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1. 发明申请

WO2012134000A1 박막형 태양전지 및 그 제조방법 审中-公开
标题翻译：薄膜型太阳能电池及其制造方法
公开(公告)号：WO2012134000A1
公开(公告)日：2012-10-04
申请号：PCT/KR2011/006509
申请日：2011-09-02
申请人： 주성엔지니어링(주) , 박창균 , 김덕호 , 박상기 , 박원모 , 이용현 , 정준영
发明人： 박창균 , 김덕호 , 박상기 , 박원모 , 이용현 , 정준영
IPC分类号： H01L31/042 , H01L31/0236 , H01L31/18
CPC分类号： H01L31/022466 , H01L31/022425 , H01L31/02366 , Y02E10/50
摘要： 본 발명은, 기판; 상기 기판 상에 형성된 전면전극층; 상기 전면전극층 상에 형성된 반도체층; 상기 반도체층 상에 형성된 투명도전층; 및 상기 투명도전층 상에 형성된 후면전극층을 포함하여 이루어지며, 상기 전면전극층은, 상기 기판 상에 형성되며 그 표면이 제1 요철구조로 형성된 제1 전면전극층, 및 상기 제1 전면전극층 상에 형성되며 그 표면이 제2 요철구조로 형성된 제2 전면전극층을 포함하여 이루어지고, 상기 제1 요철구조와 상기 제2 요철구조는 서로 상이하게 형성된 것을 특징으로 하는 박막형 태양전지, 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따르면, 전면전극층이 상대적으로 표면 거칠기가 큰 제1 전면전극층 상에 상대적으로 표면 거칠기가 작은 제2 전면전극층이 형성되어 이루어지기 때문에, 상기 전면전극층을 통과하는 태양광이 다양하게 산란되어 상기 반도체층에서 태양광의 흡수율이 증진됨과 더불어 전면전극층의 표면 거칠기가 줄어들어 태양전지의 개방전압(Voc)과 완충인자(fill factor)가 증가될 수 있고, 결국 태양전지의 효율이 개선될 수 있게 된다.
摘要翻译：薄膜型太阳能电池及其制造方法技术领域本发明涉及薄膜型太阳能电池及其制造方法，所述薄膜型太阳能电池包括：基板; 形成在所述基板上的前表面电极层; 形成在前表面电极层上的半导体层; 形成在所述半导体层上的透明导电层; 以及形成在所述透明导电层上的后表面电极层，其中所述前表面电极层包括形成在所述基板上的第一前表面电极层，并且具有以第一凹凸结构形成的表面，以及第二前表面电极形成在第一前表面电极层上并具有形成在第二凹凸结构中的表面，并且第一凹凸结构和第二凹凸结构彼此不同地形成。根据本发明，前表面电极层由具有较低表面粗糙度的第二前表面电极层形成，该第二前表面电极层具有相对较高的表面粗糙度的第一前表面电极层，因此通过前面的阳光表面电极层分散地散射，增加了半导体层的太阳光的吸收率，并降低了前表面电极层的表面粗糙度，从而增加了太阳能电池的voc和填充因子，最终提高了太阳能电池。

2. 发明申请

WO2018159907A1 접합장치 및 이를 포함하는 라미네이터 审中-公开
公开(公告)号：WO2018159907A1
公开(公告)日：2018-09-07
申请号：PCT/KR2017/008445
申请日：2017-08-04
申请人： 주성엔지니어링(주)
发明人： 이정균 , 김기덕 , 김덕호 , 김용현 , 마창수 , 민경인 , 박창균 , 신현교
IPC分类号： B32B37/00 , B32B37/06
CPC分类号： B32B37/00 , B32B37/06
摘要： 접합장치의 일 실시예는, 용기; 상기 용기에 수용되는 수용체; 및 곡면형의 대상체가 안착되는 곡면부위가 형성되도록 유연한 재질로 형성되고, 상기 수용체가 수용된 상기 용기의 상부를 덮는 커버시트를 포함하고, 상기 수용체는 상기 용기에서 이동가능하도록 구비되는 것일 수 있다.

