专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明申请

WO2010007975A1 真空ポンプ审中-公开
标题翻译：真空泵
公开(公告)号：WO2010007975A1
公开(公告)日：2010-01-21
申请号：PCT/JP2009/062708
申请日：2009-07-14
申请人：エドワーズ株式会社 , 大立好伸 , 野中学 , 前島靖
发明人：大立　好伸 , 野中　学 , 前島　靖
IPC分类号： F04D19/04
CPC分类号： F04D19/042 , F04D27/001 , F04D27/0292 , F04D29/661 , F05D2260/607
摘要：　回転部と固定部との物理的な接触、及び、固体生成物の堆積量が回転部と固定部とのクリアランスに達したことを精度よく検出する。　ねじ溝スペーサの外周面上に空隙を利用して振動センサを設ける。回転部と固定部との接触に起因する特定振動が所定の閾値レベルを超える場合、回転部と固定部との接触が生じたと判断する。また、ねじ溝スペーサの外周面における排気口側の端に振動センサを設ける。遮断周波数ｆｃ１の減衰特性を有する弾性部材（Ｏリング）を介して、ねじ溝スペーサを外装体に固定する。振動センサから出力される振動信号は、デジタル振動信号に変換され、ｆｃ１～ｆｃ２［Ｈｚ］帯域を通過帯域とするデジタルフィルタに入力される。デジタルフィルタを通過した振動信号の振動レベルが所定の閾値を超えた場合、ターボ分子ポンプにおいて回転部と固定部との接触が生じたと検知する。
摘要翻译：本发明提供一种真空泵，能够精确地检测旋转部和固定部之间的物理接触以及固体成分的积聚到旋转部与固定部之间的间隙。振动传感器通过利用螺纹槽间隔件的外圆周上的间隙来安装。如果由旋转部分和固定部分之间的接触导致的特定振动超过预定阈值水平，则确定旋转部分和固定部分之间的接触的发生。振动传感器安装在排气口侧端部的螺纹槽隔离件的外圆周上。螺纹槽间隔件通过具有截止频率（fc1）衰减特性的弹性部件（O形环）固定在铠装上。从振动传感器输出的振动信号被转换为数字振动信号，并被输入到具有通过频带fc1至fc2 [Hz]的数字滤波器。如果已经通过数字滤波器的振动信号的振动水平超过预定阈值，则检测到旋转部分和固定部分之间的接触已经在涡轮分子泵中发生。

2. 发明申请

WO2007105785A1 分子ポンプ、及びフランジ审中-公开
标题翻译：分子泵和法兰
公开(公告)号：WO2007105785A1
公开(公告)日：2007-09-20
申请号：PCT/JP2007/055172
申请日：2007-03-15
申请人： BOCエドワーズ株式会社 , 前島靖 , 大立好伸 , 和田るみ子 , 榎本良弘 , ベイリー・クリス , ステファン・ドーン , ウィルソン・ケイト
发明人：前島靖 , 大立好伸 , 和田るみ子 , 榎本良弘 , ベイリー・クリス , ステファン・ドーン , ウィルソン・ケイト
IPC分类号： F04D19/04
CPC分类号： F04D19/042 , F04D27/0292 , F04D29/522 , F04D29/601 , F04D29/644
摘要： This invention is directed to the easy formation of an impact buffer structure. An impact buffer structure for consuming impact energy is provided in a molecular pump in its flange (61d). An insertion hole (40d) is provided in a flange. A buffer member (50d) formed of an independent small component is fitted into and fixed to the insertion hole. A bolt hole (14d) through which a bolt (65) is inserted is provided within the buffer member, for fixing the flange to a vacuum vessel. Thin-wall parts (82,83) are provided in the buffer member by forming hollow parts (72,73). Upon the occurrence of impact in a rotational direction of a rotor part in the molecular pump, for example, by breaking of the rotor part, the flange, together with the molecular pump, is slid in a rotational direction of the rotor part. This causes the bolt, through which the flange is fixed to the vacuum vessel in its flange to each other, hits against the buffer member resulting in plastic deformation of the buffer member. The plastic deformation of the buffer member consumes energy for molecular pump rotation and can buffer the impact generated in the molecular pump.
摘要翻译：本发明涉及容易形成冲击缓冲结构。在其法兰（61d）中的分子泵中提供用于消耗冲击能量的冲击缓冲结构。插入孔（40d）设置在凸缘中。由独立的小部件形成的缓冲部件（50d）嵌合并固定在插入孔上。在缓冲构件内设置有螺栓孔（65）插入的螺栓孔（14d），用于将凸缘固定到真空容器。薄壁部件（82,83）通过形成中空部件（72,73）设置在缓冲部件中。在分子泵中的转子部分的旋转方向发生冲击时，例如通过转子部分的断裂，凸缘与分子泵一起在转子部分的旋转方向上滑动。这使得凸缘固定在其凸缘中的真空容器的螺栓撞击缓冲构件，导致缓冲构件的塑性变形。缓冲构件的塑性变形消耗分子泵旋转的能量，并可缓冲分子泵产生的冲击。

