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3. 发明专利

TW201723667A 投影微影之照明光學單元审中-公开
简体标题：投影微影之照明光学单元
公开(公告)号：TW201723667A
公开(公告)日：2017-07-01
申请号：TW105129286
申请日：2016-09-09
申请人：卡爾蔡司SMT有限公司 , CARL ZEISS SMT GMBH
发明人：凡高肯拉蒙 , VAN GORKOM, RAMON , 梅坦斯巴斯金馬修斯 , MERTENS, BASTIAAN MATTHIAS , 貝林史汀 , BIELING, STIG , 維舒邁爾拉爾斯 , WISCHMEIER, LARS , 毛爾曼弗瑞德 , MAUL, MANFRED , 安德烈斯馬丁 , ENDRES, MARTIN
IPC分类号： G03F7/20 , G02B5/09
CPC分类号： G03F7/70116 , G02B5/09 , G03F7/70075 , G03F7/701 , G03F7/702
摘要：一種投影微影之照明光學單元用於照明一物體場(8)，其中待成像之一物體(12)係可沿著一照明光束路徑而配置。一第一琢面反射鏡(6)具有第一琢面(21)，用於反射引導照明光(3)且係配置於一EUV光源之遠場的使用區域中。一第二琢面反射鏡(7)係用於將該第一琢面反射鏡(6)所反射之照明光(3)反射引導至該物體場(8)。該第二琢面反射鏡(7)具有第二琢面(25)，用於分別引導一個照明光部分射束(26)至該物體場(8)中。該第一琢面反射鏡(6)係配置於該照明光學單元的一場平面(6a)中。該第二琢面反射鏡(7)係配置為與該照明光學單元的一場平面(6a)及一光瞳平面(12b)相距一段距離處。這兩個琢面反射鏡(6、7)是相對於彼此而配置為使得至少一部分的照明光部分射束(26)會以無縫連接的反射表面而被引導於該第一琢面反射鏡(6)的第一琢面(21)上。產生了一種不需強制使用MEMS反射鏡作為第一琢面反射鏡之照明光學單元。
简体摘要：一种投影微影之照明光学单元用于照明一物体场(8)，其中待成像之一物体(12)系可沿着一照明光束路径而配置。一第一琢面反射镜(6)具有第一琢面(21)，用于反射引导照明光(3)且系配置于一EUV光源之远场的使用区域中。一第二琢面反射镜(7)系用于将该第一琢面反射镜(6)所反射之照明光(3)反射引导至该物体场(8)。该第二琢面反射镜(7)具有第二琢面(25)，用于分别引导一个照明光部分射束(26)至该物体场(8)中。该第一琢面反射镜(6)系配置于该照明光学单元的一场平面(6a)中。该第二琢面反射镜(7)系配置为与该照明光学单元的一场平面(6a)及一光瞳平面(12b)相距一段距离处。这两个琢面反射镜(6、7)是相对于彼此而配置为使得至少一部分的照明光部分射束(26)会以无缝连接的反射表面而被引导于该第一琢面反射镜(6)的第一琢面(21)上。产生了一种不需强制使用MEMS反射镜作为第一琢面反射镜之照明光学单元。

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