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1. 发明申请

WO2016096233A1 DRUCKREDUZIERUNGSEINRICHTUNG, VORRICHTUNG ZUR MASSENSPEKTROMETRISCHEN ANALYSE EINES GASES UND REINIGUNGSVERFAHREN 审中-公开
标题翻译：减压装置，装置的燃气质谱分析，清洗等
公开(公告)号：WO2016096233A1
公开(公告)日：2016-06-23
申请号：PCT/EP2015/075589
申请日：2015-11-03
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH , CARL ZEISS MICROSCOPY GMBH
发明人： CHUNG, Hin Yiu Anthony , ALIMAN, Michel , FEDOSENKO, Gennady , REUTER, Rüdiger , GORKHOVER, Leonid , AWAKOWICZ, Peter , BÖKE, Marc , KEUDELL, Achim von , WINTER, Jörg , LAUE, Alexander , BENEDIKT, Jan
IPC分类号： H01J49/24
CPC分类号： H01J49/24
摘要： Die Erfindung betrifft eine Druckreduzierungseinrichtung (3), umfassend: ein Vakuum-Gehäuse (4), welches eine Einlassöffnung (5) für den Einlass eines zu untersuchenden Gases (2) bei einem Umgebungsdruck (P U ) sowie einen Analyseraum (7) für die massenspektrometrische Untersuchung des zu untersuchenden Gases (2) bei einem Arbeitsdruck (P A ) aufweist, wobei die Einlassöffnung (5) und eine Eintrittsöffnung (10) des Analyseraums (7) entlang einer gemeinsamen Sichtlinie (11) angeordnet sind. Das Vakuum-Gehäuse (4) weist eine Mehrzahl von modular miteinander verbindbaren und entlang der Sichtlinie (11) hintereinander anordenbaren Vakuum-Bauteilen (21, 26) auf und durch mindestens eines der Vakuum-Bauteile (23, 27), durch die der Analyseraum (7) verläuft, verläuft auch mindestens ein von dem Analyseraum (7) gasdicht getrennter Druckreduzierungsraum (12). Die Erfindung betrifft auch eine Vorrichtung zur massenspektrometrischen Untersuchung eines Gases (2), welche eine solche Druckreduzierungseinrichtung (3) aufweist, sowie ein Verfahren zum Reinigen einer solchen Druckreduzierungseinrichtung (7).
摘要翻译：本发明涉及一种减压装置（3），包括：真空外壳（4），其质谱的入口开口（5），用于一个给气体所研究的入口（2）在环境压力（PU）和一个分析室（7）的包括下调查到气体检查在工作压力（PA），其特征在于，所述进入口（5）和所述分析空间（7）的沿视线（11）的公共线的入口开口（10）被布置成（2）。真空外壳（4）包括多个模块化互连的视线的和沿（11）一个在另一个可布置真空组件后面（21，26）和通过真空装置中的至少一个（23，27），通过该分析腔室（7），还延伸分析空间（7）独立的气密减压空间（12）中的至少一个。本发明还涉及一种用于气体（2）的质谱分析的装置，具有这样的减压装置（3），以及用于清洁这种减压装置的方法（7）。

2. 发明申请

WO2018219575A1 VERFAHREN ZUR MASSENSPEKTROMETRISCHEN UNTERSUCHUNG EINES GASES UND MASSENSPEKTROMETER 审中-公开
公开(公告)号：WO2018219575A1
公开(公告)日：2018-12-06
申请号：PCT/EP2018/061159
申请日：2018-05-02
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH
发明人： ALIMAN, Michel , LAUE, Alexander , SCHUETZ, Andreas , REUTER, Rüdiger
IPC分类号： H01J49/00 , H01J49/42
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur massenspektrometrischen Untersuchung eines Gases, umfassend: Anregen von Ionen des zu untersuchenden Gases in einer FT-Ionenfalle, Aufnehmen eines ersten Frequenz-Spektrums (FS1) in einem ersten Messzeitintervall (FFT1) während oder nach dem Anregen der Ionen, wobei das erste Frequenz-Spektrum (FS1) Ionen-Frequenzen (f i ) der angeregten Ionen und Störfrequenzen (f n ) enthält, sowie Aufnehmen eines zweiten Frequenz-Spektrums (FS2) in einem zweiten Messzeitintervall (FFT2), wobei das zweite Frequenz-Spektrum (FS2) die Störfrequenzen (f n ), aber nicht die Ionen-Frequenzen (fj) des ersten Frequenz-Spektrums (FS1) enthält, sowie Vergleichen des ersten Frequenz-Spektrums (FS1) mit dem zweiten Frequenz-Spektrum (FS2) zum Identifizieren der Störfrequenzen (f n ) in dem ersten Frequenz-Spektrum (FS1). Die Erfindung betrifft auch ein Massenspektrometer, welches geeignet ist, das Verfahren zur massenspektrometrischen Untersuchung des Gases durchzuführen.

