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1. 发明申请

WO2005086643A3 FLOW RESTRICTOR 审中-公开
标题翻译：流量限制器
公开(公告)号：WO2005086643A3
公开(公告)日：2006-04-27
申请号：PCT/US2005005653
申请日：2005-02-24
申请人： HORIBA STEC CO LTD , MUDD DANIEL T , WHITE WILLIAM W , MILLER VIRGINIA , DAVIS CHRISTOPHER , MIYOSHI KIMURA , YASUDA TADAHIRO
发明人： MUDD DANIEL T , WHITE WILLIAM W , MILLER VIRGINIA , DAVIS CHRISTOPHER , MIYOSHI KIMURA , YASUDA TADAHIRO
IPC分类号： G05D7/06 , F16K47/08
CPC分类号： F16K47/08
摘要： A flow restrictor with a first disk having at least one inlet and at least one outlet and a flow path and a second disk having no flow path. The first disk and the second disk being stacked together. A mass flow controller comprising with an input, an output, a flow path, a pressure transducer and the above flow restrictor.
摘要翻译：一种具有第一盘的限流器，其具有至少一个入口和至少一个出口以及流动通道和不具有流动路径的第二盘。第一个磁盘和第二个磁盘堆叠在一起。质量流量控制器，包括输入，输出，流路，压力传感器和上述限流器。

2. 发明申请

WO2005086643A2 FLOW RESTRICTOR 审中-公开
标题翻译：流量限制器
公开(公告)号：WO2005086643A2
公开(公告)日：2005-09-22
申请号：PCT/US2005/005653
申请日：2005-02-24
申请人： HORIBA STEC, CO., LTD. , MUDD, Daniel, T. , WHITE, William, W. , MILLER, Virginia , DAVIS, Christopher , MIYOSHI, Kimura , YASUDA, Tadahiro
发明人： MUDD, Daniel, T. , WHITE, William, W. , MILLER, Virginia , DAVIS, Christopher , MIYOSHI, Kimura , YASUDA, Tadahiro
IPC分类号： F16K47/08
CPC分类号： F16K47/08
摘要： A flow restrictor with a first disk having at least one inlet and at least one outlet and a flow path and a second disk having no flow path. The first disk and the second disk being stacked together. A mass flow controller comprising with an input, an output, a flow path, a pressure transducer and the above flow restrictor.
摘要翻译：一种具有第一盘的限流器，其具有至少一个入口和至少一个出口以及流动通道和不具有流动路径的第二盘。第一个磁盘和第二个磁盘堆叠在一起。质量流量控制器，包括输入，输出，流路，压力传感器和上述限流器。

3. 发明公开

KR20180068877A 유체 특성 측정 시스템, 유체 특성 측정 시스템용 프로그램이 기억된 프로그램 기억 매체, 및 유체 특성 측정 방법 审中-公开
公开(公告)号：KR20180068877A
公开(公告)日：2018-06-22
申请号：KR20170171136
申请日：2017-12-13
申请人： HORIBA STEC CO LTD
发明人： ISOBE YASUHIRO
IPC分类号： G01F25/00 , G01F1/76 , G01L7/00 , G01N1/10
CPC分类号： G01F1/56 , G01F1/76 , G01F25/00 , G01L7/00 , G01N1/10 , G01N7/00 , G05D7/06 , G05D16/20
摘要： 유체의특성인압축계수를용이하게구할수 있도록하고, ROR 시스템등에의한유량측정정밀도를비약적으로향상시킨다. 일정용량을가지는용기(1)와, 상기용기(1)에일정유량으로유체를도입가능하게접속된유량제어기(2)와, 상기용기(1) 내의압력이다른 2개의상황하에서, 상기유량제어기(2)에의해서서로동일한유량으로상기용기(1)에유체를도입했을때의, 상기용기(1) 내의압력의각 시간변화에근거하여상기유체의압력에따른압축계수를산출하는정보처리장치(5)를구비하도록했다.

4. 发明公开

KR20180068878A 정전 용량형 센서 审中-公开
公开(公告)号：KR20180068878A
公开(公告)日：2018-06-22
申请号：KR20170171137
申请日：2017-12-13
申请人： HORIBA STEC CO LTD
发明人： TAKAKURA HIROSHI
IPC分类号： G01L9/12 , G01L9/00
CPC分类号： G01L9/12 , G01L9/0072 , G01L19/069
摘要： 정전용량형센서의다이어프램에가해지는노이즈전압의영향을제거한다. 외력을받아변형되는다이어프램및 고정전극에의해형성된검출커패시터와, 당해검출커패시터와직렬로접속된고정커패시터를가지고, 이들커패시터에전압을인가하고, 상기검출커패시터에걸리는분압을검출하는것으로, 상기다이어프램이프레임에접속된정전용량형센서로서, 프레임에생기는노이즈전압을생성하는노이즈전압생성부와, 커패시터에인가되는전압에노이즈전압을더하는노이즈전압가산부와, 검출커패시터의분압으로부터더한노이즈전압을제하는노이즈전압감산부를구비한다.

