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1. 发明申请

WO2011005057A2 진공 건조기 및 이를 이용한 건조 방법 审中-公开
标题翻译：真空干燥机及其干燥方法
公开(公告)号：WO2011005057A2
公开(公告)日：2011-01-13
申请号：PCT/KR2010/004486
申请日：2010-07-09
申请人： 에이펫(주) , 홍성호 , 노봉호 , 김성진 , 김덕호
发明人： 홍성호 , 노봉호 , 김성진 , 김덕호
IPC分类号： H01L21/304
CPC分类号： H01L21/02052 , H01L21/67034
摘要： 본 발명의 목적은, 건조가 시간이 짧고 얼룩 등이 발생하지 않으며 IPA를 사용하지 않으므로써, 화재 위험을 줄이고 유기 오염이 발생하지 않도록 하는 진공건조기 및 이를 이용한 건조방법을 제공하는 것이다. 본 발명은 덮개부분에 디스펜서 노즐이 형성되고 하부에 가스가 배출되는 배출구가 형성되어 있는 진공챔버; 상기 진공챔버 내에 위치하여 복수의 웨이퍼 또는 디스크가 배열되도록 하는 스탠드; 및 상기 진공챔버 내에 상기 스탠드와 상기 배출구사이에 위치하며 복수의 홀이 형성되어 있는 펀칭 플레이트를 포함하는 건조기 및 이를 이용한 건조방법을 제공하는 것이다.
摘要翻译：本发明旨在提供一种真空干燥器，其提供短的干燥时间，不留下污渍并且不使用异丙醇（IPA），从而降低火灾的风险并消除污染物的产生，并且使用干燥方法相同。因此，提供了一种使用该干燥器的干燥器和干燥方法，其中干燥机包括：真空室，其具有形成在其盖部分处的分配器喷嘴和形成在底部的用于通过其排出气体的出口; 放置在真空室内并用作在其上排列多个晶片或盘的位置的支架; 以及冲压板，其设置在真空室内的支架和出口之间，并且在其中形成有多个孔。

2. 发明申请

WO2011005055A2 웨이퍼 건조장치 및 이를 이용한 웨이퍼 건조방법 审中-公开
标题翻译：晶片干燥装置及使用其的晶片干燥方法
公开(公告)号：WO2011005055A2
公开(公告)日：2011-01-13
申请号：PCT/KR2010/004484
申请日：2010-07-09
申请人： 에이펫(주) , 홍성호 , 노봉호 , 최헌식 , 김덕호
发明人： 홍성호 , 노봉호 , 최헌식 , 김덕호
IPC分类号： H01L21/304
CPC分类号： H01L21/67034
摘要： 본 발명의 목적은 웨이퍼의 손상을 줄일 수 있으며 가스의 사용량을 줄일 수 있는 웨이퍼 건조장치 및 이를 이용한 웨이퍼 건조방법을 제공하는 것이다. 본 발명은 측면에 제 1 회전축이 고정되고 상부에 이동이 가능한 제 2 회전축이 형성되며 하부에 제 1 배수구가 형성되어 있는 챔버; 상기 제 1 회전축과 상기 제 2 회전축에 고정되며 끝단에 웨이퍼를 실장하는 카세트가 고정되는 틸트암; 상기 카세트에 IPA/질소 가스를 공급하는 제 1 노즐; 상기 제 2 회전축이 제 1 방향 또는 제 2 방향으로 이동하도록 하는 스크류; 및 상기 스크류를 회전시키는 구동모터를 포함하는 웨이퍼 건조기 및 이를 이용한 웨이퍼 건조방법에 관한 것이다.
摘要翻译：发明内容本发明的目的是提供一种晶片干燥设备以及使用该晶片干燥设备的晶片干燥方法，该晶片干燥设备能够减少晶片的损坏并减少使用的气体的量。本发明提供一种腔室，其包括：腔室，其具有固定到其一侧的第一旋转轴，能够向上移动的第二旋转轴以及形成在其下部的第一排出端口; 倾斜臂，其固定在第一旋转轴和第二旋转轴上并且用于安装晶片的盒被固定到该倾斜臂; 用于向盒供应IPA /氮气的第一喷嘴; 用于使第二旋转轴沿第一方向或第二方向移动的螺钉; 以及用于旋转螺杆的驱动马达以及使用该马达的晶片干燥方法。

