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1. 发明专利

TW410253B 壓力式流量控制裝置用孔口及其製造方法失效
简体标题：压力式流量控制设备用孔口及其制造方法
公开(公告)号：TW410253B
公开(公告)日：2000-11-01
申请号：TW087116830
申请日：1998-10-09
申请人：富士金股份有限公司 , 東京威力科創有限公司 , 大見忠弘
发明人：大見忠弘 , 杉山一彥 , 深田收 , 尾澤進 , 佐藤義浩 , 土肥亮介
IPC分类号： F15D
CPC分类号： G01F1/40 , G05D7/0186
摘要：一種壓力式流量控制裝置中所使用之孔口係可以簡單且廉價製造者，並且所製造的孔口具有寬廣之壓力比P2/ P1(但是，P1為孔口上游側的壓力，P2為孔口下游側的壓力)的範圍，在孔口上游側壓力P1與流量之間具有線形特性，並可簡單進行複數個孔口相互間的流量特性之調節者。
具體而言，孔口具備將孔口切削穿設在本體構件D之下孔6一側開口端部而形成喇叭吹口狀之入口推拔部l及連續於此之短縮徑平行部2，及藉上述下孔6另一側開口端部的擴徑而連續於形成上述縮徑平行部2的短推拔擴徑部3及連續於此之平行擴徑部4所成的構造。
简体摘要：一种压力式流量控制设备中所使用之孔口系可以简单且廉价制造者，并且所制造的孔口具有宽广之压力比P2/ P1(但是，P1为孔口上游侧的压力，P2为孔口下游侧的压力)的范围，在孔口上游侧压力P1与流量之间具有线形特性，并可简单进行复数个孔口相互间的流量特性之调节者。具体而言，孔口具备将孔口切削穿设在本体构件D之下孔6一侧开口端部而形成喇叭吹口状之入口推拔部l及连续于此之短缩径平行部2，及藉上述下孔6另一侧开口端部的扩径而连续于形成上述缩径平行部2的短推拔扩径部3及连续于此之平行扩径部4所成的构造。

2. 发明专利

TW384365B 壓力式流量控制裝置有权
简体标题：压力式流量控制设备
公开(公告)号：TW384365B
公开(公告)日：2000-03-11
申请号：TW087116620
申请日：1998-10-07
申请人：富士金股份有限公司 , 東京威力科創有限公司 , 大見忠弘
发明人：大見忠弘 , 加賀爪哲 , 杉山一彥 , 土肥亮介 , 宇野富雄 , 西野功二 , 福田浩幸
IPC分类号： F16K
摘要：本發明係屬於在半導體製造裝置的氣體供給系統等所使用之壓力式流量控制裝置，係採用孔口的口徑可變型的孔口，使得流體之流量控制範圍能簡單地變更，並且能夠使壓力式流量控制裝置小形化和提高氣體的置換性，提高防止發塵性能，降低製造成本等者。
具體上，係在由孔口，和設在孔口的上游側的控制閥，和設在控制閥與孔口間之壓力檢出器，及從壓力檢出器的檢出壓力P1，將流量Q當成Q=KP1(但是K為常數)來運算，並且把流量指令信號Qs與前述運算後之流量信號Q的差值當成控制信號Qy向前述控制閥之驅動部輸出的控制裝置所構成，以將孔口之上游側壓力P1和下游側壓力P2的比保持在被控制流體之臨界壓比以下的狀態，由前述控制閥之開閉來調整孔口上游側壓力P1，而控制孔口下游側的流體流量Q之形態的壓力式流量控制裝置，前述孔口係採用直接接觸型的金屬膜片閥，且閥座和隔膜之環狀的間隙係採用可變孔口，並且藉由孔口驅動裝置來調整前述間隙之大小。
简体摘要：本发明系属于在半导体制造设备的气体供给系统等所使用之压力式流量控制设备，系采用孔口的口径可变型的孔口，使得流体之流量控制范围能简单地变更，并且能够使压力式流量控制设备小形化和提高气体的置换性，提高防止发尘性能，降低制造成本等者。具体上，系在由孔口，和设在孔口的上游侧的控制阀，和设在控制阀与孔口间之压力检出器，及从压力检出器的检出压力P1，将流量Q当成Q=KP1(但是K为常数)来运算，并且把流量指令信号Qs与前述运算后之流量信号Q的差值当成控制信号Qy向前述控制阀之驱动部输出的控制设备所构成，以将孔口之上游侧压力P1和下游侧压力P2的比保持在被控制流体之临界压比以下的状态，由前述控制阀之开闭来调整孔口上游侧压力P1，而控制孔口下游侧的流体流量Q之形态的压力式流量控制设备，前述孔口系采用直接接触型的金属膜片阀，且阀座和隔膜之环状的间隙系采用可变孔口，并且借由孔口驱动设备来调整前述间隙之大小。