3. 发明申请

WO2020064201A1 MASSENSPEKTROMETER UND VERFAHREN ZUR MASSENSPEKTROMETRISCHEN ANALYSE EINES GASES 审中-公开
公开(公告)号：WO2020064201A1
公开(公告)日：2020-04-02
申请号：PCT/EP2019/071577
申请日：2019-08-12
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH
发明人： CHUNG, Anthony Hin Yiu , BENTER, Thorsten , ALIMAN, Michel , REUTER, Rüdiger , BRACHTHÄUSER, Yessica
IPC分类号： H01J49/04
摘要： Die Erfindung betrifft ein Massenspektrometer (1) zur massenspektrometrischen Analyse eines Gases (2), umfassend: ein steuerbares Einlasssystem (6) zum gepulsten Zuführen des zu analysierenden Gases (2) aus einem Prozessbereich (4) außerhalb des Massenspektrometers (1) in einen lonisierungsbereich (11), eine lonisierungseinrichtung (14) zur Ionisierung des zu analysierenden Gases (2) in dem lonisierungsbereich (11), eine lonentransfereinrichtung (21) zum Transferieren des ionisierten Gases (2a) von dem lonisierungsbereich (11) über einen lonentransferbereich (20) in einen Analysebereich (25) und einen Analysator (26) zur Detektion des ionisierten Gases (2a) in dem Analysebereich (25). Die Erfindung betrifft auch ein zugehöriges Verfahren zur massenspektrometrischen Analyse eines Gases (2).

4. 发明申请

WO2016177503A1 VERFAHREN ZUR MASSENSPEKTROMETRISCHEN UNTERSUCHUNG EINES GASES UND MASSENSPEKTROMETER 审中-公开
标题翻译：方法质谱分析气体和质谱仪
公开(公告)号：WO2016177503A1
公开(公告)日：2016-11-10
申请号：PCT/EP2016/055842
申请日：2016-03-17
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH
发明人： ALIMAN, Michel , LAUE, Alexander , CHUNG, Hin Yiu Anthony , FEDOSENKO, Gennady , REUTER, Rüdiger , GORKHOVER, Leonid , ANTONI, Martin , GORUS, Andreas , DERPMANN, Valerie
IPC分类号： H01J49/00 , H01J49/42 , H01J49/02 , H01J49/38
CPC分类号： H01J49/38 , H01J49/0031 , H01J49/027 , H01J49/425 , H01J49/426 , H01J49/427 , H01J49/4295
摘要： Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur massenspektrometrischen Untersuchung eines Gases (4), umfassend: Ionisieren des Gases (4) zum Erzeugen von Ionen (4a, 4b), sowie Speichern, Anregen und Detektieren zumindest eines Teils der erzeugten Ionen (4a, 4b) in einer FT-Ionenfalle (2). Bei dem Verfahren umfasst das Erzeugen und Speichern der Ionen (4a, 4b) in der FT-Ionenfalle (2) und/oder das Anregen der Ionen (4a, 4b) vor dem Detektieren der Ionen (4a, 4b) in der FT-Ionenfalle (2) mindestens eine selektive, vom Masse-zu-Ladungsverhältnis (m/z) der Ionen (4a, 4b) abhängige IFT-Anregung, insbesondere eine SWIFT-Anregung (10). Die Erfindung betrifft auch ein Massenspektrometer (1).
摘要翻译：本发明涉及一种用于气体的质谱分析的方法（4），包括：离子化用于产生离子的气体（4）（4A，4B），并存储，刺激，至少检测产生的离子的一部分（图4a，4b）在的FT-离子阱（2）。在该方法中产生和离子存储包括（4A，4B）在FT-离子阱（2）和/或离子的激发（4A，4B）之前检测的离子的至（4A，4B）在FT-离子阱（2）至少一种选择性的，从离子的质荷比（M / Z）（图4a，4b）依赖IFT激励，特别是SWIFT激励（10）。本发明还涉及一种质谱仪（1）。

