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1. 发明申请

WO2007105785A1 分子ポンプ、及びフランジ审中-公开
标题翻译：分子泵和法兰
公开(公告)号：WO2007105785A1
公开(公告)日：2007-09-20
申请号：PCT/JP2007/055172
申请日：2007-03-15
申请人： BOCエドワーズ株式会社 , 前島靖 , 大立好伸 , 和田るみ子 , 榎本良弘 , ベイリー・クリス , ステファン・ドーン , ウィルソン・ケイト
发明人：前島靖 , 大立好伸 , 和田るみ子 , 榎本良弘 , ベイリー・クリス , ステファン・ドーン , ウィルソン・ケイト
IPC分类号： F04D19/04
CPC分类号： F04D19/042 , F04D27/0292 , F04D29/522 , F04D29/601 , F04D29/644
摘要： This invention is directed to the easy formation of an impact buffer structure. An impact buffer structure for consuming impact energy is provided in a molecular pump in its flange (61d). An insertion hole (40d) is provided in a flange. A buffer member (50d) formed of an independent small component is fitted into and fixed to the insertion hole. A bolt hole (14d) through which a bolt (65) is inserted is provided within the buffer member, for fixing the flange to a vacuum vessel. Thin-wall parts (82,83) are provided in the buffer member by forming hollow parts (72,73). Upon the occurrence of impact in a rotational direction of a rotor part in the molecular pump, for example, by breaking of the rotor part, the flange, together with the molecular pump, is slid in a rotational direction of the rotor part. This causes the bolt, through which the flange is fixed to the vacuum vessel in its flange to each other, hits against the buffer member resulting in plastic deformation of the buffer member. The plastic deformation of the buffer member consumes energy for molecular pump rotation and can buffer the impact generated in the molecular pump.
摘要翻译：本发明涉及容易形成冲击缓冲结构。在其法兰（61d）中的分子泵中提供用于消耗冲击能量的冲击缓冲结构。插入孔（40d）设置在凸缘中。由独立的小部件形成的缓冲部件（50d）嵌合并固定在插入孔上。在缓冲构件内设置有螺栓孔（65）插入的螺栓孔（14d），用于将凸缘固定到真空容器。薄壁部件（82,83）通过形成中空部件（72,73）设置在缓冲部件中。在分子泵中的转子部分的旋转方向发生冲击时，例如通过转子部分的断裂，凸缘与分子泵一起在转子部分的旋转方向上滑动。这使得凸缘固定在其凸缘中的真空容器的螺栓撞击缓冲构件，导致缓冲构件的塑性变形。缓冲构件的塑性变形消耗分子泵旋转的能量，并可缓冲分子泵产生的冲击。

2. 发明专利

JP5767632B2 排気ポンプの堆積物検知装置と、該装置を備えた排気ポンプ有权
标题翻译：对的排气泵的沉积物感测装置，排气泵与所述设备
公开(公告)号：JP5767632B2
公开(公告)日：2015-08-19
申请号：JP2012515805
申请日：2011-04-27
申请人：エドワーズ株式会社
发明人：榎本良弘
IPC分类号： F04D27/00 , F04B49/10 , F04B51/00 , F04D19/04
CPC分类号： F04D27/001 , F04B49/10 , F04B51/00 , F04D19/04

3. 发明专利

JP6005525B2 排気ポンプに適用可能な固定翼ブレード集合体、及びそれを備えた排気ポンプ有权
标题翻译：适用固定翼叶片组件到排气泵，并且具有相同的排气泵
公开(公告)号：JP6005525B2
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：JP2012548687
申请日：2011-09-13
申请人：エドワーズ株式会社
发明人：時永偉 , 榎本良弘 , 野中学
IPC分类号： F04D19/04
CPC分类号： F01D9/02 , F04D19/042 , F04D29/542