3. 发明申请

WO2019013537A1 박막형 태양전지 审中-公开
公开(公告)号：WO2019013537A1
公开(公告)日：2019-01-17
申请号：PCT/KR2018/007831
申请日：2018-07-11
申请人： 주성엔지니어링(주)
发明人： 신현교 , 김덕호 , 김용현 , 마창수 , 민경인 , 박창균 , 이정균
IPC分类号： H01L31/0445 , H01L31/054 , H01L31/0232 , H01L31/05
摘要： 본 발명은 기판 상에서 서로 직렬로 연결되어 있는 복수의 단위셀; 및 상기 복수의 단위셀 내에 구비된 광 투과부를 포함하여 이루어지고, 상기 광 투과부는 불연속적인 직선 구조로 이루어진 박막형 태양전지에 관한 것으로서, 본 발명에 따르면, 광 투과부가 불연속적으로 형성됨으로써, 복수의 도트 패턴으로 이루어진 광 투과부의 반복 특성이 완화될 수 있고, 그에 따라, 광이 상기 광 투과부를 투과할 때 모아레 현상과 같은 물결 무늬가 발생하는 문제가 효과적으로 해소될 수 있다.

4. 发明申请

WO2022045629A1 기판 처리 장치 审中-公开
公开(公告)号：WO2022045629A1
公开(公告)日：2022-03-03
申请号：PCT/KR2021/010455
申请日：2021-08-06
申请人： 주성엔지니어링(주)
发明人： 김덕호 , 구현호 , 마창수 , 박애정 , 이상두 , 채민석
IPC分类号： C23C16/455 , C23C16/40 , C23C16/448 , H01L21/02
摘要： 본 발명은 기판 처리 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판 상에 박막을 증착하기 위한 기판 처리 장치에 관한 것이다. 본 발명의 실시 예에 따른 기판 처리 장치는 적어도 하나가 DADI((3-Dimethylaminopropyl)Dimethylindium)를 포함하는 복수의 원료 가스를 각각 공급하기 위한 복수의 원료 가스 공급부, 상기 복수의 원료 가스 공급부가 각각 연결되고, 상기 복수의 원료 가스가 공급되는 공급 속도보다 느린 통과 속도를 가지도록 내부 공간이 마련된 가스 혼합부 및 상기 가스 혼합부와 연결되고, 상기 내부 공간에서 혼합된 원료 가스가 제공되는 반응 공간을 가지는 챔버를 포함한다.

5. 发明申请

WO2022239948A1 박막 형성 방법 审中-公开
公开(公告)号：WO2022239948A1
公开(公告)日：2022-11-17
申请号：PCT/KR2022/003477
申请日：2022-03-11
申请人： 주성엔지니어링(주)
发明人： 허정 , 김덕호 , 김용현 , 마창수 , 박창균 , 이용현 , 황철주
IPC分类号： H01L21/02 , C23C16/02 , C23C16/34 , C23C16/455 , C23C16/0272 , C23C16/4554 , C23C16/45553 , C23C16/56 , H01L21/02458 , H01L21/0254 , H01L21/02576 , H01L21/02579 , H01L21/0262 , H01L21/02667
摘要： 본 발명은 박막 형성 방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 질화갈륨 박막을 형성하기 위한 박막 형성 방법에 관한 것이다. 본 발명의 실시 예에 따른 박막 형성 방법은, 챔버의 공정 공간에 기판을 반입하는 단계; 및 상기 기판 상에 질화갈륨 박막을 형성하는 단계;를 포함하고, 상기 질화갈륨 박막을 형성하는 단계는, 상기 기판 상에 갈륨을 함유하는 소스 가스를 공급하는 단계; 상기 기판 상에 질소를 함유하는 리액턴트 가스를 공급하는 단계; 및 상기 리액턴트 가스가 공급된 기판 상에 수소를 함유하는 후처리 가스를 활성화시켜 공급하는 단계;를 포함한다.

6. 发明申请

WO2016200216A9 박막형 태양전지와 그의 제조방법 审中-公开
公开(公告)号：WO2016200216A9
公开(公告)日：2016-12-15
申请号：PCT/KR2016/006207
申请日：2016-06-10
申请人： 주성엔지니어링(주)
发明人： 김용현 , 박창균 , 김영기 , 김덕호 , 민경인 , 최상수
IPC分类号： H01L31/0445 , H01L31/18 , H01L31/0224 , H01L21/67
摘要： 본 발명의 실시예는 분리부에 형성된 부산물에 의해 제1 전극과 제2 전극 간에 단락이 발생하는 것을 방지함으로써 출력 감소를 방지할 수 있는 박막형 태양전지에 관한 것이다. 본 발명의 실시예에 따른 박막형 태양전지는 기판; 상기 기판 상에서 제1 분리부를 사이에 두고 이격되어 형성되는 제1 전극; 상기 제1 전극 상에서 상기 제1 분리부를 통해 상기 기판과 접하고, 콘택부 및 제2 분리부를 사이에 두고 이격되어 형성되는 반도체층; 및 상기 반도체층 상에서 상기 콘택부를 통해 상기 제1 전극과 접속되고, 상기 제2 분리부를 사이에 두고 이격되어 형성되는 제2 전극을 포함하고, 상기 제2 분리부에 형성된 부산물의 높이는 상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이의 높이보다 낮은 것을 특징으로 한다.

