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1. 发明申请

WO2013022148A1 다중 초점 방식의 펄스 레이저를 이용한 취성 재료 절단 장치 审中-公开
标题翻译：使用多聚焦型脉冲激光切割微细材料的装置
公开(公告)号：WO2013022148A1
公开(公告)日：2013-02-14
申请号：PCT/KR2011/007912
申请日：2011-10-21
申请人： (주)엘투케이플러스 , (주)지엘코어 , 전재필 , 백승환 , 김덕호
发明人： 전재필 , 백승환 , 김덕호
IPC分类号： B23K26/067 , B23K26/38 , C03B33/09 , H01S3/10
CPC分类号： B23K26/0057 , B23K26/006 , B23K26/0617 , B23K26/0622 , B23K26/064 , B23K26/0676 , B23K26/40 , B23K2201/18 , B23K2203/50 , B23K2203/54 , H01S3/005
摘要： 본 발명은 레이저 가공 장치 및 취성재료들(Brittle Materials)의 절단 방법에 관한 것으로서, 더 상세하게는 단일빔(Single-beam)을 경로를 달리하는 다중빔(Multi-beam)들로 분할하여, 각각의 다중빔을 취성 재료 등의 가공대상물의 깊이 방향으로 레이저 초점들의 위치를 다르게 하여 가공대상물의 절단을 효과적으로 하는 레이저 가공 장치 및 취성재료 절단 방법이다.
摘要翻译：激光加工装置及其制造方法技术领域本发明涉及一种激光加工装置及其制造方法，更具体地说，涉及一种将单根光束分割为具有不同光路的多根光束以有效切割待处理物体的激光加工装置通过将多个光束的激光聚焦位置改变为由脆性材料制成的待处理对象的深度方向，以及用于切割脆性材料的方法。

2. 发明授权

KR101120471B1 다중 초점 방식의 펄스 레이저를 이용한 취성 재료 절단 장치 有权
标题翻译：通过使用多重聚焦方法的脉冲激光来清除细小材料的装置
公开(公告)号：KR101120471B1
公开(公告)日：2012-03-05
申请号：KR1020110077980
申请日：2011-08-05
申请人： (주)엘투케이플러스 , (주)지엘코어
发明人： 김덕호 , 전재필 , 백승환 , 김근수 , 김진하
IPC分类号： B23K26/067 , B23K26/38 , C03B33/09 , H01S3/10
CPC分类号： B23K26/0057 , B23K26/006 , B23K26/0617 , B23K26/0622 , B23K26/064 , B23K26/0676 , B23K26/40 , B23K2201/18 , B23K2203/50 , B23K2203/54 , H01S3/005
摘要： PURPOSE: A device for cutting brittle materials with multi-focusing pulse lasers is provided to reduce damage to a target by heat or shock wave due to high-output laser beam since the high-output laser beam is multiplied. CONSTITUTION: A device for cutting brittle materials with multi-focusing pulse lasers comprises a laser generator, a plurality of paths, a guide unit(150), and a focusing unit(160). At least one of the paths has a different length from one of remaining paths. The guide unit splits a laser beam into a plurality of laser beams to pass the paths, collects the split beams and guides the beams to a specific path. The focusing unit focuses the split beams guided and irradiates a plurality of regions between the front and rear surfaces of a target. The guide unit comprises a time adjusting module and a divergent-angle change module. The time adjusting module varies the length of one or more of the paths.
摘要翻译：目的：提供一种用多焦点脉冲激光切割脆性材料的装置，由于高输出激光束相乘，因为高输出激光束而由于热或冲击波而对目标产生的伤害降低。构成：用多焦点脉冲激光切割脆性材料的装置包括激光发生器，多个路径，引导单元（150）和聚焦单元（160）。至少一个路径具有与剩余路径之一不同的长度。引导单元将激光束分成多个激光束以通过路径，收集分束并将光束引导到特定路径。聚焦单元将被分割的光束聚焦并引导并照射目标的前表面和后表面之间的多个区域。引导单元包括时间调节模块和发散角改变模块。时间调整模块改变一个或多个路径的长度。

