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1. 发明申请

WO1998025062A1 FLUID CONTROL VALVE AND FLUID SUPPLY/EXHAUST SYSTEM 审中-公开
标题翻译：流体控制阀和流体供应/排气系统
公开(公告)号：WO1998025062A1
公开(公告)日：1998-06-11
申请号：PCT/JP1997004377
申请日：1997-12-01
申请人： FUJIKIN INC. , TOHOKU STEEL CO., LTD. , OHMI, Tadahiro , TAKAHASHI, Migaku , YAMAJI, Michio , TANIGAWA, Takeshi , IKEDA, Shinichi , DOI, Ryosuke , NISHINO, Koji , YASUMOTO, Naofumi , FUKUDA, Hiroyuki , UNO, Tomio , YANAI, Yasuyuki
发明人： FUJIKIN INC. , TOHOKU STEEL CO., LTD.
IPC分类号： F16K31/06
CPC分类号： F16K31/082 , F16K7/14 , F16K31/0655 , F16K31/0672 , Y10T137/8242
摘要： A fluid control valve, which can control a fluid having a pressure in the order of 10 kg/cm , has a response time in the order of several milliseconds and can be made small in size, and a fluid supply/exhaust system that provides less gas counterflow in the event of a plurality of valves being used. A fluid control valve of the invention controls a fluid moving (a) in a valve body by closing and opening a portion between a valve seat and a valve holder by means of a drive unit. The drive unit comprises a rod-shaped shaft for application of pressure through the valve seat and the valve holder, and a member (a) fixed around the rod-shaped shaft. The member (a) is made from a magnetic material, and has a space between it and the shaft. A coil provided in parallel to the shaft moves the member (a) up and down by electromagnetic induction, and makes use of a spring force to close and open a portion between the valve seat and the valve holder.
摘要翻译：可以控制具有10kg / cm 2量级的压力的流体的流体控制阀具有大约数毫秒的响应时间并且可以使其尺寸变小，并且流体供应/排出系统在使用多个阀的情况下提供较少的气体逆流。本发明的流体控制阀通过驱动单元闭合和打开阀座与阀座之间的部分来控制阀体中的流体移动（a）。驱动单元包括用于通过阀座和阀保持器施加压力的杆状轴和围绕杆状轴固定的构件（a）。构件（a）由磁性材料制成，并且在其与轴之间具有空间。平行于轴设置的线圈通过电磁感应使构件（a）上下移动，并利用弹簧力来封闭并打开阀座与阀座之间的部分。

2. 发明专利

JP2017089837A ダイヤフラムバルブおよびその製造方法审中-公开
公开(公告)号：JP2017089837A
公开(公告)日：2017-05-25
申请号：JP2015223506
申请日：2015-11-13
申请人：株式会社フジキン , Fujikin Inc
发明人： INADA TOSHIYUKI , SHINOHARA TSUTOMU
IPC分类号： F16K1/46 , F16K7/12 , F16K27/00
摘要：【課題】バルブシートがバルブボディへより確実に固定されたダイヤフラムバルブおよびその製造方法を提供する。【解決手段】バルブボディ10は、ダイヤフラム80をバルブシート70に対して当接離隔可能に支持し、シート装着溝30の対向する2つの側壁面31,32の一方の側壁面31の少なくとも一部を画定するとともにシート装着溝30側へ向けた塑性変形によりバルブシート70をシート装着溝30に固定するかしめ部15と、シート装着溝30の他方の側壁面32の側に周方向に延在する凹部35と、を有し、凹部35は、かしめ部15の塑性変形により、他方の側壁面32側に向けて変形したバルブシート70の変形部75aを受容してバルブシート70がシート装着溝30から脱落するのを防ぐように作用する。【選択図】図2