3. 发明专利

TW200504344A 壓力感應器及壓力控制裝置以及壓力式流量控制裝置的自動零點修正裝置审中-公开
简体标题：压力感应器及压力控制设备以及压力式流量控制设备的自动零点修正设备
公开(公告)号：TW200504344A
公开(公告)日：2005-02-01
申请号：TW093116746
申请日：2004-06-10
申请人：富士金股份有限公司 FIJIKIN INCORPORATED , 大見忠弘 OHMI, TADAHIRO
发明人：大見忠弘 OHMI, TADAHIRO , 杉山一彥 , 日野昭一 , 高橋榮治 , 三枝慎 , 池田信一 , 西野功二 NISHINO, KOJI , 土肥亮介 , 上野山豊己 , 杉田勝幸
IPC分类号： G01L , G05D
CPC分类号： G01L19/02 , G01L9/065 , G01L19/0023 , G05D7/0635
摘要：本發明之課題是在於提供可自動修正壓力感應器的時間變化零點漂移，不管其使用期間均可正確地檢測壓力之壓力感應器、與使用感應器之壓力控制裝置及流量控制裝置。用以解決課題之手段為：針對測定流體壓力的使用了半導體感壓元件之壓力感應器，將來自於壓力感應器的感應器通過增幅器輸出電壓輸出至外部，並且將前述感應器輸出電壓通過D／A變換器，輸入至壓力感應器的時間變化零點漂移修正手段，在該時間變化零點漂移修正手段的感應器輸出判定手段，判定前述感應器輸出電壓是否較設定值大，且在前述時間變化零點漂移修正手段的作動條件判定手段，判定壓力感應器的作動條件，當前述壓力感應器輸出電壓較設定值大且壓力感應器的作用條件處於預先所設定的作動條件下時，通過D／A變換器來將與前述感應器輸出電壓為相同電壓且具有逆極性之零點修正用電壓輸入至前述增幅器的補償端子，除去壓力感應器的時間變化零點偏移。
简体摘要：本发明之课题是在于提供可自动修正压力感应器的时间变化零点漂移，不管其使用期间均可正确地检测压力之压力感应器、与使用感应器之压力控制设备及流量控制设备。用以解决课题之手段为：针对测定流体压力的使用了半导体感压组件之压力感应器，将来自于压力感应器的感应器通过增幅器输出电压输出至外部，并且将前述感应器输出电压通过D／A变换器，输入至压力感应器的时间变化零点漂移修正手段，在该时间变化零点漂移修正手段的感应器输出判定手段，判定前述感应器输出电压是否较设置值大，且在前述时间变化零点漂移修正手段的作动条件判定手段，判定压力感应器的作动条件，当前述压力感应器输出电压较设置值大且压力感应器的作用条件处于预先所设置的作动条件下时，通过D／A变换器来将与前述感应器输出电压为相同电压且具有逆极性之零点修正用电压输入至前述增幅器的补偿端子，除去压力感应器的时间变化零点偏移。