3. 发明授权

KR101194686B1 간섭계 레이저 빔 스캐닝 장치 有权
标题翻译：激光束扫描装置使用干涉
公开(公告)号：KR101194686B1
公开(公告)日：2012-10-29
申请号：KR1020110108339
申请日：2011-10-21
申请人： (주)엘투케이플러스 , (주)지엘코어
发明人： 전재필 , 백승환 , 김덕호
IPC分类号： H04N1/028 , H04N1/04
CPC分类号： H04N1/0282 , H04N1/00652
摘要： PURPOSE: A laser beam scanning device using interference is provided to perform fast scan by a large beam even though an interference system slightly moves. CONSTITUTION: A laser beam is incident onto one side of an interference unit(220). The interference unit emits a plurality of interference beams which form an interference pattern by transmitting or reflecting the incident beam. The interference unit changes the interference pattern according to an incident location of the beam. A moving unit changes a relative location of the interference unit for a light source to change the interference pattern. A selecting unit selects at least one interference beam. The selecting unit scans an object by a selection beam.
摘要翻译：目的：提供使用干涉的激光束扫描装置，即使干涉系统轻微移动，也可以通过大光束执行快速扫描。构成：激光束入射到干涉单元（220）的一侧。干扰单元通过发射或反射入射光束发射形成干涉图案的多个干涉光束。干扰单元根据波束的入射位置改变干涉图案。移动单元改变用于光源的干涉单元的相对位置以改变干涉图案。选择单元选择至少一个干涉光束。选择单元通过选择光束扫描对象。

4. 发明申请

WO2011005057A2 진공 건조기 및 이를 이용한 건조 방법 审中-公开
标题翻译：真空干燥机及其干燥方法
公开(公告)号：WO2011005057A2
公开(公告)日：2011-01-13
申请号：PCT/KR2010/004486
申请日：2010-07-09
申请人： 에이펫(주) , 홍성호 , 노봉호 , 김성진 , 김덕호
发明人： 홍성호 , 노봉호 , 김성진 , 김덕호
IPC分类号： H01L21/304
CPC分类号： H01L21/02052 , H01L21/67034
摘要： 본 발명의 목적은, 건조가 시간이 짧고 얼룩 등이 발생하지 않으며 IPA를 사용하지 않으므로써, 화재 위험을 줄이고 유기 오염이 발생하지 않도록 하는 진공건조기 및 이를 이용한 건조방법을 제공하는 것이다. 본 발명은 덮개부분에 디스펜서 노즐이 형성되고 하부에 가스가 배출되는 배출구가 형성되어 있는 진공챔버; 상기 진공챔버 내에 위치하여 복수의 웨이퍼 또는 디스크가 배열되도록 하는 스탠드; 및 상기 진공챔버 내에 상기 스탠드와 상기 배출구사이에 위치하며 복수의 홀이 형성되어 있는 펀칭 플레이트를 포함하는 건조기 및 이를 이용한 건조방법을 제공하는 것이다.
摘要翻译：本发明旨在提供一种真空干燥器，其提供短的干燥时间，不留下污渍并且不使用异丙醇（IPA），从而降低火灾的风险并消除污染物的产生，并且使用干燥方法相同。因此，提供了一种使用该干燥器的干燥器和干燥方法，其中干燥机包括：真空室，其具有形成在其盖部分处的分配器喷嘴和形成在底部的用于通过其排出气体的出口; 放置在真空室内并用作在其上排列多个晶片或盘的位置的支架; 以及冲压板，其设置在真空室内的支架和出口之间，并且在其中形成有多个孔。