5. 发明申请

WO2020200833A1 MASS SPECTROMETER COMPRISING AN IONIZATION DEVICE 审中-公开
公开(公告)号：WO2020200833A1
公开(公告)日：2020-10-08
申请号：PCT/EP2020/057739
申请日：2020-03-20
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH
发明人： GORKHOVER, Leonid , FEDOSENKO, Gennady , LAUE, Alexander , REUTER, Rüdiger , CHUNG, Hin Yiu Anthony
IPC分类号： H01J49/10 , H01J49/42
摘要： The invention relates to a mass spectrometer (1 ), comprising: an ion trap (2), which has an interior (2a) for storing ions (4a, 4b), a signal generator (5, 6a, 6b), which is connected to an electrode (3, 7a, 7b) of the ion trap (2), which delimits the interior (2a), for coupling in a voltage signal (U RF , U stim1 , U stim2 ), in particular a radiofrequency voltage signal, and an ionization device (15) for ionizing a gas (4) to be ionized and supplied to the interior (2a). The ionization device (15) is connected to the signal generator (5, 6a, 6b) in order to use the voltage signal (U RF , U stim1 , U stim2 ) of the signal generator (5; 6a, 6b), which is coupled into the electrode (3, 7a, 7b), for generating ions (4a, 4b).

6. 发明申请

WO2018153430A1 METHOD FOR REAL-TIME MONITORING OF A PROCESS AND MASS SPECTROMETER 审中-公开
公开(公告)号：WO2018153430A1
公开(公告)日：2018-08-30
申请号：PCT/EP2017/053899
申请日：2017-02-21
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH
发明人： CHUNG, Hin Yiu Anthony , LUNDQUIST, Theodore , ALIMAN, Michel , ANTONI, Martin , FEDOSENKO, Gennady , DERPMANN, Valerie , REUTER, Rüdiger , LAUE, Alexander , GORKHOVER, Leonid , GORUS, Andreas
IPC分类号： H01J37/32 , A61B5/08 , H01J49/00
摘要： The invention relates to a method for real-time monitoring of a process, comprising: performing a mass spectrometric real-time measurement of a gas mixture (4) generated in the monitored process to determine real-time mass spectrometric data (25a-c) indicative of the monitored process, evaluating the monitored process by correlating and/or calibrating the real-time mass spectrometric data (25a-c) with metrology data determined by at least one post-process metrology method for evaluating a previous process and/or by comparing the real-time mass spectrometric data (25a-c) with at least one limit value, preferably with a limit value (29) of a process window of the monitored process. The invention also relates to a mass spectrometer for performing the method.

7. 发明申请

WO2016096457A1 IONIZATION DEVICE AND MASS SPECTROMETER THEREWITH 审中-公开
标题翻译：离子装置和大容量光谱仪
公开(公告)号：WO2016096457A1
公开(公告)日：2016-06-23
申请号：PCT/EP2015/078506
申请日：2015-12-03
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH
发明人： ALIMAN, Michel , CHUNG, Hin Yiu Anthony , FEDOSENKO, Gennady , REUTER, Rüdiger , LAUE, Alexander , KEUDELL, Achim von , BÖKE, Marc , BENTER, Thorsten , WINTER, Jörg , AWAKOWICZ, Peter , GORKHOVER, Leonid
IPC分类号： H01J27/08 , H01J49/12 , H01J49/14
CPC分类号： H01J49/145 , H01J27/08 , H01J37/08 , H01J49/12
摘要： The invention relates to an ionization device (1), comprising: a plasma generating device (4) for generating metastable particles (6a) and/or ions (6b) of an ionization gas (6) in a primary plasma region (9), a field generating device (13) for generating a glow discharge (12) in a secondary plasma region (10), an inlet (2) for supplying a gas (3) to be ionized into the secondary plasma region (10), and a further inlet (5) for supplying the metastable particles (6a) and/or the ions (6b) of the ionization gas (6) into the secondary plasma region (10). The invention also relates to a mass spectrometer (20) comprising such an ionization device (1 ) and a detector (17), disposed downstream of the outlet (16) of the ionization device (1), for the mass-spectrometric analysis of the ionized gas (3a, 3a').
摘要翻译：本发明涉及电离装置（1），其包括：用于在初级等离子体区域（9）中产生电离气体（6）的亚稳颗粒（6a）和/或离子（6b）的等离子体产生装置（4）用于在次级等离子体区域（10）中产生辉光放电（12）的场产生装置（13），用于供给待离子化到二次等离子体区域（10）中的气体（3）的入口（2）用于将亚稳颗粒（6a）和/或电离气体（6）的离子（6b）供应到次级等离子体区域（10）中的另外的入口（5）。本发明还涉及一种质谱仪（20），其包括设置在离子化装置（1）的出口（16）下游的这种离子化装置（1）和检测器（17），用于质谱分析电离气体（3a，3a'）。