3. 发明专利

JP2015048862A ダイヤフラム弁审中-公开
标题翻译：透膜阀
公开(公告)号：JP2015048862A
公开(公告)日：2015-03-16
申请号：JP2013178849
申请日：2013-08-30
申请人：株式会社フジキン , Fujikin Inc
发明人： SATO HIDENOBU , YOMO IZURU , INADA TOSHIYUKI , WATANABE KAZUNARI
IPC分类号： F16K7/14 , F16K1/00 , F16K1/34 , F16K1/38
摘要：【課題】かしめが不要で、しかも、パーティクルの発生を抑えたダイヤフラム弁を提供する。【解決手段】上方に向かって開口した凹所2cおよび凹所の底壁に開口する流体流入通路2aを有しているブロック状ボディ2と、ボディの凹所の周壁との間に間隙を有するように配されて、流体流入通路の開口を閉鎖する下方位置と流体流入通路の開口を開放する上方位置とに移動可能な弁体4と、弁体の上面に当接するダイヤフラム6と、ダイヤフラムの中央部を押さえるダイヤフラム押さえ8と、ダイヤフラム押さえを上下移動させる上下移動手段7とを備えているダイヤフラム弁1において、弁体を付勢するプレートスプリング5をさらに備えており、弁体に、プレートスプリングの中央に設けられた貫通孔が嵌め合わされており、プレートスプリングの外周縁部32がボディに支持されている。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种隔离堵塞的隔膜阀，并抑制颗粒的产生。解决方案：隔膜阀1包括：具有向上打开的凹部2c的块状体2和流体流动在通道2a中，该通道2a在凹槽的底壁处开口; 阀元件4，其在主体2的凹部的周壁与其本身之间具有间隙的同时被布置，并且可以移动到下部位置，在该下部位置，流体流入通道的开口关闭，下部位置处于打开流体流入通道的开口; 隔膜6，其邻接阀元件的上表面; 按压隔膜的中心的隔膜按压器8; 以及垂直移动隔膜压板的垂直移动装置7。隔膜阀还包括对阀元件通电的板簧5，形成在板簧中心的贯通孔装配到阀元件中，板簧的外周部32由主体2支撑。

4. 发明专利

JP2015031544A インライン型濃度計及び濃度検出方法有权
标题翻译：在线式浓度计和浓度检测方法
公开(公告)号：JP2015031544A
公开(公告)日：2015-02-16
申请号：JP2013159836
申请日：2013-07-31
申请人：国立大学法人徳島大学 , Univ Of Tokushima , 株式会社フジキン , Fujikin Inc
发明人： DEGUCHI YOSHIHIRO , NAGASE MASAAKI , IKEDA NOBUKAZU , YAMAJI MICHIO
IPC分类号： G01N21/33
CPC分类号： G01N21/5907 , G01N21/33 , G01N2021/3148 , G01N2021/5969 , G01N2021/8411 , G01N2021/8578 , G01N2201/0627 , G01N2201/0691
摘要：【課題】有機原料流体の供給系等で使用する濃度計の構造の簡素化、小型化、製品コストの引下げを図り、高精度、高感度で且つ再現性の高い濃度測定が出来る濃度計を提供する。【解決手段】位相差を有する少なくとも二つの波長の光を発する光源部と,光源部からの光を検出器本体の流体通路内へ入射する光入射部及び流体通路内を透過した光を受光する少なくとも二つの光検出部を備えた検出部と,検出部からの少なくとも二つの波長の検出信号を夫々周波数解析すると共に、前記各検出信号の少なくとも三つの周波数域での吸光度に対応する強度を演算し、当該各検出信号の少なくとも三つの周波数域での吸光度強度から流体通路内の流体濃度を演算する演算処理部と,演算処理部での流体濃度の演算値を記録及び又は表示する記録表示部と,から構成する。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：为了提供用于有机材料流体等的进料管线的浓度计，该仪表允许结构简化，精简和产品成本降低，同时实现高精度，高灵敏度和高再现性。解决方案：浓度计包括：发射相位不同的至少两个波长的光线的光源单元; 检测单元，其具有入射光接收器，用于将来自所述光源单元的光线入射到检测器主体的流体通道中;以及至少两个光检测器，用于接收在所述流体通道中传输的光线; 对来自检测单元的至少两个波长的检测信号进行频率分析的算术处理器，计算出至少三个以上频率范围内的每个检测信号的吸光度的强度，并计算流体通道中的流体浓度从所述至少三个以上频率范围内的各检测信号的吸光度强度; 以及记录/显示单元，其记录和/或显示由所述算术处理器计算出的所述流体浓度的值。