5. 发明申请

WO2012134000A1 박막형 태양전지 및 그 제조방법 审中-公开
标题翻译：薄膜型太阳能电池及其制造方法
公开(公告)号：WO2012134000A1
公开(公告)日：2012-10-04
申请号：PCT/KR2011/006509
申请日：2011-09-02
申请人： 주성엔지니어링(주) , 박창균 , 김덕호 , 박상기 , 박원모 , 이용현 , 정준영
发明人： 박창균 , 김덕호 , 박상기 , 박원모 , 이용현 , 정준영
IPC分类号： H01L31/042 , H01L31/0236 , H01L31/18
CPC分类号： H01L31/022466 , H01L31/022425 , H01L31/02366 , Y02E10/50
摘要： 본 발명은, 기판; 상기 기판 상에 형성된 전면전극층; 상기 전면전극층 상에 형성된 반도체층; 상기 반도체층 상에 형성된 투명도전층; 및 상기 투명도전층 상에 형성된 후면전극층을 포함하여 이루어지며, 상기 전면전극층은, 상기 기판 상에 형성되며 그 표면이 제1 요철구조로 형성된 제1 전면전극층, 및 상기 제1 전면전극층 상에 형성되며 그 표면이 제2 요철구조로 형성된 제2 전면전극층을 포함하여 이루어지고, 상기 제1 요철구조와 상기 제2 요철구조는 서로 상이하게 형성된 것을 특징으로 하는 박막형 태양전지, 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 본 발명에 따르면, 전면전극층이 상대적으로 표면 거칠기가 큰 제1 전면전극층 상에 상대적으로 표면 거칠기가 작은 제2 전면전극층이 형성되어 이루어지기 때문에, 상기 전면전극층을 통과하는 태양광이 다양하게 산란되어 상기 반도체층에서 태양광의 흡수율이 증진됨과 더불어 전면전극층의 표면 거칠기가 줄어들어 태양전지의 개방전압(Voc)과 완충인자(fill factor)가 증가될 수 있고, 결국 태양전지의 효율이 개선될 수 있게 된다.
摘要翻译：薄膜型太阳能电池及其制造方法技术领域本发明涉及薄膜型太阳能电池及其制造方法，所述薄膜型太阳能电池包括：基板; 形成在所述基板上的前表面电极层; 形成在前表面电极层上的半导体层; 形成在所述半导体层上的透明导电层; 以及形成在所述透明导电层上的后表面电极层，其中所述前表面电极层包括形成在所述基板上的第一前表面电极层，并且具有以第一凹凸结构形成的表面，以及第二前表面电极形成在第一前表面电极层上并具有形成在第二凹凸结构中的表面，并且第一凹凸结构和第二凹凸结构彼此不同地形成。根据本发明，前表面电极层由具有较低表面粗糙度的第二前表面电极层形成，该第二前表面电极层具有相对较高的表面粗糙度的第一前表面电极层，因此通过前面的阳光表面电极层分散地散射，增加了半导体层的太阳光的吸收率，并降低了前表面电极层的表面粗糙度，从而增加了太阳能电池的voc和填充因子，最终提高了太阳能电池。