4. 发明专利

TW463076B 壓力式流量控制裝置之流量異常檢知方法有权
简体标题：压力式流量控制设备之流量异常检知方法
公开(公告)号：TW463076B
公开(公告)日：2001-11-11
申请号：TW089116036
申请日：2000-08-09
申请人：富士金股份有限公司 , 東京威力科創股份有限公司 , 大見忠弘 , 飯田精一
发明人：大見忠弘 , 飯田精一 , 加賀爪哲 , 廣瀨潤 , 深澤和夫 , 小泉浩 , 長岡秀樹 , 宇野富雄 , 西野功二 , 池田信一 , 土肥亮介 , 出田英二
IPC分类号： G05D
CPC分类号： G05B23/0235 , G05B23/0256 , G05D7/0635 , Y10T137/0396 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761 , Y10T137/8326
摘要：於利用孔口(orifice)之壓力式流量控制裝置，有關邊控制流量也可用簡單構成進行檢知孔口堵塞之技術。
本發明之解決手段，係將上游側壓力Pl保持為下游側壓力P2之大約2倍以上將下游側之流量Qc以Qc= KPl(K:常數)演算，藉此演算流量Qc與設定流量 Qs之差值訊號QY以開閉控制控制閥CV之流量控制裝置FCS，提案一種從另設之檢定電路或流量設定電路輸出具有檢定振幅VO之檢定用訊號△QS，而應答於此來測定上游側壓力Pl之變動壓力△Pl之壓力振幅V，當此壓力振幅V變成較界限振幅Vt為小時告知孔口堵塞之流量異常檢知方法。
若從檢定電路或流量設定流量重疊於恒常設定流量 QSO輸出檢定用訊號△QS時，由恒常設定流量QSO邊控制流量就可檢知流量異常。
简体摘要：于利用孔口(orifice)之压力式流量控制设备，有关边控制流量也可用简单构成进行检知孔口堵塞之技术。本发明之解决手段，系将上游侧压力Pl保持为下游侧压力P2之大约2倍以上将下游侧之流量Qc以Qc= KPl(K:常数)演算，借此演算流量Qc与设置流量 Qs之差值信号QY以开闭控制控制阀CV之流量控制设备FCS，提案一种从另设之检定电路或流量设置电路输出具有检定振幅VO之检定用信号△QS，而应答于此来测定上游侧压力Pl之变动压力△Pl之压力振幅V，当此压力振幅V变成较界限振幅Vt为小时告知孔口堵塞之流量异常检知方法。若从检定电路或流量设置流量重叠于恒常设置流量 QSO输出检定用信号△QS时，由恒常设置流量QSO边控制流量就可检知流量异常。

5. 发明专利

TW445401B 平行分流式流體供應裝置與使用該裝置之流體可變型壓力式流量控制方法及流體可變型壓力式流量控制裝置有权
简体标题：平行分流式流体供应设备与使用该设备之流体可变型压力式流量控制方法及流体可变型压力式流量控制设备
公开(公告)号：TW445401B
公开(公告)日：2001-07-11
申请号：TW089107095
申请日：2000-04-15
申请人：富士金股份有限公司 , 東京威力科創股份有限公司 , 大見忠弘
发明人：大見忠弘 , 加賀爪哲 , 廣瀨潤 , 杉山一彥 , 深澤和夫 , 小泉浩 , 長岡秀樹 , 皆見幸男 , 西野功二 , 土肥亮介 , 米華克典 , 池田信一 , 山路道雄 , 森本明弘 , 宇野富雄 , 出田英二 , 松本篤志 , 上野山豊已
IPC分类号： G05D
CPC分类号： G05D7/0658 , G05D7/0664 , Y10S438/935 , Y10T137/0396 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761 , Y10T137/86389 , Y10T137/87877 , Y10T137/87917
摘要：一種平行分流式流體供應裝置與使用該裝置之流體的可變型壓力式流量控制方法及流體可變型壓力式流量控制裝置，從壓力調整用的l個調整器平行配設複數條流路之流體供應裝置中，使各流路之流體供應的開關操作不致對其他流路之穩態供應造成過大的變動。因此，在各流路上配設流量控制用質量流控制器MFC或壓力式流量控制裝置FCS，某流路之流體供給自關閉而開啟時，構成從其流路之質量流控制器MFC動作開始僅延遲預定的延遲時間△t到達設定流量Qs。
又，利用l台壓力式流量控制裝置可高精度流量控制複數氣體種類及實現其裝置。因此，以臨界壓力比以下的條件理論性導出通過孔口的氣體流量，根據該式定義流動係數，利用該流動係數形成可對應多數之氣體種類者。
亦即，將孔口8的上游側壓力P1保持在下游壓力P2約2倍以上的狀態下，通過孔口的氣體運算流量Qc以 Qc=KP1(K為常數)運算之流量控制方法中，各種類氣體係以FF=(k/γs){2/(κ+l)}](x.1)〔κ/{(κ十l)R}〕1/2計算流動係數FF，氣體種類A的運算流量為QA時，在同一孔口、同一上游側壓力及同一上游側溫度的條件下使氣體種類B流通時，以其運算流量QvB作為QvB(EFvB/EFvA)QvA算出。其中，γS為氣體的標準狀態密度，κ為氣體的比熱比，R為氣體常數，k為未依據氣體種類之比例常數，FFvA.FFvB為氣體種類A.B的流動係數。
简体摘要：一种平行分流式流体供应设备与使用该设备之流体的可变型压力式流量控制方法及流体可变型压力式流量控制设备，从压力调整用的l个调整器平行配设复数条流路之流体供应设备中，使各流路之流体供应的开关操作不致对其他流路之稳态供应造成过大的变动。因此，在各流路上配设流量控制用质量流控制器MFC或压力式流量控制设备FCS，某流路之流体供给自关闭而打开时，构成从其流路之质量流控制器MFC动作开始仅延迟预定的延迟时间△t到达设置流量Qs。又，利用l台压力式流量控制设备可高精度流量控制复数气体种类及实现其设备。因此，以临界压力比以下的条件理论性导出通过孔口的气体流量，根据该式定义流动系数，利用该流动系数形成可对应多数之气体种类者。亦即，将孔口8的上游侧压力P1保持在下游压力P2约2倍以上的状态下，通过孔口的气体运算流量Qc以 Qc=KP1(K为常数)运算之流量控制方法中，各种类气体系以FF=(k/γs){2/(κ+l)}](x.1)〔κ/{(κ十l)R}〕1/2计算流动系数FF，气体种类A的运算流量为QA时，在同一孔口、同一上游侧压力及同一上游侧温度的条件下使气体种类B流通时，以其运算流量QvB作为QvB(EFvB/EFvA)QvA算出。其中，γS为气体的标准状态密度，κ为气体的比热比，R为气体常数，k为未依据气体种类之比例常数，FFvA.FFvB为气体种类A.B的流动系数。

