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1. 发明申请

WO2005116448A1 真空ポンプ审中-公开
标题翻译：真空泵
公开(公告)号：WO2005116448A1
公开(公告)日：2005-12-08
申请号：PCT/JP2005/009148
申请日：2005-05-19
申请人： BOCエドワーズ株式会社 , 樺澤剛志 , 野中学
发明人：樺澤剛志 , 野中学
IPC分类号： F04B37/16
CPC分类号： F04D29/5853 , F04D19/042 , F04D29/701
摘要：　真空装置側へ伝播する真空ポンプの放射熱を簡単な構成で効率的に低減させることを目的とする。　ターボ分子ポンプ１の気体移送機構の上流に、真空室３０が受ける放射熱の影響を低減させるための放射熱低減構造を設ける。放射熱低減構造は、遮熱機構と冷却機構から構成されている。遮熱機構は、遮熱プレート１８、支持部１９および最上段スペーサ１７ａから構成されている。遮熱プレート１８の下流側の面には、放射率が０．８以上である表面処理が施され、一方、上流側の面には、放射率が０．１以下である表面処理が施されている。これにより、遮熱プレート１８においてより多くの熱を吸収させることができるだけでなく、真空室３０側へ放射される熱の量を低減させることができる。
摘要翻译：通过简单的结构有效地减少了传播到真空装置侧的真空泵的辐射热。在涡轮分子泵（1）的气体传递机构的上游设置有辐射热减少结构，并且该结构减少了对真空室（30）的辐射热的影响。辐射减热结构由隔热机构和冷却机构构成。隔热板机构由隔热板（18），支撑部（19）和最上层隔板（17a）构成。提供0.8以上的发射率的表面处理被施加到隔热板（18）的下游侧的表面。另一方面，向上游侧的表面施加提供0.1以下的发射率的表面处理。通过上述结构，隔热板（18）能够吸收更多的热量，另外，隔热板（18）能够减少向真空室（30）侧散发的热量。

2. 发明申请

WO2005119060A1 真空排気装置审中-公开
标题翻译：真空排气装置
公开(公告)号：WO2005119060A1
公开(公告)日：2005-12-15
申请号：PCT/JP2005/010044
申请日：2005-06-01
申请人： BOCエドワーズ株式会社 , 野中学
发明人：野中学
IPC分类号： F04B37/16
CPC分类号： F04D29/161 , F04B37/16 , F04D19/04 , F04D29/083
摘要：　真空ポンプから真空装置へ伝播する振動の遮断率を向上させることを目的とする。　ターボ分子ポンプ１を真空シール構造４を介して主真空室２に接続する。さらに、副真空室３を主真空室２、真空シール構造４、ターボ分子ポンプ１の吸気口１１０を内包するように配設する。副真空室３の粗引き真空排気処理を粗引真空ポンプ６により行い、副真空室３を中真空状態とする。真空シール構造４は、中真空状態となっている副真空室３内に配設されるため、主真空室２と副真空室３との間の圧力差を極めて小さくすることができる。これにより、主真空室２へのガスのリーク量を小さい値に抑えることができる。また、真空シール構造４は、ターボ分子ポンプ１を支持する機能を担うものではないため、例えば、非接触シール構造や柔軟性の高いシール部材を用いることができる。
摘要翻译：提高从真空泵到真空装置传播的振动的速度被切断。涡轮分子泵（1）通过真空密封结构（4）连接到主真空室（2）。此外，辅助真空室（3）被设置为包括主真空室（3），真空密封结构（4）和涡轮分子泵（1）的吸入口（110）。通过粗抽真空泵（6）对辅助真空泵（3）进行粗抽真空排气处理，以在辅助真空室（3）中建立介质真空状态。由于真空密封结构（4）设置在其中建立了中等真空状态的辅助真空室（3）中，所以可以使主真空室（2）和辅助真空室（3）之间的压力差最小化。这使得可以将气体进入主真空室（2）的泄漏减小到较小的值。此外，由于真空密封结构（4）不是为了承担支撑涡轮分子泵（1）的功能，所以可以使用例如非接触式密封结构或高度柔性的密封构件。

3. 发明专利

JP6850846B2 真空ポンプ、および複合型真空ポンプ有权
公开(公告)号：JP6850846B2
公开(公告)日：2021-03-31
申请号：JP2019160681
申请日：2019-09-03
申请人：エドワーズ株式会社
发明人：野中学 , 樺澤剛志
IPC分类号： F04D19/04

4. 发明专利

JP2019056364A 真空ポンプとこれに用いられるブレード部品およびロータならびに固定のブレード审中-公开
公开(公告)号：JP2019056364A
公开(公告)日：2019-04-11
申请号：JP2018046156
申请日：2018-03-14
申请人：エドワーズ株式会社
发明人：野中学 , 江野澤秀樹
IPC分类号： F04D19/04
摘要：【課題】真空ポンプのガス分子排気性能を損なうことなく、真空ポンプから真空チャンバへの粒子の逆流を効果的に防止することができ、逆流の粒子による真空チャンバ内の汚染を防止するのに好適な、真空ポンプとこれに用いられるブレード部品およびロータならびに固定のブレードを提供する。【解決手段】真空ポンプは、吸気口から排気口までの間に、ガス分子を排気する手段として機能する複数の排気段PTを有するとともに、複数の排気段PTのうち最上段の排気段PT(PT1)から吸気口までの間に、ガス分子の排気方向に粒子を移送する粒子移送段として、最上段の排気段PT1を構成する回転ブレード7(71、75)と一緒に回転し、かつ、最上段の排気段PT1を構成する回転ブレード7の枚数よりも少ない枚数のブレードNBを備える。【選択図】図2