3. 发明申请

WO2013001982A1 円筒体及び真空ポンプ审中-公开
标题翻译：圆柱体和真空泵
公开(公告)号：WO2013001982A1
公开(公告)日：2013-01-03
申请号：PCT/JP2012/064221
申请日：2012-05-31
申请人：エドワーズ株式会社 , 高阿田勉 , 前島靖 , 樺澤剛志
发明人：高阿田　勉 , 前島　靖 , 樺澤　剛志
IPC分类号： F04D19/04
CPC分类号： F04D29/023 , F04D19/042 , F04D19/044 , F05D2230/90 , F05D2260/95 , F05D2300/603
摘要：　ＦＲＰで形成され且つ耐腐食性が向上された円筒体、及び当該円筒体を内包して耐食表面処理の品質向上により寿命が延長された真空ポンプを提供することを目的とする。　本発明の実施形態では、ＦＲＰ材で製造される円筒形回転部に対して、当該円筒形回転部の製造工程で形成される穴（隙間）に穴埋め処理を施し、その後、耐食表面処理を施す。または、耐食表面処理を施した後に、当該円筒形回転部に穴埋め処理を施す。穴埋め処理としては、塗装、埋め込み、又は融解（加熱処理）を利用し樹脂によって穴を塞ぐ。
摘要翻译：本发明的目的是提供一种由具有改善的耐腐蚀性的FRP形成的圆柱形主体，以及通过抗腐蚀表面处理的质量改进而包围圆柱体的真空泵具有延长的使用寿命。在本发明的实施例中，关于由FRP材料形成的圆筒形旋转部件，对在圆筒形旋转部件的制造过程中形成的空腔（间隙）施加空腔填充处理，然后将防腐蚀表面应用治疗。或者，在施加防腐蚀表面处理之后，将空腔填充处理施加到圆柱形旋转部件。作为空腔填充处理，使用涂覆，包埋或熔合（热处理），用树脂阻挡空腔。

4. 发明申请

WO2011070856A1 ネジ溝排気部の筒形固定部材と、これを使用した真空ポンプ审中-公开
标题翻译：螺纹排气单元的圆柱固定构件和使用相同的真空泵
公开(公告)号：WO2011070856A1
公开(公告)日：2011-06-16
申请号：PCT/JP2010/068313
申请日：2010-10-19
申请人：エドワーズ株式会社 , 三輪田透 , 坂口祐幸 , 大立好伸 , 前島靖 , 高阿田勉
发明人：三輪田　透 , 坂口　祐幸 , 大立　好伸 , 前島　靖 , 高阿田　勉
IPC分类号： F04D19/04
CPC分类号： F04D29/644 , F04D19/044 , F04D29/541
摘要：【課題】破壊トルクに対する真空ポンプの強度を維持しつつそのコストダウンを図ったり、ネジ溝排気部の回転部材の回転軸心方向で幅、深さ、リード角等が変化する複雑な形状のネジ溝をネジ溝排気部の筒形固定部材側に容易に作製することができ、かかるネジ溝の採用によって真空ポンプ全体の排気性能・圧縮性能の向上を図ったりするのに好適な、ネジ溝排気ポンプ部の筒形固定部材を提供する。【解決手段】ネジ溝排気部Ｐｓの筒形固定部材（ネジ溝排気部ステータ１８）は、ネジ溝排気部Ｐｓの回転部材（ロータ６の略下半分）の外周を囲むように配置されることによって回転部材との間に気体を排気するための螺旋状のネジ溝排気通路Ｓを形成する。このような筒形固定部材は、回転部材の回転軸心方向で２以上の分割片１８Ａ、１８Ｂに分割されていて、それぞれの分割片をボルト等の締結手段又は焼きばめ等の接合手段によって一体に連結した構造になっている。
摘要翻译：公开了一种螺纹槽排气泵单元的圆柱形固定构件，其中可以降低真空泵的成本，同时保持其抵抗击穿转矩的强度，其中具有宽度，深度，铅度的复杂形状的螺纹槽可以容易地形成螺纹槽排气单元的旋转构件的旋转轴方向的角度等变化，并且适合于通过使用这种螺纹槽来提高整个真空泵的排气性能和压缩性能。螺纹槽排气单元（Ps）的圆柱形固定构件（螺纹槽排气单元定子（18）），其设置成围绕旋转构件（基本上是转子（6）的下半部）的外周）螺纹槽排气单元（Ps）形成用于在旋转构件和圆筒形固定构件之间排出气体的螺旋形螺纹槽排气路径（S）。该圆柱形固定构件包括两个或更多个可沿着旋转构件的旋转轴线方向分割的可分离片（18A，18B），并且可分离片使用诸如螺栓的紧固装置或诸如收缩配件。