7. 发明申请

WO2017195933A1 기판지지홀더 및 이를 사용한 기판처리장치 审中-公开
标题翻译：基板支架和使用其的基板处理装置
公开(公告)号：WO2017195933A1
公开(公告)日：2017-11-16
申请号：PCT/KR2016/007562
申请日：2016-07-12
申请人： 주성엔지니어링(주)
发明人： 김용현 , 박창균 , 김영기 , 김덕호 , 마창수 , 민경인
IPC分类号： H01L21/687 , H01L21/677 , H01L21/683
CPC分类号： H01L21/677 , H01L21/683 , H01L21/687
摘要： 기판지지홀더 및 이를 사용한 기판처리장치가 개시된다. 본 발명에 따른 기판지지홀더 및 이를 사용한 기판처리장치는, 기판지지홀더의 와이어로 기판을 지지하여, 로봇의 아암에 탑재된 기판을 서셉터에 탑재한 다음, 기판을 처리한다. 그런데, 와이어의 직경을 적절한 범위로 형성하므로, 기판의 처리시, 기판이 와이어의 영향을 받지 않는다. 그러므로, 기판의 전체 부위가 균일하게 처리되므로, 기판에 대한 신뢰성이 향상되는 효과가 있을 수 있다. 즉, 기판의 처리시, 기판과 서셉터가 0.1㎜~3.0㎜의 간격을 가지면, 기판의 전체 부위가 균일하게 처리되므로, 기판에 대한 신뢰성이 향상되는 효과가 있을 수 있다.
摘要翻译：公开了一种衬底支撑保持件和使用该保持件的衬底处理设备。根据本发明的使用基板保持器的基板保持器和基板处理设备利用基板保持器的导线支撑基板，将安装在机器人的臂上的基板安装在基座上并处理基板。但是，由于导线的直径被设定在适当的范围内，所以在处理基板期间基板不会受到导线的影响。因此，由于基板的整个部分被均匀处理，因此可以提高基板的可靠性。也就是说，如果基板和基座在处理基板时具有0.1mm至3.0mm的间隔，则基板的整个部分被均匀处理，从而可以提高基板的可靠性。

8. 发明申请

WO2016200216A1 박막형 태양전지와 그의 제조방법 审中-公开
标题翻译：薄膜型太阳能电池及其制造方法
公开(公告)号：WO2016200216A1
公开(公告)日：2016-12-15
申请号：PCT/KR2016/006207
申请日：2016-06-10
申请人： 주성엔지니어링(주)
发明人： 김용현 , 박창균 , 김영기 , 김덕호 , 민경인 , 최상수
IPC分类号： H01L31/0445 , H01L31/18 , H01L31/0224 , H01L21/67
CPC分类号： H01L21/67 , H01L31/0224 , H01L31/0445 , H01L31/18 , Y02E10/50 , Y02P70/521
摘要： 본 발명의 실시예는 분리부에 형성된 부산물에 의해 제1 전극과 제2 전극 간에 단락이 발생하는 것을 방지함으로써 출력 감소를 방지할 수 있는 박막형 태양전지에 관한 것이다. 본 발명의 실시예에 따른 박막형 태양전지는 기판; 상기 기판 상에서 제1 분리부를 사이에 두고 이격되어 형성되는 제1 전극; 상기 제1 전극 상에서 상기 제1 분리부를 통해 상기 기판과 접하고, 콘택부 및 제2 분리부를 사이에 두고 이격되어 형성되는 반도체층; 및 상기 반도체층 상에서 상기 콘택부를 통해 상기 제2 전극과 접속되고, 상기 제2 분리부를 사이에 두고 이격되어 형성되는 제1 전극을 포함하고, 상기 제2 분리부에 형성된 부산물의 높이는 상기 제1 전극과 상기 제2 전극 사이의 높이보다 낮은 것을 특징으로 한다.
摘要翻译：本发明的一个实施例涉及一种薄膜型太阳能电池，其能够通过防止由于在分离部件上形成的毛刺而在第一电极和第二电极之间的短路而防止功率降低。根据本发明实施例的薄膜型太阳能电池包括：基板; 第一电极在衬底上间隔开，其间具有第一分离部分; 在第一电极上通过第一分离部分与基板接触并与其间的接触部分和第二分离部分隔开的半导体层; 以及通过所述接触部分与所述第二电极接触并且与所述第二分离部分间隔开的所述半导体层上的第一电极，其中所述第二分离部分中的毛刺高度低于所述第一电极之间的高度和第二电极。