3. 发明授权

KR101238858B1 진공 건조기 및 이를 이용한 건조 방법 有权
标题翻译：真空干燥机及干燥方法
公开(公告)号：KR101238858B1
公开(公告)日：2013-03-04
申请号：KR1020090063082
申请日：2009-07-10
申请人： 에이펫(주)
发明人： 홍성호 , 노봉호 , 김성진 , 김덕호
IPC分类号： H01L21/304
CPC分类号： H01L21/02052 , H01L21/67034
摘要： 본 발명의 목적은, 건조가 시간이 짧고 얼룩 등이 발생하지 않으며 IPA를 사용하지 않으므로써, 화재 위험을 줄이고 유기 오염이 발생하지 않도록 하는 진공건조기 및 이를 이용한 건조방법을 제공하는 것이다.
본 발명은 덮개부분에 디스펜서 노즐이 형성되고 하부에 가스가 배출되는 배출구가 형성되어 있는 진공챔버; 상기 진공챔버 내에 위치하여 복수의 웨이퍼 또는 디스크가 배열되도록 하는 스탠드; 및 상기 진공챔버 내에 상기 스탠드와 상기 배출구사이에 위치하며 복수의 홀이 형성되어 있는 펀칭 플레이트를 포함하는 건조기 및 이를 이용한 건조방법을 제공하는 것이다.

4. 发明公开

KR1020110005490A 진공 건조기 및 이를 이용한 건조 방법 有权
标题翻译：真空干燥机及干燥方法
公开(公告)号：KR1020110005490A
公开(公告)日：2011-01-18
申请号：KR1020090063082
申请日：2009-07-10
申请人： 에이펫(주)
发明人： 홍성호 , 노봉호 , 김성진 , 김덕호
IPC分类号： H01L21/304
CPC分类号： H01L21/02052 , H01L21/67034
摘要： PURPOSE: A vacuum drying apparatus used after the cleaning and a drying method using the same are provided to prevent the contamination caused by fire hazard and the organic compound by not using IPA(Isopropyl Alcohol) in the drying process. CONSTITUTION: A vacuum chamber(100) comprises a cover(100a), a body(100b), and a lower part(100c). The space between the body of the chamber and the cover is sealed by the sealant(102). A discharging hole(107) is formed on the bottom of the vacuum chamber. A punching plate(106) is located between the stand and the discharging hole.
摘要翻译：目的：提供清洁后使用的真空干燥装置和使用该真空干燥装置的干燥方法，以在干燥过程中不使用IPA（异丙醇）来防止火灾危险引起的污染和有机化合物。构成：真空室（100）包括盖（100a），主体（100b）和下部（100c）。室的主体和盖之间的空间被密封剂（102）密封。在真空室的底部形成有排出孔（107）。冲压板（106）位于支架和排出孔之间。

5. 发明授权

KR101058835B1 웨이퍼 건조장치 및 이를 이용한 웨이퍼 건조방법 有权
公开(公告)号：KR101058835B1
公开(公告)日：2011-08-23
申请号：KR1020090063081
申请日：2009-07-10
申请人： 에이펫(주)
发明人： 홍성호 , 노봉호 , 최헌식 , 김덕호
IPC分类号： H01L21/304
CPC分类号： H01L21/67034
摘要： 본 발명의 목적은 웨이퍼의 손상을 줄일 수 있으며 가스의 사용량을 줄일 수 있는 웨이퍼 건조장치 및 이를 이용한 웨이퍼 건조방법을 제공하는 것이다.
본 발명은 측면에 제 1 회전축이 고정되고 상부에 이동이 가능한 제 2 회전축이 형성되며 하부에 제 1 배수구가 형성되어 있는 챔버; 상기 제 1 회전축과 상기 제 2 회전축에 고정되며 끝단에 웨이퍼를 실장하는 카세트가 고정되는 틸트암; 상기 카세트에 IPA/질소 가스를 공급하는 제 1 노즐; 상기 제 2 회전축이 제 1 방향 또는 제 2 방향으로 이동하도록 하는 스크류; 및 상기 스크류를 회전시키는 구동모터를 포함하는 웨이퍼 건조기 및 이를 이용한 웨이퍼 건조방법에 관한 것이다.

