），并且还包括用于产生激励信号（U stim1，U ex）的激励装置（6a，6b）（2）中存储的激发离子（4a，4b）。存储信号发生器（5）被设计用于设置RF存储信号（U n）的幅度（A RF）和/或频率（f RF） RF ）。本发明还涉及用于质量选择性检测离子（4a，4b）的相关方法。此外，还介绍了一种具有恒定或目标电离能的合适电离方法。

10. 发明申请

WO2013104583A2 APPARATUS AND METHOD FOR SURFACE PROCESSING OF A SUBSTRATE 审中-公开
标题翻译：基板表面加工的装置和方法
公开(公告)号：WO2013104583A2
公开(公告)日：2013-07-18
申请号：PCT/EP2013/050152
申请日：2013-01-07
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH , CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH
发明人： CHUNG, Hin Yiu Anthony , ALIMAN, Michel , FEDOSENKO, Gennady , RANCK, Albrecht , GORKHOVER, Leonid
CPC分类号： H01J37/32009 , C23C16/405 , C23C16/44 , C23C16/4401 , C23C16/4408 , C23C16/45525 , C23C16/52 , H01J37/32963 , H01J37/32981 , H01J37/3299 , H01J49/027
摘要： The invention relates to an apparatus (1) for surface processing on a substrate (2), for example for applying a coating (14) to the substrate (2) or for removing a coating (14) from the substrate (2), wherein the apparatus (1) comprises: a chamber (5) enclosing an interior (4) and serving for arranging the substrate (2) for the surface processing, a process gas analyser (13a, 13b) for detecting at least one gaseous constituent of a residual gas atmosphere formed in the interior (4), wherein the process gas analyser (13a, 13b) comprises an ion trap (18) for storing the gaseous constituent to be detected, and an ionization device (17) for ionizing the gaseous constituent. The invention also relates to an associated method for monitoring surface processing on a substrate (2).
摘要翻译：本发明涉及一种用于在衬底（2）上进行表面处理的设备（1），例如用于将涂层（14）施加到衬底（2）或从衬底（2）去除涂层（14），其中装置（1）包括：封闭内部（4）并用于布置用于表面处理的基板（2）的室（5），用于检测至少一种气体成分的处理气体分析器（13a，13b）在内部形成的残留气体气氛（4），其中处理气体分析器（13a，13b）包括用于存储要检测的气态成分的离子阱（18）和用于离子化气态成分的离子化装置（17）。本发明还涉及用于监测衬底（2）上的表面处理的相关方法。

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