6. 发明申请

WO2011005055A2 웨이퍼 건조장치 및 이를 이용한 웨이퍼 건조방법 审中-公开
标题翻译：晶片干燥装置及使用其的晶片干燥方法
公开(公告)号：WO2011005055A2
公开(公告)日：2011-01-13
申请号：PCT/KR2010/004484
申请日：2010-07-09
申请人： 에이펫(주) , 홍성호 , 노봉호 , 최헌식 , 김덕호
发明人： 홍성호 , 노봉호 , 최헌식 , 김덕호
IPC分类号： H01L21/304
CPC分类号： H01L21/67034
摘要： 본 발명의 목적은 웨이퍼의 손상을 줄일 수 있으며 가스의 사용량을 줄일 수 있는 웨이퍼 건조장치 및 이를 이용한 웨이퍼 건조방법을 제공하는 것이다. 본 발명은 측면에 제 1 회전축이 고정되고 상부에 이동이 가능한 제 2 회전축이 형성되며 하부에 제 1 배수구가 형성되어 있는 챔버; 상기 제 1 회전축과 상기 제 2 회전축에 고정되며 끝단에 웨이퍼를 실장하는 카세트가 고정되는 틸트암; 상기 카세트에 IPA/질소 가스를 공급하는 제 1 노즐; 상기 제 2 회전축이 제 1 방향 또는 제 2 방향으로 이동하도록 하는 스크류; 및 상기 스크류를 회전시키는 구동모터를 포함하는 웨이퍼 건조기 및 이를 이용한 웨이퍼 건조방법에 관한 것이다.
摘要翻译：发明内容本发明的目的是提供一种晶片干燥设备以及使用该晶片干燥设备的晶片干燥方法，该晶片干燥设备能够减少晶片的损坏并减少使用的气体的量。本发明提供一种腔室，其包括：腔室，其具有固定到其一侧的第一旋转轴，能够向上移动的第二旋转轴以及形成在其下部的第一排出端口; 倾斜臂，其固定在第一旋转轴和第二旋转轴上并且用于安装晶片的盒被固定到该倾斜臂; 用于向盒供应IPA /氮气的第一喷嘴; 用于使第二旋转轴沿第一方向或第二方向移动的螺钉; 以及用于旋转螺杆的驱动马达以及使用该马达的晶片干燥方法。

7. 发明申请

WO2016039519A1 교체용 도어 손잡이 审中-公开
标题翻译：更换门把手
公开(公告)号：WO2016039519A1
公开(公告)日：2016-03-17
申请号：PCT/KR2015/006184
申请日：2015-06-18
申请人： 김덕호
发明人： 김덕호
IPC分类号： E05B1/00 , E05B1/04
CPC分类号： E05B1/04 , E05B1/0061 , E05B63/0056
摘要： 교체용 도어 손잡이에 관한 것으로, 도어락에 결합되도록 일정 깊이의 홈부가 형성된 연결부재, 상기 연결부를 끼움 결합할 수 있도록 대응되는 끼움부가 형성된 손잡이 본체를 마련하여 도어락에 결합되는 도어 손잡이를 다양한 디자인으로 교체 또는 변경할 수 있고, 도어 손잡이를 간편하면서도 용이하게 교체 또는 변경할 수 있으며, 사용자의 기호 또는 취향에 따른 도어 손잡이를 사용할 수 있다는 효과가 얻어진다.
摘要翻译：更换门把手本发明涉及一种更换门把手，包括：连接构件，其具有形成在其中的一定深度的凹槽，以便联接到门锁; 以及具有形成在其中的相应装配部分的手柄主体，使得连接构件能够嵌合并联接到装配部分。因此，本发明具有以下效果：可以用各种设计代替或改变与门锁结合的门把手; 可以方便和方便地更换或更换门把手; 并且可以根据用户的喜好或味道使用门把手。