4. 发明专利

JP2020197129A 真空ポンプ及び該真空ポンプに備えられた保護部审中-公开
公开(公告)号：JP2020197129A
公开(公告)日：2020-12-10
申请号：JP2019101785
申请日：2019-05-30
申请人：エドワーズ株式会社
发明人：榎本良弘 , 樺澤剛志
IPC分类号： F04D19/04
摘要：【課題】回転部品と固定部品が接触した際にも火花が発生しなくなり、真空容器内での爆発的反応を防止できる真空ポンプ及び該真空ポンプに備えられた保護部を提供する。【解決手段】ガス流路の狭い隙間を隔てたネジ付きスペーサ131のネジ山131a〜ネジ山131eの頭部側に、非金属製の保護部1a〜保護部1eを周状に形成する。同様にガス流路の隙間の狭い回転翼102xの先端に対向する固定翼スペーサ125xの内周面側にも保護部1xを周状に形成する。保護部1は回転翼102と静止部が接触した際にも、母材の金属材料同士が接触しないために必要十分な厚みの非金属で形成する。回転翼102と静止部間が接触したときに保護部1が先に接触し削れることで母材の金属同士が露出して接触するのを避けられる。保護部1は一定の硬度も有しているので、物体をはじく作用も相まって、一層効果的に母材の金属同士が露出して接触するのを避けられる。【選択図】図2

5. 发明专利

JP6058642B2 排気ポンプの堆積物検知装置及び排気ポンプ有权
标题翻译：排气泵存款感测装置和排气泵
公开(公告)号：JP6058642B2
公开(公告)日：2017-01-11
申请号：JP2014512401
申请日：2013-03-07
申请人：エドワーズ株式会社
发明人：榎本良弘
IPC分类号： F04D19/04
CPC分类号： F01N11/00 , F04C25/02 , F04D19/042 , F04D27/001 , F01N2550/00 , F04C2220/30 , F04C2270/86 , F04C2280/02 , F04C28/28 , H02P29/027

6. 发明专利

JP2021134662A 真空ポンプ、除害装置、および排気ガス処理システム审中-公开
公开(公告)号：JP2021134662A
公开(公告)日：2021-09-13
申请号：JP2020028707
申请日：2020-02-21
申请人：エドワーズ株式会社
发明人：榎本良弘
IPC分类号： F23G7/06 , F04B49/02
摘要：【課題】排気ガスを除害する際に省エネルギ化を図ることのできる真空ポンプを提供する。【解決手段】排気ガスを吸入して排出する真空ポンプ(2)であって、駆動源としてのモータ(MT)と、前記モータの駆動を制御する第1コントローラ(29)と、を備え、前記第1コントローラは、前記モータの状態を監視する共に、前記モータの状態が起動時および停止時を除く特定状態である場合に特定信号(プロセス信号)を外部に出力することを特徴とする。【選択図】図5

7. 发明专利

JP2021014814A 真空ポンプ装置および昇降式ゲートバルブ审中-公开
公开(公告)号：JP2021014814A
公开(公告)日：2021-02-12
申请号：JP2019129673
申请日：2019-07-11
申请人：エドワーズ株式会社
发明人：榎本良弘
IPC分类号： F04D19/04
摘要：【課題】真空ポンプ装置において比較的簡単な構造で均等排気を実現可能とする。【解決手段】真空ポンプ部1は、アウタロータ12とインナステータ11とを備え、昇降式ゲートバルブ部2は、弁体21と弁座22とを備え、真空ポンプ部1の回転軸方向に沿って弁体21が弁座22に対して昇降する。そして、インナステータ11は、真空ポンプ部1の回転軸方向に沿った貫通孔11cを備え、弁体21を支持する支持部材23の少なくとも一部が、貫通孔11cに配置されている。【選択図】図1

8. 发明专利

JP2019120157A 真空ポンプ及び真空ポンプの堆積物検知装置並びに真空ポンプの堆積物検知方法审中-公开
公开(公告)号：JP2019120157A
公开(公告)日：2019-07-22
申请号：JP2017254060
申请日：2017-12-28
申请人：エドワーズ株式会社
发明人：榎本良弘
IPC分类号： F04D27/00 , F04C25/02 , F04C28/28 , F04B51/00 , F04B49/10 , F04D19/04
摘要：【課題】オーバーホール時期を適切に判定可能な真空ポンプ及び真空ポンプの堆積物検知装置並びに真空ポンプの堆積物検知方法を提供する。【解決手段】真空ポンプ1は、ロータ20と堆積物との接触を検知する振動センサ82と、ロータ20を回転駆動させるモータ30の電流値を検出すると共に、この電流値が所定値以上の状態で振動センサ82がロータ20と堆積物との接触を検知した場合に、真空ポンプ1のオーバーホールが必要であると判定する制御ユニット60判定手段と、を備えている。【選択図】図3

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