5. 发明申请

WO2012043027A1 排気ポンプ审中-公开
标题翻译：排气泵
公开(公告)号：WO2012043027A1
公开(公告)日：2012-04-05
申请号：PCT/JP2011/066577
申请日：2011-07-21
申请人：エドワーズ株式会社 , 大立好伸 , 前島靖 , 高阿田勉
发明人：大立　好伸 , 前島　靖 , 高阿田　勉
IPC分类号： F04D19/04
CPC分类号： F04D19/042 , F04D1/00 , F04D19/044 , F04D29/023 , F04D29/058 , F04D29/32 , F04D29/644 , F05D2230/10
摘要：【課題】耐久性、ポンプ生産段階における連通開口部の加工性、及び、排気性能の向上を図るのに好適な排気ポンプを提供する。【解決手段】排気ポンプは、筒形回転部材６と、筒形回転部材６の支持手段と、筒形回転部材６を回転駆動する駆動手段と、筒形回転部材６の外周を囲むように配置された外側筒形固定部材と、筒形回転部材６の内周によって囲まれるように配置された内側筒形固定部材と、筒形回転部材６と外側筒形固定部材の間に設けた螺旋状の外側ネジ溝排気通路と、筒形回転部材６と内側筒形固定部材の間に設けた螺旋状の内側ネジ溝排気通路と、筒形回転部材６に開設され、筒形回転部材６の外周付近に存在する気体の一部を前記内側ネジ溝排気通路へ導く連通開口部Ｈと、を備え、連通開口部Ｈより上流の筒形回転部材６の外周に設けられている最下段の回転翼１３Ｅと連通開口部Ｈ上流端との間の隙間が、その隙間に連通開口部Ｈを開設するための工具を挿入できる寸法以上である。
摘要翻译： [问题]提供一种有利于提高耐久性，泵生产阶段中的互连孔的可加工性和排气性能的排气泵。 [解决方案]排气泵设置有：圆柱形旋转构件（6）; 用于圆柱形旋转构件（6）的支撑装置; 旋转地驱动所述圆筒形旋转构件（6）的驱动装置; 以圆筒状的旋转体（6）的外周的方式配置的外筒状的固定部件。以圆筒状的旋转体（6）的内周包围的方式配置的内筒状的固定部件; 螺旋形外螺纹排气通道，设置在圆柱形旋转构件（6）和外圆柱形固定构件之间; 螺旋内螺纹排气通道，设置在圆筒形旋转构件（6）和内圆柱形固定构件之间; 以及连接孔（H），其设置在圆筒状的旋转构件（6）上，并将存在于圆筒状的旋转构件（6）的外周附近的气体的一部分引导到内螺纹排出通路。互连孔（H）的上游端和设置在互连孔（H）上游的圆柱形旋转构件（6）的外周的最底部旋转叶片（13E）之间的间隙至少具有允许用于形成插入间隙的互连孔（H）的工具。

