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1. 发明申请

WO2007135883A1 真空ポンプ审中-公开
标题翻译：真空泵
公开(公告)号：WO2007135883A1
公开(公告)日：2007-11-29
申请号：PCT/JP2007/059846
申请日：2007-05-14
申请人： BOCエドワーズ株式会社 , 時永偉 , 高橋勇次
发明人：時永偉 , 高橋勇次
IPC分类号： F04D19/04
CPC分类号： F04D19/042 , F04D29/542 , F04D29/644 , Y10T29/49323
摘要：【課題】固定翼を半円環状固定翼に切断するのに、切断幅が小さいワイヤ放電加工等によらず、よりコストの安い切削や研削によって切断しても、固定翼と回転翼との干渉が起こらない真空ポンプを提供する。【解決手段】固定翼外輪部１２ａの基準端面１２ｔａ（１２ｔｂ）から、対応する回転翼端面４ａａ（４ａｂ）を含む平面までの距離ｈを、ポンプ運転時の回転翼４ａの変形範囲よりも大きく設定する。これにより、組立工程で、固定翼１２の半円環切断幅ｗが大きくて、固定翼１２がリング状スペーサ１３に対して径方向にずれ、外輪部１２ａが回転翼４ａと固定翼１２の間の空間にはみ出した場合にも、運転中に固定翼１２の外輪部１２ａが回転翼４ａにぶつかるおそれがない。固定翼１２の半円環切断幅ｗが大きくても外輪部１２ａと回転翼４ａとの干渉が起こらないのであるから、固定翼１２の半円環切断に高価なワイヤ放電加工を用いずに、カッター等、切削加工や研削加工を用いて経済的に加工でき、しかも、ポンプ組立ても容易になる。
摘要翻译： [问题]为了提供一种真空泵，其中固定叶片和旋转叶片彼此不干扰，即使固定叶片通过廉价的切割或研磨方法被切割并形成为半圆形，而不依赖于提供的线材放电加工切割宽度小。解决问题的手段将固定叶片外圈部（12a）的基准端面（12ta，（12tb））到包含相应的转子端面（4aa，（4ab））的平面的距离h设定为大于泵的操作期间旋转叶片（4a）的变形范围。在组装过程中可能发生固定叶片（12）的半圆形切割宽度w大，从而使得固定叶片（12）从环形间隔件（13）和外环部分（13）径向偏移（12a）突出到每个旋转叶片（4a）和固定叶片（12）之间的空间中。然而，即使在这种情况下，旋转叶片（12）的外圈部（12a）在操作中也不与旋转叶片（4a）碰撞。即使固定刀片（12）的半圆切割宽度w大，外环部分（12a）和旋转刀片（4a）也不会相互干扰，所以可以经济地切割固定刀片通过使用切割机等进行切割而成为半圆形，并进行研磨，而不需要使用昂贵的线材放电加工。此外，泵可以容易地组装。

2. 发明专利

JP2021032157A 真空ポンプ及び真空ポンプに用いられる電磁石ユニット审中-公开
公开(公告)号：JP2021032157A
公开(公告)日：2021-03-01
申请号：JP2019153295
申请日：2019-08-23
申请人：エドワーズ株式会社
发明人：時永偉
IPC分类号： F04D19/04
摘要：【課題】変位センサがノイズの影響を受けることを抑制すると共に、省スペースで設置可能な電磁石ユニット及び該電磁石ユニットを備えた真空ポンプを提供する。【解決手段】電磁石ユニット50は、シャフト21を所定の位置に制御するラジアル電磁石51と、シャフト21の位置を検出するラジアルセンサ53と、ラジアル電磁石51とラジアルセンサ53との間に介設され、互いに対応する2つのラジアルセンサ53、53のコイル53c同士を結線するセンサ用配線パターン56及び対応する2つのラジアル電磁石51、51のコイル51c同士を結線する電磁石用配線パターン57が設けられたプリント基板55と、を備えている。センサ用配線パターン56及び電磁石用配線パターン57は、アキシャル方向Aから視て重ならないように配置されている。【選択図】図6

3. 发明专利

JP2018178908A 真空ポンプ、真空ポンプに備わる磁気軸受部およびシャフト审中-公开
公开(公告)号：JP2018178908A
公开(公告)日：2018-11-15
申请号：JP2017081992
申请日：2017-04-18
申请人：エドワーズ株式会社
发明人：時永偉 , 三輪田透 , 坂口祐幸
IPC分类号： F16C32/04 , F04D19/04
CPC分类号： F04D19/04 , F16C32/04
摘要：【課題】真空ポンプの全高を低くする真空ポンプ、真空ポンプに備わる磁気軸受部およびシャフトを実現する。【解決手段】本実施形態では、5軸制御磁気軸受におけるシャフト側下方では、吸気口側から排気口側へ、下側Raセンサターゲット、第4スペーサ、そしてRa電磁石ターゲットという構成順になる。あわせて、ステータ側下方では、吸気口方向から排気口方向へ順に、下側Raセンサ、下側Ra電磁石という構成順になる。つまり、下側Raセンサが下側Ra電磁石の上側に配設される構成にする。この構成により、下側Raセンサターゲットの上に固定される第3スペーサを短くすることができるので、シャフトの長さを短くすることができる。その結果、5軸制御磁気軸受の高さ、および、5軸制御磁気軸受を構成する電装部を内包するステータコラムを低くすることができるので、真空ポンプの全高を低くすることができる。【選択図】図2