6. 发明专利

TW244917B 螺栓構件鎖緊方法失效
简体标题：螺栓构件锁紧方法
公开(公告)号：TW244917B
公开(公告)日：1995-04-11
申请号：TW083105088
申请日：1994-06-03
申请人：大見忠弘 , 富士金股份有限公司
发明人：土肥亮介 , 大見忠弘 , 山路道雄 , 出田英二 , 池田信一 , 西野功二 , 長井邦雄
IPC分类号： B23P
摘要：本發明係有關於一種螺栓構件鎖緊方法，其主要係事先設定在正常鎖緊時螺栓構件對旋轉角度之鎖緊扭矩的基準範圍，將螺帽鎖緊於公螺絲構件時，則對於每一規定角度，藉扭矩檢測器檢測出其鎖緊扭矩，而藉微電腦判斷相對於旋轉角度之鎖緊扭矩是否在基準範圍內。又將該判斷結果由發光二極體以及蜂鳴器加以表示。
简体摘要：本发明系有关于一种螺栓构件锁紧方法，其主要系事先设置在正常锁紧时螺栓构件对旋转角度之锁紧扭矩的基准范围，将螺帽锁紧于公螺丝构件时，则对于每一规定角度，藉扭矩检测器检测出其锁紧扭矩，而藉微电脑判断相对于旋转角度之锁紧扭矩是否在基准范围内。又将该判断结果由发光二极管以及蜂鸣器加以表示。