6. 发明申请

WO2011021428A1 真空ポンプ审中-公开
标题翻译：真空泵
公开(公告)号：WO2011021428A1
公开(公告)日：2011-02-24
申请号：PCT/JP2010/060041
申请日：2010-06-14
申请人：エドワーズ株式会社 , 三輪田透 , 石井慶一 , 町田勝秀 , 大立好伸 , 前島靖 , 高阿田勉
发明人：三輪田　透 , 石井　慶一 , 町田　勝秀 , 大立　好伸 , 前島　靖 , 高阿田　勉
IPC分类号： F04D19/04
CPC分类号： F04D19/042 , F04D27/001 , F04D29/584 , F05D2270/303
摘要：　ポンプに配置された温度センサの数よりも少ない数の加熱装置もしくは冷却装置を用いて温度制御を可能とした真空ポンプを提供する。　本ポンプ内の各ターゲットに対し温度センサはそれぞれ１個ずつ配置されている一方で、ヒータ１４７及び電磁弁１６３は一組のみ配置されている。このような複数の温度センサ出力信号に基づき一組のヒータと電磁弁とを温度センサに優先順位を付けた形で制御する。このように、温度センサに優先順位を付けたことで、まず先に優先順位の高い温度センサの配置されたターゲットに対し迅速なオンオフ制御をかけて温度を制御範囲内に収束させ、その後、優先順位の低い温度センサの配置されたターゲットに対する温度を制御範囲内に収束させる。
摘要翻译：提供了一种真空泵，其中可以使用加热装置或冷却装置来控制温度，其数量小于布置在泵上的温度传感器的数量。存在多个温度传感器，其中每个温度传感器针对泵内的每个目标设置，而仅设置一组加热器（147）和电磁阀（163）。确定温度传感器的适当顺序，并且基于温度传感器的输出信号来控制加热器和电磁阀的组。因此，确定温度传感器的优先顺序，以便首先通过快速执行目标的开/关控制将控制范围内的具有高优先级的温度传感器的目标的温度控制在控制范围内。之后，将具有低优先级的温度传感器的目标温度控制在控制范围内。

7. 发明申请

WO2008035497A1 真空ポンプ及びフランジ审中-公开
标题翻译：真空泵和法兰
公开(公告)号：WO2008035497A1
公开(公告)日：2008-03-27
申请号：PCT/JP2007/063487
申请日：2007-07-05
申请人：エドワーズ株式会社 , 前島靖 , 大立好伸 , 和田るみ子
发明人：前島靖 , 大立好伸 , 和田るみ子
IPC分类号： F04D19/04
CPC分类号： F04D19/042 , F04D29/601
摘要：　衝撃を受けた際、衝撃緩衝構造における応力集中を適切に抑制することを目的とする。　衝撃緩衝構造は、ボルト貫入部１４の両側、即ち、フランジ６１の円周方向に沿った両側に近接して設けられた溝部５０と、溝部５０とボルト貫入部１４との間に形成された薄肉部７０と、によって構成されている。物体が荷重を受けたとき荷重に応じて物体の内部に生ずる抵抗力、即ち応力は、形状変化の激しい部位に集中する。そこで、溝部５０の溝の底部や、溝部５０の開口部など応力の集中しやすい部位を円弧状に形成することにより、これらの部位に集中する応力の度合いを積極的に軽減させることができるように構成されている。これにより、薄肉部７０が変形する前に、即ち、薄肉部７０において衝撃を緩衝する（エネルギーを吸収する）前に、応力集中により亀裂が生じて薄肉部７０が破壊されてしまうことを抑制することができる。
摘要翻译：冲击阻尼结构中的应力集中受到冲击时适当地抑制。冲击阻尼结构具有布置在螺栓穿透部分（14）的两侧上的凹槽（50）或沿着凸缘（61）的圆周方向位于螺栓穿透部分（14）的两侧的近部分，并且还具有形成在槽（50）和螺栓贯通孔（14）之间的薄壁部（70）。当物体受到根据负载在物体内发生的载荷，阻力或应力集中在形状急剧变化的部分时。为了避免这样的应力集中，可以以圆弧形状形成容易受应力集中的凹槽（50）的底部和开口部分，从而积极地降低应力集中的程度。在薄壁部分（70）变形之前，或者在薄壁部分（70）阻止冲击（吸收能量）之前，可以避免由应力集中引起的裂缝和薄壁部分（70）的故障。