4. 发明专利

JP6386914B2 真空ポンプ审中-公开
公开(公告)号：JP6386914B2
公开(公告)日：2018-09-05
申请号：JP2014559528
申请日：2013-12-25
申请人：エドワーズ株式会社
发明人：時永偉 , 野中学 , 大立好伸 , 前島靖 , 高阿田勉
IPC分类号： F04D29/58 , F04D19/04
CPC分类号： F04D19/002 , F04D19/044 , F04D25/06 , F04D27/0292 , F04D29/053 , F04D29/325 , F04D29/40 , F04D29/522 , F04D29/584 , F05D2260/607

5. 发明专利

JP6005525B2 排気ポンプに適用可能な固定翼ブレード集合体、及びそれを備えた排気ポンプ有权
标题翻译：适用固定翼叶片组件到排气泵，并且具有相同的排气泵
公开(公告)号：JP6005525B2
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：JP2012548687
申请日：2011-09-13
申请人：エドワーズ株式会社
发明人：時永偉 , 榎本良弘 , 野中学
IPC分类号： F04D19/04
CPC分类号： F01D9/02 , F04D19/042 , F04D29/542

6. 发明专利

JP6948147B2 真空ポンプ、真空ポンプに備わる磁気軸受部およびシャフト有权
公开(公告)号：JP6948147B2
公开(公告)日：2021-10-13
申请号：JP2017081992
申请日：2017-04-18
申请人：エドワーズ株式会社
发明人：時永偉 , 三輪田透 , 坂口祐幸
IPC分类号： F16C32/04 , F04D19/04

7. 发明专利

JP2020125714A 真空ポンプ及び真空ポンプに用いられる接続ポート审中-公开
公开(公告)号：JP2020125714A
公开(公告)日：2020-08-20
申请号：JP2019018310
申请日：2019-02-04
申请人：エドワーズ株式会社
发明人：高阿田勉 , 時永偉
IPC分类号： F04D19/04
摘要：【課題】排気性能を低下させることなく小型化可能な真空ポンプ及び真空ポンプに用いられる接続ポートを提供する。【解決手段】真空ポンプ1と補助ポンプとを接続する排気ポート14は、真空ポンプ1に接続可能なオーバル状の第1の開口14aと、補助ポンプに接続可能な円形状の第2の開口14bと、を備え、真空ポンプ1のアキシャル方向において、第1の開口14aの径寸法が、第2の開口14bの径寸法より小さく設定されている。【選択図】図2

8. 发明专利

JP2019210836A 真空ポンプ及びセンサターゲット审中-公开
公开(公告)号：JP2019210836A
公开(公告)日：2019-12-12
申请号：JP2018106095
申请日：2018-06-01
申请人：エドワーズ株式会社
发明人：時永偉
IPC分类号： F04D19/04
摘要：【課題】変位センサのセンサターゲットに強磁性材を使用したときよりも安価でセンサ感度の線形性の範囲を広げ、かつ、外乱の発生時でもタッチダウンをし難くした真空ポンプ及びセンサターゲットを提供する。【解決手段】軸方向変位センサ109は、軸方向電磁石106を保持する保持部材5の中心に貫通固定された軸部109Aの上端に取り付けられたボビン109Bに対しコイル7を捲回して構成されている。このコイル7とギャップ2を隔てて、ロータ軸113の下端部には小径柱状の軸端部113Bが突設されている。軸端部113Bの外周囲には雄ねじが刻設されており、この軸端部113Bに対して内側に雌ねじの刻設されたナット19が螺合される。但し、雌ねじの刻設されている範囲はナット19の中間までに止まり、貫通はされていない。即ち、ナット19は上部にのみ開口されたネジ穴19Aを有している。ナット19は低炭素鋼の一つの素材で構成されている。【選択図】図2

9. 发明专利

JP2021148088A 真空ポンプ及び真空ポンプ用部品审中-公开
公开(公告)号：JP2021148088A
公开(公告)日：2021-09-27
申请号：JP2020049766
申请日：2020-03-19
申请人：エドワーズ株式会社
发明人：長瀬賢哉 , 鈴木春樹 , 時永偉
IPC分类号： F04D19/04
摘要：【課題】固定翼、回転翼の材料や構造を変更することなくロータの効率の良い放熱ができるようにした真空ポンプ及び真空ポンプ用部品を提供する。【解決手段】ガス吸気口2とガス排気口3を有する外装ケース1と、外装ケース1で回転するロータ6と、ロータ6の回転によりガス吸気口2からガス排気口3へのガスの排気を行う真空ポンプPであって、ロータ6の形状を略円筒形状とし、ロータ6の内周面とロータ6の内周面の少なくとも一部に対向するステータコラム4との間にパージガスPGを流すとともに、パージガスPGの流路にパージガスPGの流れを乱す突起41又は溝43を設ける。【選択図】図3

10. 发明专利

JP6932546B2 真空ポンプ、及び該真空ポンプに用いられる磁気軸受装置、並びに円環状電磁石有权
公开(公告)号：JP6932546B2
公开(公告)日：2021-09-08
申请号：JP2017099451
申请日：2017-05-19
申请人：エドワーズ株式会社
发明人：時永偉 , 三輪田透 , 坂口祐幸
IPC分类号： F16C32/04 , F04D19/04

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