5. 发明公开

KR20200130131A 흡광 분석 시스템, 흡광 분석 시스템용 프로그램 기억 매체, 흡광 분석 장치, 및 흡광도 측정 방법 审中-公开
公开(公告)号：KR20200130131A
公开(公告)日：2020-11-18
申请号：KR20200051309
申请日：2020-04-28
申请人： HORIBA STEC CO LTD
发明人： SHIMIZU TORU , SAKAGUCHI YUHEI , MINAMI MASAKAZU
IPC分类号： G01N21/35
摘要： 가스를투과한광의강도를검출하는검출기와, 상기가스의전압을측정하는전압센서와, 상기가스중에측정대상가스와함께포함되는간섭가스의분압과흡광도의관계를나타내는간섭가스분압-흡광도관계데이터를기억하는간섭가스분압-흡광도관계기억부와, 상기전압센서로측정된전압에기초하여, 상기간섭가스의분압을추정하는간섭가스분압추정부와, 상기간섭가스분압추정부에서추정된간섭가스추정분압을, 상기간섭가스분압-흡광도관계데이터에기초하여상기간섭가스의흡광도로변환하는간섭가스흡광도변환부와, 상기검출기의출력값과상기간섭가스흡광도변환부에서변환된간섭가스흡광도에기초하여, 상기측정대상가스의흡광도를산출하는측정대상가스흡광도산출부를구비한다.

6. 发明公开

KR20180054464A 유체 기기 审中-公开
公开(公告)号：KR20180054464A
公开(公告)日：2018-05-24
申请号：KR20170149003
申请日：2017-11-09
申请人： HORIBA STEC CO LTD
发明人： MIYAMOTO HIDEAKI , INOUE MASAKI , NISHIKAWA ICHIRO , HAMADA MASASHI , HATAITA TAKEHISA , KISHIDA SOTARO , YADA HIDETAKA
IPC分类号： G01L19/06 , G01F1/34
CPC分类号： G01L19/0609 , G01L19/0038 , G01L19/146
摘要： 유체의열팽창등에의해서압력센서에가해지는과도한압력을저감한다. 유체가흐르는내부유로(R1)가형성된보디유닛(2)과, 보디유닛(2)에마련되어, 내부유로(R1)의압력을검지하는압력센서(3)와, 보디유닛(2)에마련되어, 유체의압력변동을흡수하는변동흡수부(5)를구비한다.

7. 发明公开

KR20200140706A 유체 제어 밸브, 유량 제어 장치, 및 구동 회로 审中-公开
公开(公告)号：KR20200140706A
公开(公告)日：2020-12-16
申请号：KR20200061102
申请日：2020-05-21
申请人： HORIBA STEC CO LTD
发明人： RANSDELL JEFFREY , TOKUNAGA KAZUYA
IPC分类号： F16K31/00 , F16K31/02 , F16K31/12 , F16K37/00
摘要： 피에조액추에이터로부터전하를방전시켜수축될때의발열을억제하고, 피에조액추에이터를구동하는데필요한에너지를저감시킬수 있는유체제어밸브를제공하기위해서, 피에조액추에이터(31)와, 상기피에조액추에이터(31)에접속되는구동회로(32)를구비한유체제어밸브(3)로서, 상기구동회로(32)가직류전원 DV와접속된 1차측코일(51)과, 상기피에조액추에이터(31)와접속된 2차측코일(52)을구비하는플라이백 트랜스(5)와, 상기 1차측코일(51)에접속되고, 상기피에조액추에이터(31)의충전시에온에서오프로전환되는충전스위치(61)와, 상기 2차측코일(52)에접속되고, 상기피에조액추에이터(31)의방전시에오프에서온으로전환되는방전스위치(62)와, 상기 1차측코일(51)과접속되고, 상기피에조액추에이터(31)의방전에의한전기에너지가회생되는회생용콘덴서(71)를구비했다.

8. 发明公开

KR20200125427A 흡광 분석 장치, 및 흡광 분석 장치용 프로그램이 기록된 프로그램 기록 매체 审中-公开
公开(公告)号：KR20200125427A
公开(公告)日：2020-11-04
申请号：KR20200032686
申请日：2020-03-17
申请人： HORIBA STEC CO LTD
发明人： SHIMIZU TORU , SAKAGUCHI YUHEI , MINAMI MASAKAZU
IPC分类号： G01N21/31 , G01N21/59 , G01N33/00
摘要： 흡광분석장치에있어서, 검출기의측정영역에간섭가스가존재하고있더라도, 제로교정할수 있도록하기위해서, 가스를투과한광의강도를검출하는검출기와, 상기가스의전압을측정하는전압센서와, 상기검출기의출력치와미리설정된제로기준치에기초하여흡광도를산출하는흡광도산출부와, 제로교정시에상기검출기의측정영역에존재하는간섭가스의분압과상기흡광도산출부에서산출되는흡광도의관계를나타내는분압-흡광도관계데이터를기억하는분압-흡광도관계기억부와, 상기측정영역에이미알고있는농도의상기간섭가스가존재하는기지농도상태에있어서, 상기전압센서로측정된전압과상기농도에기초하여, 상기간섭가스의분압인간섭가스분압을산출하는분압산출부와, 상기간섭가스분압과상기분압-흡광도관계데이터에기초하여, 상기간섭가스의흡광도인간섭가스흡광도를추정하는흡광도추정부와, 상기간섭가스흡광도와상기기지농도상태에있어서의상기검출기의출력치에기초하여, 상기제로기준치를갱신하는제로교정을행하는교정부를구비했다.