5. 发明专利

JP2015010623A 流体制御装置用継手および流体制御装置有权
标题翻译：用于流体控制装置的接头和流体控制装置
公开(公告)号：JP2015010623A
公开(公告)日：2015-01-19
申请号：JP2013134447
申请日：2013-06-27
申请人：株式会社フジキン , Fujikin Inc
发明人： YOKO TAKASHI , MATSUDA TAKAHIRO , YOMO IZURU , NOJIMA SHINYA
IPC分类号： F16K27/00 , F17D1/00
CPC分类号： F16K27/003 , C23C16/45561 , F16L39/06 , F16L41/03 , Y10T137/87684
摘要：【課題】複数のラインからの流体の取出しの自由度を向上させることができる流体制御装置用継手およびこの継手を備えた流体制御装置を提供する。【解決手段】流体制御装置における出口側開閉弁支持構造10は、各ラインごとに上段に配置されている出口側開閉弁7と、各ラインごとに下段に配置されている単列用継手11と、全てのラインにわたって下段に配置されている複列用継手12と、出口側開閉弁7と単列用継手11および複列用継手12との間に配置された流体取出し用継手21とを備えている。流体取出し用継手21は、一端が単列用継手11の出口通路11bに連通し、他端が出口側開閉弁7の入口通路7aに連通する入口通路23と、一端が出口側開閉弁7の出口通路7bに連通し、他端がライン方向出口側の側面22aに開口する出口通路23と、複列用継手12の分岐通路12bの開口を閉鎖する閉鎖部26とを有している。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种流体控制装置的接头，其中可以提高从多条管线移除流体的自由度，并为流体控制装置提供接头。解决方案：流体控制装置中的截止阀支撑结构10包括：排出侧开关阀7，每一排设置在上段上; 每一行设置在下级中的单排用接头11; 在所有线路中设置在下级的多行的接头12; 以及用于除去设置在出口侧开关阀7中的流体的接头21，用于单排的接头11和用于多排的接头12。用于除去流体的接头21具有：入口通道23，其一端与用于单列的接头11的出口通道11b连通，另一端与出口侧开关的入口通道7a连通阀门7; 出口通道23，其一端与出口侧开关阀7的出口通道7b连通，另一端在行方向出口侧的侧面22a上开口; 以及用于封闭多列的接头12的分支通道12b的开口的闭合部26。

6. 发明专利

JP2015010621A リークポートを備えたクランプ及び該クランプを備えた継手及びバルブ审中-公开
标题翻译：夹钳与泄漏口和接头和阀门夹
公开(公告)号：JP2015010621A
公开(公告)日：2015-01-19
申请号：JP2013134235
申请日：2013-06-26
申请人：株式会社フジキン , Fujikin Inc
发明人： TANNO RYUTARO , YOMO IZURU , YOSHIDA MASATO , SATO HIDENOBU
IPC分类号： F16L23/04 , F16B2/10 , F16L23/16 , G01M3/04
摘要：【課題】全周において漏洩検査をする必要がなく1ヶ所のみの検査でリークを確実に検出することができるクランプ及び該クランプを備えた継手及びバルブを提供する。【解決手段】円周の一部が開放可能に形成された輪状部材からなり、該輪状部材の内径部に周方向に沿って形成された凹部を備えるクランプ本体と、円環状で内周面に凹溝を有するとともに前記凹溝が半径方向内側に向くように前記クランプ本体の前記凹部に配された樹脂部材と、を備え、前記樹脂部材は、円周の一部に内周側から外周側にかけて流路が形成されており、前記クランプ本体は、前記流路に対応する位置に該クランプ本体の内周面と外周面を貫通する貫通穴からなるリークポートを備えることを特徴とするクランプとする。【選択図】図6
摘要翻译：要解决的问题：提供一种不需要在整个圆周进行泄漏测试的夹具，并且仅通过一个位置测试能够可靠地检测泄漏，并且提供具有夹具的接头和阀。解决方案：A 夹具包括：夹具，其包括环形构件，所述环形构件具有可开启地形成的圆周部分，并且包括沿环形构件形成在所述环形构件的内径部分中的凹部; 以及树脂部件，其在具有环状的内周面具有凹槽，并且具有设置在所述夹具主体的凹部中的凹槽，以便面向径向向内。树脂构件由在周向部分的内周侧到外周侧的流动路径形成。夹具主体包括泄漏口，该泄漏口包括在与流路对应的位置贯穿内周面和夹紧体的外周面的通孔。