7. 发明专利

TW552491B 改良型壓力式流量控制裝置有权
简体标题：改良型压力式流量控制设备
公开(公告)号：TW552491B
公开(公告)日：2003-09-11
申请号：TW091135458
申请日：2002-12-06
申请人：富士金股份有限公司 , 東京威力科創股份有限公司 , 大見忠弘
发明人：大見忠弘 , 乾秀二郎 , 酒井泰治 , 植山將宜 , 杉山一彥 , 宇野富雄 , 池田信一 , 西野功二 , 中村修 , 土肥亮介 , 松本薦諮
IPC分类号： G05D
CPC分类号： G05D7/0635 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761
摘要：本發明之技術課題為開發非臨界領域中確立高精度匹配壓縮性流體的實際流量的實驗流量式，使用此流量式高精度進行流量控制的改良型壓力式流量控制裝置。
本發明之解決手段在於提供一種改良型壓力式流量控制裝置，其以QC=KP2m(P1-P2)n表示非臨界領域(非音速域)中壓縮性流體的實驗流量式，以此QC=KP2m(P1-P2)n(K為比例常數，m及n為常數)計算通過孔口4的流體流量，同正確且高速地將流量控制於指定流量。又提供一種改良型壓力式流量控制裝置，其經常將上游側壓力P1及下游側壓力P2所得壓力比P2/P1=r與臨界值rc比較，在臨界條件(r≦rc)下以QC=KP1，在非臨界條件(r>rc)下以 Qc=KP2m(P1-P2)n運算流量，可一面對應流體的所有條件，一面正確且高速地將流量控制於指定流量。
简体摘要：本发明之技术课题为开发非临界领域中确立高精度匹配压缩性流体的实际流量的实验流量式，使用此流量式高精度进行流量控制的改良型压力式流量控制设备。本发明之解决手段在于提供一种改良型压力式流量控制设备，其以QC=KP2m(P1-P2)n表示非临界领域(非音速域)中压缩性流体的实验流量式，以此QC=KP2m(P1-P2)n(K为比例常数，m及n为常数)计算通过孔口4的流体流量，同正确且高速地将流量控制于指定流量。又提供一种改良型压力式流量控制设备，其经常将上游侧压力P1及下游侧压力P2所得压力比P2/P1=r与临界值rc比较，在临界条件(r≦rc)下以QC=KP1，在非临界条件(r>rc)下以 Qc=KP2m(P1-P2)n运算流量，可一面对应流体的所有条件，一面正确且高速地将流量控制于指定流量。

8. 实用新型

TW471583U 孔口內設閥失效
简体标题：孔口内设阀
公开(公告)号：TW471583U
公开(公告)日：2002-01-01
申请号：TW090211979
申请日：2000-07-06
申请人：富士金股份有限公司 , 大見忠弘
发明人：大見忠弘 , 出田英二 , 土肥亮介 , 西野功二 , 池田信一 , 廣瀨隆 , 山路道雄
IPC分类号： F16K
摘要：可謀求減少使用於具備在半導體製造裝置或化學品製造設備所使用之壓力式流量控制裝置之氣體供給設備等的孔口內設閥之製造成本，同時藉提高孔口之加精度及防止閥裝配時之孔口變形，提供一種可得到優異之流量控制特性的孔口內設閥。為了此，在本創作中，係由形成有連通於上方開放之閥室之氣體流入路與氣體流出路的耐熱材料製閥本體，及設於閥本體之閥室內，形成有相連通於上述閥本體之氣體流出路之氣體流出路與閥座的含成樹脂製閥座體，及可裝卸地設於閥座體之氣體流出路中之耐熱材料製孔口盤，及形成在孔口盤且縮小閥座體之氣體流出路的孔口，來構成孔口內設閥之主要部；在不銹鋼製孔口盤事先形成孔口，同時裝卸自如地裝配藉由其他加工讓孔口所形成之金屬製孔口盤與合成樹脂製閥座體，藉著經由金屬製內盤。推壓壓縮合成樹脂帶製閥座體，將兩者密狀地組製在閥本體。
简体摘要：可谋求减少使用于具备在半导体制造设备或化学品制造设备所使用之压力式流量控制设备之气体供给设备等的孔口内设阀之制造成本，同时藉提高孔口之加精度及防止阀装配时之孔口变形，提供一种可得到优异之流量控制特性的孔口内设阀。为了此，在本创作中，系由形成有连通于上方开放之阀室之气体流入路与气体流出路的耐热材料制阀本体，及设于阀本体之阀室内，形成有相连通于上述阀本体之气体流出路之气体流出路与阀座的含成树脂制阀座体，及可装卸地设于阀座体之气体流出路中之耐热材料制孔口盘，及形成在孔口盘且缩小阀座体之气体流出路的孔口，来构成孔口内设阀之主要部；在不锈钢制孔口盘事先形成孔口，同时装卸自如地装配借由其他加工让孔口所形成之金属制孔口盘与合成树脂制阀座体，借着经由金属制内盘。推压压缩合成树脂带制阀座体，将两者密状地组制在阀本体。