5. 发明专利

JP6386914B2 真空ポンプ审中-公开
公开(公告)号：JP6386914B2
公开(公告)日：2018-09-05
申请号：JP2014559528
申请日：2013-12-25
申请人：エドワーズ株式会社
发明人：時永偉 , 野中学 , 大立好伸 , 前島靖 , 高阿田勉
IPC分类号： F04D29/58 , F04D19/04
CPC分类号： F04D19/002 , F04D19/044 , F04D25/06 , F04D27/0292 , F04D29/053 , F04D29/325 , F04D29/40 , F04D29/522 , F04D29/584 , F05D2260/607

6. 发明专利

JP6005525B2 排気ポンプに適用可能な固定翼ブレード集合体、及びそれを備えた排気ポンプ有权
标题翻译：适用固定翼叶片组件到排气泵，并且具有相同的排气泵
公开(公告)号：JP6005525B2
公开(公告)日：2016-10-12
申请号：JP2012548687
申请日：2011-09-13
申请人：エドワーズ株式会社
发明人：時永偉 , 榎本良弘 , 野中学
IPC分类号： F04D19/04
CPC分类号： F01D9/02 , F04D19/042 , F04D29/542

7. 发明专利

JP2015124656A 真空排気機構、複合型真空ポンプ、および回転体部品有权
标题翻译：真空排气机构，复合真空泵和转子部件
公开(公告)号：JP2015124656A
公开(公告)日：2015-07-06
申请号：JP2013268615
申请日：2013-12-26
申请人：エドワーズ株式会社
发明人：野中学 , 樺澤剛志
IPC分类号： F04D19/04
CPC分类号： F04D25/16 , F04D17/168 , F04D19/042 , F04D19/046 , F04D29/053 , F04D29/28 , F04D29/384 , F04D29/4206
摘要：【課題】配設される真空ポンプにおいて、排気作用のある管路と管路を効果的に繋ぐ真空排気機構、複合型真空ポンプ、および回転体部品を提供する。【解決手段】真空ポンプは、配設される固定円板50または配設される回転円板9の少なくともいずれか一方に、山部と谷部を有するスパイラル状溝が刻設されるシーグバーン型分子ポンプ部を有し、外周の折り返し流路900においてコンダクタンスを大きくとるための構造を備える。この構造は、回転円板9に形成される連通部900、あるいは、固定円板50に配設される斜板と回転円板9に形成される連通部とによって、真空ポンプ内部に形成される。「連通部」や「溝部」、「スリット」は、「凹」状の形態であり、回転円板9において、外径部から内径方向へ向かって溝900を刻設することで凹部が設けられる。【選択図】図2
摘要翻译：要解决的问题：提供一种真空排气机构，用于将具有排气作用的管道，复合真空泵和转子部件有效地连接在要布置的真空泵中。解决方案：本发明的真空泵具有至少任何一种布置的固定盘50和布置的旋转盘9中的一个具有包括具有波峰部分和槽部的螺旋槽的锡格巴恩型分子泵，外周部的折叠流路900显示高电导。该结构通过形成在旋转盘9上的连通部（折叠流路）900或形成在设置在固定板50上的倾斜板上的连通部（折叠流路）形成在真空泵内，旋转盘9.“通信部”，“槽”和“狭缝”形成为“凹”形，并且这些凹形通过从外径部向内径部形成凹槽而布置。

8. 发明专利

JP2020153367A 真空ポンプ审中-公开
公开(公告)号：JP2020153367A
公开(公告)日：2020-09-24
申请号：JP2020037519
申请日：2020-03-05
申请人：エドワーズ株式会社
发明人：江野澤秀樹 , 野中学 , 樺澤剛志
IPC分类号： F04D19/04
摘要：【課題】真空ポンプの運転支障の原因が発生する流路位置における、その原因が発生する少し前の堆積物の厚さを検出する。【解決手段】堆積物センサ21−iが、気体の吸気口から排気口までの流路において、当該真空ポンプの運転支障の原因が発生する所定の流路位置より上流側または下流側に配置されている。そして、堆積物センサ21−iは、当該堆積物センサの配置位置における堆積物の有無を検出し、堆積物センサ21−iの配置位置は、堆積物センサ21−iの検出状態が堆積物なしから堆積物ありへ変化するときに、上述の所定の流路位置での堆積物の厚さが、その原因を抑制するメンテナンスのメンテナンス時期に対応する所定厚さとなる位置となっている。【選択図】図4

9. 发明专利

JP6436731B2 真空ポンプ及び該真空ポンプの異常原因推定方法审中-公开
公开(公告)号：JP6436731B2
公开(公告)日：2018-12-12
申请号：JP2014230163
申请日：2014-11-12
申请人：エドワーズ株式会社
发明人：大立好伸 , 前島靖 , 高阿田勉 , 野中学
IPC分类号： F04D19/04
CPC分类号： F16C32/0446 , F01D17/02 , F01D17/167 , F01D21/003 , F04D19/04 , F04D19/042 , F04D27/001 , F04D27/0292 , F04D29/058 , F05B2260/80 , F05D2260/607 , F05D2260/80 , F16C32/0489 , F16C2360/45

10. 发明专利

JP6353195B2 固定円板および真空ポンプ有权
公开(公告)号：JP6353195B2
公开(公告)日：2018-07-04
申请号：JP2013098990
申请日：2013-05-09
申请人：エドワーズ株式会社
发明人：野中学 , 樺澤剛志
IPC分类号： F04D19/04
CPC分类号： F04D17/168 , F04D19/046 , F04D29/30 , F04D29/444

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