7. 发明专利

JP2014219294A 脆性破壊性板材の固定構造及びこれを用いた脆性破壊性板材から成る光透過窓板の固定方法有权
标题翻译：适用于脆性破碎板的固定结构和使用其的脆性破坏板组成的轻型传动窗板的固定方法
公开(公告)号：JP2014219294A
公开(公告)日：2014-11-20
申请号：JP2013099126
申请日：2013-05-09
申请人：株式会社フジキン , Fujikin Inc
发明人： NAGASE MASAAKI , DOI RYOSUKE , IKEDA SHINICHI , NISHINO KOJI , YAMAJI MICHIO , YAKUSHIJIN TADAYUKI
IPC分类号： G01N21/01 , G01N21/27 , G01N21/33
CPC分类号： G01J1/0403 , G01J1/0407 , G01J1/42 , G01J3/0205 , G01J5/0014 , G01J5/0875 , G01N21/0303 , G01N21/05 , G01N21/33 , G02B1/02 , G02B7/007 , G02B27/022 , G02B27/028
摘要：【課題】有機原料流体の供給系等で使用する濃度計の構造の簡素化、小型化、製品コストの引下げを図り、光透過窓の透明度を一定に保って安定した濃度測定が出来ると共に、気密密性能や耐パーティクル性を高めた濃度計を提供する。【解決手段】検出器の本体2と、検出器の本体の上面に設けた光発信部5a及び検出器の本体の下面に設けた光検出部5bとから成る光分析式原料流量濃度検出器において、検出器本体2の上面及び下面に設けた流体通路2bにより連通された凹部17と、当該凹部17内に装着したガスケット型シール6と、ガスケット型シール6と対向して配置され、サファイア製光透過板11aを挟着して気密に嵌合固定した第一固定フランジ14及び第二固定フランジ16と、第二固定フランジ16内に設けた光ファイバ9及びフォトダイオード10と、前記嵌合固定した両固定フランジ14、16をガスケット型シール6を介して検出器本体2の凹部17内へ気密に固定する保持固定体12とから構成する。【選択図】図1
摘要翻译：要解决的问题：提供一种用于有机原料流体等的供给系统中的密度计，其能够简化结构，缩小尺寸，降低制造成本，稳定地测量透光窗的透明度的密度保持恒定，并且提高气密性能和颗粒电阻。解决方案：光催化原料流量密度检测器由检测器的主体2组成; 设置在检测器的主体的上表面的透光部5a; 以及设置在检测器的主体的下表面上的光检测部5b。光分析原料流量密度检测器包括：设置在检测器的主体2的上表面和下表面上并通过流体路径2b彼此连通的凹部17; 安装在凹部17中的垫圈型密封件6; 第一固定凸缘14和第二固定凸缘16，该第一固定凸缘14和第二固定凸缘16相对于垫圈型密封件6夹持着由蓝宝石制成的透光板11a，彼此密封地相互固定; 光纤9和设置在第二固定凸缘16中的光电二极管10; 以及用于将两个固定凸缘14,16气密地固定在检测器的主体2的凹部17中的固定固定体12，通过垫圈型密封件6。

8. 发明专利

JP2014215782A 流量制御用の多孔型オリフィス及びこれを用いた流量制御装置有权
标题翻译：使用它的流量控制和流量控制装置的多孔分量
公开(公告)号：JP2014215782A
公开(公告)日：2014-11-17
申请号：JP2013091867
申请日：2013-04-25
申请人：株式会社フジキン , Fujikin Inc
发明人： HIRATA KAORU , HIDAKA ATSUSHI , NAGASE MASAAKI , DOI RYOSUKE , IKEDA SHINICHI , NISHINO KOJI , SUGITA KATSUYUKI , HIROSE TAKASHI
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0635 , F16L55/02718
摘要：【課題】制御流量制御用オリフィスに於いて、制御流量の増大に対応するため、オリフィス孔径を大きくすると、臨界膨張条件が成立するオリフィス上・下流の圧力比P2/P1が変動し、流量制御範囲が狭くなることを防止する。【解決手段】流量制御用オリフィスに於いて、所定流量の流体の流通に必要な一つのオリフィス孔の開口面積を分割し、前記開口面積に等しい総開口面積を有する複数個のオリフィス小孔を設けた構成とする。【選択図】図10
摘要翻译：要解决的问题：为了防止由于满足临界膨胀条件的上游/下游的压力比P / P的波动引起的流量控制范围的变窄，当孔径扩大以对应于控制的增加用于控制流量的孔口中的流量。解决方案：采用这样一种结构，在用于流量控制的孔口中，分配具有规定流量的流体循环所需的一个孔口的开口面积，并且提供了具有等于孔径面积的总开口面积的多个孔口小孔。