8. 发明授权

EP3234978B1 IONIZATION DEVICE AND MASS SPECTROMETER THEREWITH 有权转让
公开(公告)号：EP3234978B1
公开(公告)日：2018-09-26
申请号：EP15804140.0
申请日：2015-12-03
申请人： Carl Zeiss SMT GmbH
发明人： ALIMAN, Michel , CHUNG, Hin Yiu Anthony , FEDOSENKO, Gennady , REUTER, Rüdiger , LAUE, Alexander , KEUDELL, Achim von , BÖKE, Marc , BENTER, Thorsten , WINTER, Jörg , AWAKOWICZ, Peter , GORKHOVER, Leonid
IPC分类号： H01J37/08 , H01J27/08 , H01J49/12 , H01J49/14
CPC分类号： H01J49/145 , H01J27/08 , H01J37/08 , H01J49/12
摘要： An ionization device includes: a plasma generating device for generating metastable particles and/or ions of an ionization gas in a primary plasma region; a field generating device for generating a glow discharge in a secondary plasma region; an inlet for supplying a gas to be ionized into the secondary plasma region; and a further inlet for supplying the metastable particles and/or the ions of the ionization gas into the secondary plasma region. A mass spectrometer includes such an ionization device and a detector downstream of the outlet of the ionization device for the mass-spectrometric analysis of the ionized gas.

9. 发明公开

EP3292561A1 VERFAHREN ZUR MASSENSPEKTROMETRISCHEN UNTERSUCHUNG EINES GASES UND MASSENSPEKTROMETER 有权转让
标题翻译：一种气体质谱仪的质谱分析方法
公开(公告)号：EP3292561A1
公开(公告)日：2018-03-14
申请号：EP16710230.0
申请日：2016-03-17
申请人： Carl Zeiss SMT GmbH
发明人： ALIMAN, Michel , LAUE, Alexander , CHUNG, Hin Yiu Anthony , FEDOSENKO, Gennady , REUTER, Rüdiger , GORKHOVER, Leonid , ANTONI, Martin , GORUS, Andreas , DERPMANN, Valerie
IPC分类号： H01J49/00 , H01J49/42 , H01J49/02 , H01J49/38
CPC分类号： H01J49/38 , H01J49/0031 , H01J49/027 , H01J49/425 , H01J49/426 , H01J49/427 , H01J49/4295
摘要： The invention relates to a method for examining a gas (4) by mass spectrometry, comprising: ionizing the gas (4) for producing ions (4a, 4b), and storing, exciting and detecting at least some of the produced ions (4a, 4b) in an FT ion trap (2). In the method, producing and storing the ions (4a, 4b) in the FT ion trap (2) and/or exciting the ions (4a, 4b) prior to the detection of the ions (4a, 4b) in the FT ion trap (2) comprises at least one selective IFT excitation, in particular a SWIFT excitation (10), which is dependent on the mass-to-charge ratio (m/z) of the ions (4a, 4b). The invention further relates to a mass spectrometer (1).

10. 发明公开

EP3234978A1 IONIZATION DEVICE AND MASS SPECTROMETER THEREWITH 有权转让
标题翻译：电离装置及其质谱仪
公开(公告)号：EP3234978A1
公开(公告)日：2017-10-25
申请号：EP15804140.0
申请日：2015-12-03
申请人： Carl Zeiss SMT GmbH
发明人： ALIMAN, Michel , CHUNG, Hin Yiu Anthony , FEDOSENKO, Gennady , REUTER, Rüdiger , LAUE, Alexander , KEUDELL, Achim von , BÖKE, Marc , BENTER, Thorsten , WINTER, Jörg , AWAKOWICZ, Peter , GORKHOVER, Leonid
IPC分类号： H01J27/08 , H01J49/12 , H01J49/14
CPC分类号： H01J49/145 , H01J27/08 , H01J37/08 , H01J49/12
摘要： An ionization device includes: a plasma generating device for generating metastable particles and/or ions of an ionization gas in a primary plasma region; a field generating device for generating a glow discharge in a secondary plasma region; an inlet for supplying a gas to be ionized into the secondary plasma region; and a further inlet for supplying the metastable particles and/or the ions of the ionization gas into the secondary plasma region. A mass spectrometer includes such an ionization device and a detector downstream of the outlet of the ionization device for the mass-spectrometric analysis of the ionized gas.
摘要翻译：本发明涉及一种电离装置（1），包括：用于在主等离子体区域（9）中产生电离气体（6）的亚稳颗粒（6a）和/或离子（6b）的等离子体产生装置（4）用于在次级等离子体区域（10）中产生辉光放电（12）的场发生装置（13），用于将待电离的气体（3）供应到次级等离子体区域（10）中的入口（2）用于将亚稳颗粒（6a）和/或电离气体（6）的离子（6b）供应到第二等离子体区域（10）中的进一步入口（5）。本发明还涉及一种质谱仪（20），其包括设置在电离装置（1）的出口（16）下游的这种电离装置（1）和检测器（17），用于质谱分析电离气体（3a，3a'）。

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