9. 发明申请

WO2011005057A2 진공 건조기 및 이를 이용한 건조 방법 审中-公开
标题翻译：真空干燥机及其干燥方法
公开(公告)号：WO2011005057A2
公开(公告)日：2011-01-13
申请号：PCT/KR2010/004486
申请日：2010-07-09
申请人： 에이펫(주) , 홍성호 , 노봉호 , 김성진 , 김덕호
发明人： 홍성호 , 노봉호 , 김성진 , 김덕호
IPC分类号： H01L21/304
CPC分类号： H01L21/02052 , H01L21/67034
摘要： 본 발명의 목적은, 건조가 시간이 짧고 얼룩 등이 발생하지 않으며 IPA를 사용하지 않으므로써, 화재 위험을 줄이고 유기 오염이 발생하지 않도록 하는 진공건조기 및 이를 이용한 건조방법을 제공하는 것이다. 본 발명은 덮개부분에 디스펜서 노즐이 형성되고 하부에 가스가 배출되는 배출구가 형성되어 있는 진공챔버; 상기 진공챔버 내에 위치하여 복수의 웨이퍼 또는 디스크가 배열되도록 하는 스탠드; 및 상기 진공챔버 내에 상기 스탠드와 상기 배출구사이에 위치하며 복수의 홀이 형성되어 있는 펀칭 플레이트를 포함하는 건조기 및 이를 이용한 건조방법을 제공하는 것이다.
摘要翻译：本发明旨在提供一种真空干燥器，其提供短的干燥时间，不留下污渍并且不使用异丙醇（IPA），从而降低火灾的风险并消除污染物的产生，并且使用干燥方法相同。因此，提供了一种使用该干燥器的干燥器和干燥方法，其中干燥机包括：真空室，其具有形成在其盖部分处的分配器喷嘴和形成在底部的用于通过其排出气体的出口; 放置在真空室内并用作在其上排列多个晶片或盘的位置的支架; 以及冲压板，其设置在真空室内的支架和出口之间，并且在其中形成有多个孔。

10. 发明申请

WO2013022148A1 다중 초점 방식의 펄스 레이저를 이용한 취성 재료 절단 장치 审中-公开
标题翻译：使用多聚焦型脉冲激光切割微细材料的装置
公开(公告)号：WO2013022148A1
公开(公告)日：2013-02-14
申请号：PCT/KR2011/007912
申请日：2011-10-21
申请人： (주)엘투케이플러스 , (주)지엘코어 , 전재필 , 백승환 , 김덕호
发明人： 전재필 , 백승환 , 김덕호
IPC分类号： B23K26/067 , B23K26/38 , C03B33/09 , H01S3/10
CPC分类号： B23K26/0057 , B23K26/006 , B23K26/0617 , B23K26/0622 , B23K26/064 , B23K26/0676 , B23K26/40 , B23K2201/18 , B23K2203/50 , B23K2203/54 , H01S3/005
摘要： 본 발명은 레이저 가공 장치 및 취성재료들(Brittle Materials)의 절단 방법에 관한 것으로서, 더 상세하게는 단일빔(Single-beam)을 경로를 달리하는 다중빔(Multi-beam)들로 분할하여, 각각의 다중빔을 취성 재료 등의 가공대상물의 깊이 방향으로 레이저 초점들의 위치를 다르게 하여 가공대상물의 절단을 효과적으로 하는 레이저 가공 장치 및 취성재료 절단 방법이다.
摘要翻译：激光加工装置及其制造方法技术领域本发明涉及一种激光加工装置及其制造方法，更具体地说，涉及一种将单根光束分割为具有不同光路的多根光束以有效切割待处理物体的激光加工装置通过将多个光束的激光聚焦位置改变为由脆性材料制成的待处理对象的深度方向，以及用于切割脆性材料的方法。

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