9. 发明专利

JP2014114463A Raw material vaporization and supply device 有权
标题翻译：原料气化和供应装置
公开(公告)号：JP2014114463A
公开(公告)日：2014-06-26
申请号：JP2012267021
申请日：2012-12-06
申请人： Fujikin Inc , 株式会社フジキン
发明人： HIDAKA ATSUSHI , NAGASE MASAAKI , YAMASHITA SATORU , NISHINO KOJI , IKEDA SHINICHI
IPC分类号： C23C16/448 , H01L21/31
CPC分类号： C23C16/4485 , C23C16/4481 , C23C16/4482 , C23C16/52 , F17C9/02 , F22B1/284 , F22B1/285
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To stably supply a raw material gas with high purity and desired concentration to a process chamber while performing flow rate control with high precision by making substantially any raw material gas into a raw material gas with desired high temperature and high vapor pressure without causing any thermal decomposition irrelevantly to whether the raw material is solid or liquid.SOLUTION: In a raw material gas supply device comprising a raw material receiving tank, a vaporizer which vaporizes a liquid pressure-fed from the liquid receiving tank, a flow rate control device which controls the flow rate of a raw material gas from the vaporizer, and a heating device which heats desired parts of the vaporizer, high-temperature and pressure type flow rate control device, and a pipeline connected thereto, respective liquid contact parts or gas contact parts of metal surfaces of any of at least the raw material receiving tank, vaporizer, flow rate control device, pipeline connecting the devices to one another, and an on/off valve interposed in the pipeline are subjected to AlOpassive-state processing, CrOpassive state processing, or FeFpassive state processing.
摘要翻译：要解决的问题：通过将基本上任何原料气体基本上成为具有期望的高温和高蒸气压的原料气体，来将高纯度和期望浓度的原料气体稳定地供应到处理室，同时以高精度进行流量控制不会对原料是固体还是液体造成任何热分解。解决方案：在原料气体供给装置中，包括原料接收罐，蒸发从液体接收罐供给的液体的蒸发器，控制装置，其控制来自蒸发器的原料气体的流量;以及加热装置，其加热蒸发器，高温和压力型流量控制装置的所需部分以及与其连接的管道，各自的液体接触部分或至少原料接收罐，蒸发器，流量控制装置，管道c中任何一个的金属表面的气体接触部分将设备彼此连接，并且插入管道中的开/关阀进行AlOpassive状态处理，CrOpassive状态处理或FeFpassive状态处理。

10. 发明专利

JP2014109340A Fluid controller 有权
标题翻译：流体控制器
公开(公告)号：JP2014109340A
公开(公告)日：2014-06-12
申请号：JP2012264800
申请日：2012-12-03
申请人： Fujikin Inc , 株式会社フジキン
发明人： NAKAHAMA TAKAYASU , SHIMOMURA YOSHINORI , OBARA TOSHIHARU
IPC分类号： F16K37/00 , F16K1/04
摘要： PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a fluid controller which allows reading of the degree of opening of a valve element without an opening indicator, can improve reading accuracy by installation of an opening display unit as necessary, and makes one kind of fluid controller changeable to one with an opening indicator or one with a lock nut.SOLUTION: The fluid controller comprises: a valve body having an inlet flow passage and an outlet flow passage; a valve element allowing or blocking flowing of fluid from the inlet flow passage to the outlet flow passage; a stem having a tip on which the valve element is provided; a handle for lifting and lowering the stem; a packing fitted around the exterior of the stem; a packing gland; and a gland nut fixed to the valve body to press the packing gland. The stem allows an aftermarket accessory component which comprises either an opening indicator for indicating the degree of opening of the valve element or a lock nut for fixing the degree of opening of the valve element to be attached between the gland nut and the handle. A height of the handle dependent on the degree of opening of the valve element remains the same when an accessory component is attached and when not attached.
摘要翻译：要解决的问题：为了提供允许读取没有开口指示器的阀元件的打开程度的流体控制器，可以根据需要安装开口显示单元来提高读取精度，并且使得一种流体控制器可变为一个具有开口指示器或具有锁定螺母的一个。解决方案：流体控制器包括：具有入口流动通道和出口流动通道的阀体; 阀元件允许或阻止流体从入口流动通道流到出口流动通道; 具有提供阀元件的尖端的杆; 用于提升和降低杆的手柄; 围绕茎的外部安装的包装; 填料压盖以及固定在阀体上以压紧填料压盖的压盖螺母。该杆允许一个售后配件部件，其包括用于指示阀元件的打开程度的打开指示器或用于固定待附接在压盖螺母和手柄之间的阀元件的打开程度的锁定螺母。取决于阀元件的打开程度的手柄的高度在附接附件和未附接时保持相同。

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