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1. 发明申请

WO2007113325A1 MIKROMECHANISCHE GEHÄUSUNG MIT MINDESTENS ZWEI KAVITÄTEN MIT UNTERSCHIEDLICHEM INNENDRUCK UND/ODER UNTERSCHIEDLICHER GASZUSAMMENSETZUNG SOWIE VERFAHREN ZU DEREN HERSTELLUNG 审中-公开
标题翻译： MICRO机械GEHÄUSUNG有至少两个不同与内部压力和/或不同的气体成分及其制造方法孔洞
公开(公告)号：WO2007113325A1
公开(公告)日：2007-10-11
申请号：PCT/EP2007/053342
申请日：2007-04-04
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , MERZ, Peter , REINERT, Wolfgang , OLDSEN, Marten , SCHWARZELBACH, Oliver
发明人： MERZ, Peter , REINERT, Wolfgang , OLDSEN, Marten , SCHWARZELBACH, Oliver
IPC分类号： B81B7/00
CPC分类号： B81B7/0038 , B81B7/02 , B81C1/00285
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft ein Vielfach-Bauelement, vorgesehen zum späteren Vereinzeln unter Ausbildung aktive Strukturen enthaltender Bauteile, sowie ein entsprechendes, in der Mikrosystemtechnik einsetzbares Bauteil, wobei das Vielfach-Bauelement bzw. das Bauteil ein flächiges Substrat und eine ebenfalls flächig ausgebildete Kappenstruktur aufweist, die so miteinander verbunden sind, dass sie mindestens einen ersten und einen zweiten Hohlraum pro genanntem Bauteil umschließen, die gegeneinander und gegen die Außenumgebung abgedichtet sind, dadurch gekennzeichnet, dass der erste der beiden Hohlräume mit einem Gettermaterial versehen ist und aufgrund dieses Gettermaterials einen anderen Innendruck und/oder eine andere Gaszusammensetzung aufweist als der zweite Hohlraum. Die Erfindung betrifft weiterhin ein Verfahren zum Herstellen solcher Bauelemente bzw. Bauteile, für welches Gasmischungen aus verschiedenen Gasarten eingesetzt werden, die ein unterschiedliches Absorptionsverhalten gegenüber dem Gettermaterial aufweisen.
摘要翻译：本发明涉及一种多组分，提供了一种用于随后的分离，以形成含有活性结构部件，和一个相应的，在微系统技术组件可用，其中所述多组分或部件具有平的基底和类似平面结构帽结构，接合在一起，使得它们包围至少第一和每个调用的组件的第二空腔，其彼此和来自外部环境的密封，其特征在于，所述第一两个腔的设置有吸气剂材料，并且由于这个吸气另一内部压力和/或小于第二空腔的不同的气体组合物。本发明还涉及一种制造这样的装置或部件，其被用于不同类型的气体，其具有朝向所述吸气剂材料不同的吸收行为的气体混合物的方法。

2. 发明申请

WO2007113325A8 MICROMECHANICAL HOUSING COMPRISING AT LEAST TWO CAVITIES HAVING DIFFERENT INTERNAL PRESSURE AND/OR DIFFERENT GAS COMPOSITIONS AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF 审中-公开
标题翻译： MICRO机械GEHÄUSUNG有至少两个不同与内部压力和/或不同的气体成分及其制造方法孔洞
公开(公告)号：WO2007113325A8
公开(公告)日：2009-11-12
申请号：PCT/EP2007053342
申请日：2007-04-04
申请人： FRAUNHOFER GES FORSCHUNG , MERZ PETER , REINERT WOLFGANG , OLDSEN MARTEN , SCHWARZELBACH OLIVER
发明人： MERZ PETER , REINERT WOLFGANG , OLDSEN MARTEN , SCHWARZELBACH OLIVER
IPC分类号： B81B7/00
CPC分类号： B81B7/0038 , B81B7/02 , B81C1/00285
摘要： The invention relates to a multiple component which is to be subsequently individualised by forming components containing active structures, in addition to a corresponding component which can be used in microsystem technology systems. Said multiple component and/or component comprises a flat substrate and also a flat cap structure which are bound to each other such that they surround at least one first and one second cavity per component, which are sealed against each other and towards the outside. Said component is characterised in that the first of the two cavities is provided with getter material and due to said getter material has a different internal pressure and/or a different gas composition than the second cavity. The invention also relates to a method for producing said type of component and/or components for which gas mixtures of various types of gas have a different absorption ratio in relation to the getter material.
摘要翻译：本发明涉及一种多组分，提供了一种用于随后的分离，以形成含有活性结构部件，和一个相应的，在微系统技术组件可用，其中所述多组分或部件具有平的基底和类似平面结构帽结构，接合在一起，使得它们包围至少第一和每个调用的组件的第二空腔，其彼此和来自外部环境的密封，其特征在于，所述第一两个腔的设置有吸气剂材料，并且由于这个吸气另一内部压力和/或小于第二空腔的不同的气体组合物。本发明还涉及一种制造这样的装置或部件，其被用于不同类型的气体，其具有朝向所述吸气剂材料不同的吸收行为的气体混合物的方法。