6. 发明公开

KR1020110005489A 웨이퍼 건조장치 및 이를 이용한 웨이퍼 건조방법 有权
标题翻译：用于干燥方法的干燥器及其干燥方法
公开(公告)号：KR1020110005489A
公开(公告)日：2011-01-18
申请号：KR1020090063081
申请日：2009-07-10
申请人： 에이펫(주)
发明人： 홍성호 , 노봉호 , 최헌식 , 김덕호
IPC分类号： H01L21/304
CPC分类号： H01L21/67034
摘要： PURPOSE: A wafer drying apparatus and a wafer drying method thereof are provided to reduce the used amount of gas by efficiently spraying the IPA nitride mixed gas. CONSTITUTION: A first rotary shaft(102) and a second rotary shaft(106) are formed on a side and the top of a chamber. A first drainage hole(107) is formed on the bottom of the chamber. A tilt arm(101) is connected to the first rotary shaft and the second rotary shaft. A screw(105) revolves by a drive motor(100) at the clockwise direction or the counter clock-wise.
摘要翻译：目的：提供晶片干燥装置及其晶片干燥方法，以通过有效地喷涂IPA氮化物混合气体来减少气体的使用量。构成：在室的一侧和顶部形成有第一旋转轴（102）和第二旋转轴（106）。在室的底部形成有第一排水孔（107）。倾斜臂（101）连接到第一旋转轴和第二旋转轴。螺杆（105）由驱动马达（100）沿顺时针方向或逆时针方向旋转。

7. 发明授权

KR102243571B1 식자재 손질 작업대 有权
公开(公告)号：KR102243571B1
公开(公告)日：2021-04-22
申请号：KR1020200153245
申请日：2020-11-17
申请人： (주)곱창114 , 노봉호
发明人： 노봉호
IPC分类号： A47B77/02 , A47B77/04 , E03C1/18
摘要： 본발명은곱창등과같은육가공식자재뿐만아니라, 채소등과같은다양한종류의식자재를손질할수 있도록구현한식자재손질작업대에관한것으로, 식자재로부터분리된잔여물을담기위한싱크보울; 상기싱크보울을바닥면으로부터이격시켜지지하는보울지지대; 및식자재를손질하기위한평판형태로형성되어상기싱크보울의상측개구부를덮으면서상기보울지지대의상측에안착되는작업도마;를포함한다.

8. 实用新型

KR2019890006164Y1 의류의 공기 세척제 无效
标题翻译：衣服空气净化器
公开(公告)号：KR2019890006164Y1
公开(公告)日：1989-09-18
申请号：KR2019860013948
申请日：1986-09-10
申请人： 하원순 , 노봉호
发明人： 하원순 , 노봉호
IPC分类号： D06F87/00

9. 实用新型

KR200174602Y1 예초기 커터 지지대 失效
标题翻译：草切割机的支撑结构
公开(公告)号：KR200174602Y1
公开(公告)日：2000-03-15
申请号：KR2019990022913
申请日：1999-10-22
申请人： 노봉호
发明人： 노봉호
IPC分类号： A01D34/74
CPC分类号： A01D34/81 , A01B39/18 , A01D34/733 , A01D34/74
摘要： 본 고안은 일정한 높이를 유지하며 3개의 다리로 지지하고 덮개판이 형성되어 있어 예초기에 장착하여 사용하면 편리하고 안전하면서 일정한 높이로 풀이나 잔디를 베어낼 수 있는 예초기 커터 지지대에 관한 것이다.
보다 상세하게는 플라스틱 또는 알루미늄 재질로 되어있고 몸체와 다리와 덮개판으로 구성되어 있으며 몸체에는 예초기의 동력 전달관(12)에 장착할 수 있도록 지지대 조립구멍(6a, 6b, 6c)이 형성된 중심부(13)와 중앙홀(7)과 120°간격으로 돌출된 3개의 돌출부(11a, 11b, 11c)와 이 돌출부(11a, 11b, 11c)의 끝단에 연결돌기(5)와 이 연결돌기(5) 상부에 볼트 체결구멍(4b)이 형성되어 있고, 다리에는 반구형 받침구(2)와 연결구멍(3)과 볼트 체결구멍(4a)이 형성되어 있어 몸체의 연결돌기(5)를 다리(1a, 1b, 1c)의 연결구멍(3)에 끼워 조립하되 안쪽으로 경사지게 조립하고 조립된 다리(1b와 1c) 사이에 덮개판(9)을 부착시키는 예초기 커터 지지대에 관한 것이다.

10. 实用新型

KR2019880005957U 의류의 공기 세척제 无效
公开(公告)号：KR2019880005957U
公开(公告)日：1988-05-30
申请号：KR2019860013948
申请日：1986-09-10
申请人： 하원순 , 노봉호
发明人： 하원순 , 노봉호
IPC分类号： D06F87/00

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