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1. 发明申请

WO2017194333A1 APPARATUS AND METHOD FOR DETECTING IONS 审中-公开
标题翻译：检测离子的装置和方法
公开(公告)号：WO2017194333A1
公开(公告)日：2017-11-16
申请号：PCT/EP2017/060204
申请日：2017-04-28
申请人： CARL ZEISS SMT GMBH
发明人： ALIMAN, Michel , BUTZMANN, Stefan , BROCKHAUS, Albrecht , SCHMIDT, Michael , CHUNG, Hin Yiu Anthony , LAUE, Alexander
IPC分类号： H01J49/38 , H01J49/02 , H01J49/42
CPC分类号： H01J49/38 , H01J49/022 , H01J49/424
摘要： The invention relates to an apparatus (1) for detecting ions (4a, 4b), comprising: an ion trap (2) having a first electrode, preferably a ring electrode (3) and also having at least one second electrode, preferably a cap electrode (7a, 7b), a storage signal generator (5) for generating an RF storage signal (U RF ), which can be coupled into the first electrode (3) in order to generate an electric storage field (E) in the ion trap (2), and also an excitation device (6a, 6b) for generating an excitation signal (U stim1 , U stim2 ) for exciting ions (4a, 4b) stored in the ion trap (2). The storage signal generator (5) is designed to set an amplitude (A RF ) and/or a frequency (f RF ) of the RF storage signal (U RF ). The invention also relates to an associated method for mass-selective detection of ions (4a, 4b). Furthermore, a suitable ionization method with constant or targeted ionization energies is presented.
摘要翻译：本发明涉及一种用于检测离子（4a，4b）的设备（1），其包括：离子阱（2），其具有第一电极，优选为环形电极（3），并且还具有在至少一个第二电极，优选地为帽电极（7a，7b），用于产生RF存储信号（U RF）的存储信号发生器（5），其可以被耦合到第一电极）以在离子阱（2）中产生电存储场（E），并且还包括用于产生激励信号（U stim1，U ex）的激励装置（6a，6b）（2）中存储的激发离子（4a，4b）。存储信号发生器（5）被设计用于设置RF存储信号（U n）的幅度（A RF）和/或频率（f RF） RF ）。本发明还涉及用于质量选择性检测离子（4a，4b）的相关方法。此外，还介绍了一种具有恒定或目标电离能的合适电离方法。

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