3. 发明申请

WO2008043831A1 SENSOR ZUR ERFASSUNG VON BESCHLEUNIGUNGEN 审中-公开
标题翻译：传感器检测出加速度
公开(公告)号：WO2008043831A1
公开(公告)日：2008-04-17
申请号：PCT/EP2007/060873
申请日：2007-10-12
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , SENSORDYNAMICS AG ENTWICKLUNGS- UND PRODUKTIONSGESELLSCHAFT , SCHWARZELBACH, Oliver , WEISS, Manfred , KEMPE, Volker
发明人： SCHWARZELBACH, Oliver , WEISS, Manfred , KEMPE, Volker
IPC分类号： G01P15/125 , G01P15/18 , G01P15/08
CPC分类号： G01P15/125 , G01P15/0802 , G01P15/18 , G01P2015/0831
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft einen Sensor zur Erfassung einer auf den Sensor wirkenden Beschleunigung, aufweisend: ein Substrat (3), eine bei Vorliegen einer Beschleunigung als träge Masse wirkende Masseeinheit (9), eine Befestigungsstruktur (2, 1, 5), mittels der die Masseeinheit an dem Substrat angelenkt ist, wobei die Masseeinheit so an dem Substrat angelenkt ist, dass wenigstens eine Schwenkachse (y; z) definiert ist, um die die Masseeinheit aufgrund einer auf den Sensor wirkenden Beschleunigung relativ zu dem Substrat eine Rotation ausführen kann, und wobei die Masseeinheit einen von der jeweiligen Schwenkachse distanzierten Trägheitsschwerpunkt (4) aufweist, und wenigstens eine Detektionseinheit (11;15), mit der eine Lageänderung zwischen der Masseeinheit und dem Substrat erfassbar ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Detektionseinheit derart bezüglich der Masseeinheit angeordnet ist, dass eine Verformung der Masseeinheit nicht auf die Detektionseinheit übertragbar ist. Vorzugsweise sind zwei Detektionseinheiten vorhanden. Mit einer dieser Einheiten ist eine aufgrund einer in eine erste Richtung wirkende Beschleunigung des Sensors hervorgerufene Lageänderung zwischen der Masseeinheit und dem Substrat erfassbar, während mit der anderen eine aufgrund einer in eine zweite Richtung wirkenden Beschleunigung des Sensors hervorgerufene Lageänderung zwischen der Masseeinheit und dem Substrat erfassbar ist.
摘要翻译：本发明涉及一种传感器，用于检测力作用在传感器加速度，包括：衬底（3），作为惰性的质量时的加速度单位质量（9），一个固定结构（2,1，5），借助于该质量单位被铰接到所述基板，所述质量部被铰接到至少一个枢转轴线在基板（Y; Z）被定义为能够进行相对于基板旋转单位质量由于作用在传感器上的加速度力，并其中所述接地装置包括一个从重心（4）的转动惯量的相应枢转轴线间隔开，并且至少一个检测单元（11; 15）与可被检测的地面单元和基片之间的位置变化，其特征在于，检测单元被布置成相对于单位质量该质量单位的变形不被施加到检测单元I ST。优选地，设置有两个检测部。与能够检测这些单元由于在地面单元和衬底之间的传感器位置改变的第一方向上的加速度作用的力一个引起的一个，同时用另一只一个检测到的起因于在地面单元和衬底之间的传感器位置改变的第二方向上的加速度作用的力是。