8. 发明申请

WO2011004942A1 웨이퍼 세정장치 및 그를 이용한 웨이퍼 세정방법 审中-公开
标题翻译： WAFER清洗装置和使用该方法的WAFER清洗方法
公开(公告)号：WO2011004942A1
公开(公告)日：2011-01-13
申请号：PCT/KR2009/007192
申请日：2009-12-03
申请人： 에이펫(주) , 파그리아로로버트 헨리 , 홍성호 , 김진태 , 김덕호
发明人： 파그리아로로버트 헨리 , 홍성호 , 김진태 , 김덕호
IPC分类号： H01L21/302
CPC分类号： H01L21/02052 , B08B3/08 , H01L21/67017
摘要： 본 발명의 목적은 과산화수소를 사용하지 않으며, 용존산소량을 줄여 웨이퍼의 변형등을 줄이고 실리콘 소모량을 줄일 수 있는 웨이퍼 세정장치 및 그를 이용한 웨이퍼 세정방법을 제공하는 것이다. 본 발명은 산화막 제거용 약품용액 또는 초순수를 공급받아 상기 산화막 제거용 약품용액 또는 초순수에 용해되어 있는 가스를 분리하여 배출하는 제 1 얇은막 접촉기; 상기 제 1 얇은막접촉기에서 배출된 산화막 제거용 약품용액 또는 초순수를 공급받아 가스를 제거하는 제 2 얇은막 접촉기; 상기 제 1 및 제 2 얇은막접촉기에서 분리된 가스를 외부로 배출하는 진공펌프; 및 상기 제 2 얇은막접촉기에서 배출된 상기 산화막 제거용 약품용액 또는 초순수를 저장하는 공정용기를 구비하는 웨이퍼 세정장치 및 웨이퍼 세정방법을 제공하는 것이다.
摘要翻译：本发明旨在提供一种能够通过在不使用过氧化氢的情况下减少溶解氧而减少晶片变形以及消耗硅的晶片清洁装置，以及使用该装置的晶片清洗方法。因此，提供了一种晶片清洗装置和晶片清洗方法，所述晶片清洗装置包括：第一薄膜接触装置，其接收用于除去氧化物的化学溶液或超纯水，然后分离和排出溶解在其中的气体用于除去氧化物的化学溶液或超纯水; 第二薄膜接触装置，其接收从第一薄膜接触装置排出的化学溶液或超纯水，并从中除去气体; 用于排出与第一和第二薄膜接触装置分离的气体的真空泵; 以及处理容器，其存储从第二薄膜接触装置排出的化学溶液或超纯水。

9. 发明授权

KR101399985B1 실린더형 광학계를 이용한 레이저 빔의 포컬 스폿 사이즈 조절 장치 有权
标题翻译：装置采用圆柱光学系统调整激光束的焦点尺寸
公开(公告)号：KR101399985B1
公开(公告)日：2014-05-28
申请号：KR1020130110478
申请日：2013-09-13
申请人： (주)엘투케이플러스
发明人： 전재필 , 백승환 , 김택겸 , 김덕호
IPC分类号： H01S3/101
CPC分类号： H01S3/101 , G02B3/0087 , G02B26/123 , G02B2003/0093 , H01S3/107
摘要： The present invention relates to a focal spot size adjusting device of a laser beam and, more specifically, to a focal spot size adjusting device using a cylindrical lens capable of differently adjusting a size in the transverse direction and a size in the longitudinal direction of a beam spot at a final focus position by using the cylindrical lens.
摘要翻译：本发明涉及一种激光束的焦点尺寸调节装置，更具体地说，涉及一种使用能够不同地调节横向尺寸和圆柱形透镜的纵向尺寸的圆柱透镜的焦斑尺寸调节装置通过使用柱面透镜在最终焦点位置处的光束点。

10. 发明授权

KR101415918B1 레이저 멀티 스캔 장치 有权
标题翻译：激光多功能装置
公开(公告)号：KR101415918B1
公开(公告)日：2014-08-06
申请号：KR1020130122387
申请日：2013-10-15
申请人： (주)엘투케이플러스
发明人： 전재필 , 백승환 , 김택겸 , 김덕호
IPC分类号： G02B26/12 , G02B26/10
CPC分类号： G02B26/123 , G02B26/0833 , G02B26/105 , H04N1/047 , H04N1/113
摘要： The present invention relates to a scanning apparatus using laser beams. The scanning apparatus according to an embodiment of the present invention, which uses laser beams, includes: a scanner which reflects an incident laser beam continuously to modify a path of the incident laser beam based on a scanner control signal; and an optical scanning system which scans a target object with the laser beam reflected by the scanner. The optical scanning system includes a stage, a moving unit, and a control unit.
摘要翻译：本发明涉及使用激光束的扫描装置。根据本发明的实施例的使用激光束的扫描装置包括：扫描器，其基于扫描器控制信号连续地反射入射激光束以修改入射激光束的路径; 以及用扫描仪反射的激光束扫描目标物体的光学扫描系统。光学扫描系统包括台，移动单元和控制单元。

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