9. 发明专利

TW202030357A 氣化裝置、成膜裝置、程序記錄介質及濃度控制方法审中-公开
简体标题：气化设备、成膜设备、进程记录介质及浓度控制方法
公开(公告)号：TW202030357A
公开(公告)日：2020-08-16
申请号：TW109104112
申请日：2020-02-10
申请人：日商堀場STEC股份有限公司 , HORIBA STEC, CO., LTD.
发明人：志水徹 , SHIMIZU, TORU , 南雅和 , MINAMI, MASAKAZU
IPC分类号： C23C16/448 , C23C16/52 , G05D21/02 , G05D7/06 , H01L21/02
摘要：本發明提供氣化裝置、成膜裝置、程序記錄介質及濃度控制方法，其中在氣化裝置中的濃度控制機構具備：濃度計算部，基於來自濃度監測器的輸出信號計算材料氣體的實際濃度；濃度控制部，在供給材料氣體的供給期間，進行以使構成濃度控制機構的流體控制設備的控制值成為預先設定的初始設定值的方式進行控制的第一控制後，進行以通過控制流體控制設備而使實際濃度接近預先設定的目標值的方式進行反饋控制的第二控制；及控制切換部，基於濃度控制部開始第一控制後的實際濃度的經時變化，將濃度控制部的控制狀態從第一控制切換到第二控制。
简体摘要：本发明提供气化设备、成膜设备、进程记录介质及浓度控制方法，其中在气化设备中的浓度控制机构具备：浓度计算部，基于来自浓度监测器的输出信号计算材料气体的实际浓度；浓度控制部，在供给材料气体的供给期间，进行以使构成浓度控制机构的流体控制设备的控制值成为预先设置的初始设置值的方式进行控制的第一控制后，进行以通过控制流体控制设备而使实际浓度接近预先设置的目标值的方式进行反馈控制的第二控制；及控制切换部，基于浓度控制部开始第一控制后的实际浓度的经时变化，将浓度控制部的控制状态从第一控制切换到第二控制。

10. 发明专利

TW201910955A 流量控制裝置、流量控制方法和程式存儲介質审中-公开
简体标题：流量控制设备、流量控制方法和进程存储介质
公开(公告)号：TW201910955A
公开(公告)日：2019-03-16
申请号：TW107125734
申请日：2018-07-25
申请人：日商堀場STEC股份有限公司 , HORIBA STEC, CO., LTD.
发明人：安田忠弘 , YASUDA, TADAHIRO , 懷特比爾 , WHITE, BILL , 洛厄裏帕特裏克 , LOWERY, PATRICK , 岡德拉赫麥斯米蘭 , GUNDLACH, MAXIMILIAN , 歐文斯瑞安 , OWENS, RYAN
IPC分类号： G05D7/06
摘要：本發明提供流量控制裝置、流量控制方法和程式存儲介質，以比以往小的時間延遲得到作為控制點的閥中的實際流量，使測定點與控制點一致而大幅提高回應速度。流量控制裝置包括：流體阻力件，設置於流路；下游側閥，設置在流體阻力件的下游側；下游側壓力感測器，測定流體阻力件與下游側閥之間流路的容積部中的壓力；第一流量算出部，計算流過流體阻力件的第一流量；第二流量算出部，基於第一流量和由下游側壓力感測器測定的下游側壓力的時間變化量，計算出從下游側閥流出的第二流量；以及流量控制部，基於設定流量和第二流量來控制下游側閥。
简体摘要：本发明提供流量控制设备、流量控制方法和进程存储介质，以比以往小的时间延迟得到作为控制点的阀中的实际流量，使测定点与控制点一致而大幅提高回应速度。流量控制设备包括：流体阻力件，设置于流路；下游侧阀，设置在流体阻力件的下游侧；下游侧压力传感器，测定流体阻力件与下游侧阀之间流路的容积部中的压力；第一流量算出部，计算流过流体阻力件的第一流量；第二流量算出部，基于第一流量和由下游侧压力传感器测定的下游侧压力的时间变化量，计算出从下游侧阀流出的第二流量；以及流量控制部，基于设置流量和第二流量来控制下游侧阀。

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