8. 发明申请

WO2005015026A1 真空ポンプ审中-公开
标题翻译：真空泵
公开(公告)号：WO2005015026A1
公开(公告)日：2005-02-17
申请号：PCT/JP2004/011069
申请日：2004-08-03
申请人： BOCエドワーズ株式会社 , 奥寺智 , 前島靖 , 坂口祐幸
发明人：奥寺智 , 前島靖 , 坂口祐幸
IPC分类号： F04D19/04
CPC分类号： F04D19/042 , F04D25/06 , F04D29/5806 , F04D29/584
摘要： A vacuum pump capable of using common vacuum pump components even if the vacuum pump is formed in the same structure as a vacuum pump suitably maintaining the temperature of electrical parts by efficiently cooling the electrical parts for rotating a rotor but the shape thereof is different in size from the vacuum pump. The vacuum pump (100) of the first invention is one which creates a vacuum state by rotating the rotor (101) to suck and discharge gas. The electrical parts (103a, 103b) for rotating the rotor are stored, a water-cooled tube (104) is buried in the wall of a stator column (102a) formed integrally with a base (102b), the water supply port side and the water drain port side of the water-cooled tube are branched into a plurality of parts, and the water-cooled tube is installed near the electrical part disposed near the center of the vacuum pump. The vacuum pumps (200, 300) of the second invention are those which create a vacuum state by rotating the rotors (201, 301) on which rotating blades are disposed to suck and discharge the gas. Pump cases (209, 309) are supported by screw pump stators (208, 308), and the water-cooled tube is buried in the wall of a stator column (202a).
摘要翻译：即使真空泵以与真空泵相同的结构形成真空泵的真空泵，通过有效地冷却用于旋转转子的电气部件，但其形状不同，适当地保持电气部件的温度从真空泵。第一发明的真空泵（100）是通过使转子（101）旋转以吸入和排出气体而产生真空状态的泵。存储用于使转子旋转的电气部件（103a，103b），将水冷管（104）埋设在与基座（102b）一体形成的定子柱（102a）的壁面上，供水口侧水冷管的排水口侧分支为多个部分，水冷管安装在靠近真空泵中心附近的电气部分附近。第二发明的真空泵（200,300）是通过旋转设置有旋转叶片的转子（201,301）来产生真空状态的真空泵，以吸入和排出气体。泵壳（209,309）由螺杆泵定子（208,308）支撑，水冷管被埋在定子柱（202a）的壁中。

9. 发明申请

WO2011024528A1 真空ポンプ及び真空ポンプに使用される部材审中-公开
标题翻译：真空泵和用于真空泵的成员
公开(公告)号：WO2011024528A1
公开(公告)日：2011-03-03
申请号：PCT/JP2010/059186
申请日：2010-05-31
申请人：エドワーズ株式会社 , 大立好伸 , 前島靖 , 高阿田勉 , 三輪田透
发明人：大立　好伸 , 前島　靖 , 高阿田　勉 , 三輪田　透
IPC分类号： F04D19/04
CPC分类号： F04D19/042 , F04D25/0693 , F04D27/0292 , F04D29/522 , F04D29/601
摘要：　真空ポンプの高さ寸法を小さくするなどの目的で、回転部が排気口の内側開口部を塞ぐ場合に、排気性能の低下や、回転体破壊時のガス漏れの可能性を低減し、さらにコネクタのリード線の配線を容易にした真空ポンプを提供することを目的とする。　回転体の下流空間と排気口を連通するガス排出通路の内側開口縁部を、この開口縁部にガス排出通路形成部材を上方側及び斜め上方側、又は下方側及び斜め下方側から見たときの不可視部がない形状にする。さらに、この開口縁部のスミ部をＲ形状とし、応力集中を低減する。また、ベースにリード線配線穴と中央部の穴を連通する溝を設け、さらに、これらのカドをＲ形状とする。
摘要翻译：一种真空泵，其特征在于，即使旋转部由于真空泵的高度的降低而关闭气体排出口的内部开口，也可能使气体排出性能下降，在旋转体的断裂的情况下，气体泄漏的可能性降低，并且连接器的引线的布线变得容易。用于连接气体排出口的气体排出路径和旋转体下游的空间的内侧开口边缘的形状使得当从上侧观察气体排出路径形成构件时，内部开口边缘不被视觉隐藏，倾斜上侧，或从下侧和斜下侧。开口边缘的角部是圆形的，以减少应力集中。此外，在基部设置用于连接引线布线孔和中心部分的孔的槽，并且槽的角部是圆形的。

你已经成功收藏专利！

检索式保存成功!

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式