9. 发明专利

TW554164B 壓力感測器、壓力控制裝置及壓力式流量控制裝置之溫度偏移修正裝置有权
简体标题：压力传感器、压力控制设备及压力式流量控制设备之温度偏移修正设备
公开(公告)号：TW554164B
公开(公告)日：2003-09-21
申请号：TW091135190
申请日：2002-12-04
申请人：富士金股份有限公司 , 東京威力科創股份有限公司 , 大見忠弘
发明人：大見忠弘 , 杉山一彥 , 西野功二 , 宇野富雄 , 中村修 , 松本篤諮 , 土肥亮介 , 池田信一
IPC分类号： G01L
CPC分类号： G05D7/0635 , G01D3/022 , G01F1/50 , G01F15/046 , G01L9/025
摘要：本發明之技術課題在於開發自動修正壓力感測器的溫度偏移，不管溫度變動如何，均可正確檢測壓力的壓力感測器、壓力控制裝置及流量控制裝置。
本發明之解決手段在於，本發明壓力式流量控制裝置之溫度偏移修正裝置在孔板4與控制閥22之間設置檢測上游側壓力P1的上游側壓力感測器10，一面以上游側壓力P1運算孔板通過流量，一面藉由控制閥22的啟開控制孔板通過流量的壓力式流量控制裝置中，包括溫度感測器14，其測定流體溫度；記憶手段64，其儲存流體溫度T與上游側壓力感測器10的輸出偏移的關係；以及溫度偏移修正手段，其在流體溫度T變化情形下，根據記憶手段64的資料，運算上游側壓力感測器10的輸出偏移量，以此運算輸出偏移量消去並修正上游側壓力感測器10的輸出偏移。藉此構造，自動修正壓力感測器的溫度偏移，可作正確的流量控制。
简体摘要：本发明之技术课题在于开发自动修正压力传感器的温度偏移，不管温度变动如何，均可正确检测压力的压力传感器、压力控制设备及流量控制设备。本发明之解决手段在于，本发明压力式流量控制设备之温度偏移修正设备在孔板4与控制阀22之间设置检测上游侧压力P1的上游侧压力传感器10，一面以上游侧压力P1运算孔板通过流量，一面借由控制阀22的启开控制孔板通过流量的压力式流量控制设备中，包括温度传感器14，其测定流体温度；记忆手段64，其存储流体温度T与上游侧压力传感器10的输出偏移的关系；以及温度偏移修正手段，其在流体温度T变化情形下，根据记忆手段64的数据，运算上游侧压力传感器10的输出偏移量，以此运算输出偏移量消去并修正上游侧压力传感器10的输出偏移。借此构造，自动修正压力传感器的温度偏移，可作正确的流量控制。

10. 发明专利

TW332308B 配管施工的管理系統失效
简体标题：配管施工的管理系统
公开(公告)号：TW332308B
公开(公告)日：1998-05-21
申请号：TW086107520
申请日：1997-06-02
申请人：大見忠弘 , 富士金股份有限公司
发明人：土肥亮介 , 大見忠弘 , 出田英二 , 池田信一 , 唐土裕司 , 福田浩幸
IPC分类号： H01L
CPC分类号： B23K9/0953 , B23K31/12 , B23K2201/06
摘要：本發明之配管施工管理系統具備有：依據規定條件進行管子之焊接或管接頭之栓緊等配管施工之配管施工機；配管施工條件之設定值及依據實際配管施工資料來判定配管施工是否適當地進行之判定手段；儲存配管施工條件之設定值，實際之配管施工資料及判定結果之電腦主機(host cpmputer) ；與將配管施工條件之設定值，實際之配管施工資料及判定結果送訊到電腦主機之通訊手段。
简体摘要：本发明之配管施工管理系统具备有：依据规定条件进行管子之焊接或管接头之栓紧等配管施工之配管施工机；配管施工条件之设置值及依据实际配管施工数据来判定配管施工是否适当地进行之判定手段；存储配管施工条件之设置值，实际之配管施工数据及判定结果之电脑主机(host cpmputer) ；与将配管施工条件之设置值，实际之配管施工数据及判定结果送讯到电脑主机之通信手段。

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