4. 发明申请

WO2005098358A3 ANGULAR RATE SENSOR FEATURING MECHANICALLY DECOUPLED OSCILLATION MODES 审中-公开
标题翻译：与机械振动解耦FASHIONS旋转旋转速率传感器
公开(公告)号：WO2005098358A3
公开(公告)日：2005-12-22
申请号：PCT/EP2005003670
申请日：2005-04-07
申请人： FRAUNHOFER GES FORSCHUNG , SCHWARZELBACH OLIVER
发明人： SCHWARZELBACH OLIVER
IPC分类号： G01C19/56
CPC分类号： G01C19/5712
摘要： The invention relates to an angular rate sensor for detecting a rotation. Said sensor comprises the following components: a substrate, at least one oscillating element that can be excited so as to oscillate rotationally or radially, an anchor structure, one or several detecting elements, one or several joining elements that connect the detecting element/s to the oscillating element, a mechanism for exciting the oscillating element, and a device for detecting a radial or rotational oscillation of the detecting element/s. Each of the detecting elements can oscillate radially on the same plane on which rotational oscillation of the oscillating element occurs, or vice versa, while the centrifugal force Fz caused by the rotational oscillation can trigger substantially no radial movement of the detecting element/s or the oscillating element/s. Also disclosed are different methods for operating said sensor.
摘要翻译：本发明涉及一种横摆率传感器，用于检测旋转。该传感器包括以下部件：一个基底，可通过激励在旋转或径向振动位移的至少一个振动元件，锚结构中，一个或多个检测元件（一个或多个），一个或多个连接构件（一个或多个），这是/将所述或所述检测元件（一个或多个）连接/连接到振动元件，用于激发所述振荡元件的激振装置和检测装置，用于检测径向或的或检测元件（一个或多个）的旋转振动。每个检测元件可以是在同一平面上，其中执行振动器的旋转振动，进行径向振荡，或者反之亦然，但是由旋转振荡离心力Fz的（多个）基本上没有径向运动或检测元件或或振动元件（一个或多个）可以触发。此外，提供了用于操作传感器的各种方法。

5. 发明申请

WO2005098358A2 ROTATIONS-DREHRATENSENSOR MIT MECHANISCH ENTKOPPELTEN SCHWINGUNGSMODEN 审中-公开
标题翻译：与机械振动解耦FASHIONS旋转旋转速率传感器
公开(公告)号：WO2005098358A2
公开(公告)日：2005-10-20
申请号：PCT/EP2005/003670
申请日：2005-04-07
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FOERDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , SCHWARZELBACH, Oliver
发明人： SCHWARZELBACH, Oliver
IPC分类号： G01C19/00
CPC分类号： G01C19/5712
摘要： Die Erfindung betrifft einen Drehratensensor zur Detektion einer Drehung. Der Sensor weist die folgenden Bestandteile auf: ein Substrat, mindestens ein Schwingungselement, das durch Anregung in eine Rotations- oder Radialschwingung versetzt werden kann, eine Ankerstruktur ein oder mehrere Detektionselement(e), ein oder mehrere Verbindungselement(e), das/die das oder die Detektionselement(e) mit dem Schwingungselement verbindet/verbinden, eine Anregungseinrichtung zur Anregung des Schwingungselements und eine Erfassungseinrichtung zur Erfassung einer radialen oder rotatorischen Schwingung des oder der Detektionselemente(s). Er ist dadurch gekennzeichnet, dass jedes der Detektionselemente in derselben Ebene, in der die Rotationsschwingung des Schwingungselements erfolgt, eine Radialschwingung ausführen kann oder umgekehrt, wobei aber die durch die Rotationsschwingung Zentrifugalkraft Fz im wesentlichen keine Radialbewegung des oder der Detektionselemente(s) bzw. das oder der Schwingungselemente(s) auslösen kann. Außerdem werden verschiedene Verfahren zum Betreiben des Sensors bereitgestellt.
摘要翻译：本发明涉及一种横摆率传感器，用于检测旋转。该传感器包括以下部件：一个基底，可通过激励在旋转或径向振动位移的至少一个振动元件，锚结构中，一个或多个检测元件（一个或多个），一个或多个连接构件（一个或多个），这是/将所述或所述检测元件（一个或多个）连接/连接到振动元件，用于激发所述振荡元件的激振装置和检测装置，用于检测径向或的或检测元件（一个或多个）的旋转振动。它的特征在于，每个检测元件可以在其中进行振动部件，径向模式或反之亦然的旋转振动在同一平面中执行，而是由旋转振动的离心力Fz实质上的没有径向运动或检测元件（一个或多个）或可以触发或振动元件（一个或多个）。此外，提供了用于操作传感器的各种方法。

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