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1. 发明公开

KR20180054464A 유체 기기 审中-公开
公开(公告)号：KR20180054464A
公开(公告)日：2018-05-24
申请号：KR20170149003
申请日：2017-11-09
申请人： HORIBA STEC CO LTD
发明人： MIYAMOTO HIDEAKI , INOUE MASAKI , NISHIKAWA ICHIRO , HAMADA MASASHI , HATAITA TAKEHISA , KISHIDA SOTARO , YADA HIDETAKA
IPC分类号： G01L19/06 , G01F1/34
CPC分类号： G01L19/0609 , G01L19/0038 , G01L19/146
摘要： 유체의열팽창등에의해서압력센서에가해지는과도한압력을저감한다. 유체가흐르는내부유로(R1)가형성된보디유닛(2)과, 보디유닛(2)에마련되어, 내부유로(R1)의압력을검지하는압력센서(3)와, 보디유닛(2)에마련되어, 유체의압력변동을흡수하는변동흡수부(5)를구비한다.

2. 发明专利

DE102009051285A1 Vorrichtung zum Steuern der Konzentration eines Materialgases 未知
公开(公告)号：DE102009051285A1
公开(公告)日：2010-09-02
申请号：DE102009051285
申请日：2009-10-29
申请人： HORIBA LTD , HORIBA STEC CO LTD
发明人： MINAMI MASAKAZU , HAYASHI DAISUKE , SAKAGUCHI YUHEI , NISHIMURA KATSUMI , INOUE MASAKI , TAKIJIRI KOTARO
IPC分类号： G01L11/00 , G05D11/02
摘要： Materialgaskonzentrationssteuersystem (100) zum Konstanthalten einer Konzentration eines Materialgases und eines Mischgases selbst dann, wenn der Partialdruck des Materialgases fluktuiert, welches ein gutes Ansprechverhalten aufweist. Das Materialgaskonzentrationssteuersystem (100) wird bei einem Materialverdampfungssystem (1) verwendet mit einem Behälter (13) zum Aufnehmen eines Materials (L), einer Einlassleitung (11) zum Eingeben eines Trägergases zum Verdampfen des im Behälter (14) aufgenommenen Materials und mit einer Auslassleitung (12) zum Ausgeben des Mischgases, welches besteht aus dem Materialgas, welches im Behälter (13) verdampft wurde und dem Trägergas, wobei des Weiteren ein erstes Ventil (23) in der Einlassleitung (11), ein Konzentrationsmessabschnitt (CS) zum Messen der Konzentration des Materialgases im Mischgas und ein Konzentrationssteuerabschnitt (CC) zum Steuern eines Öffnungsgrads des ersten Ventils (23) vorgesehen sind zum Bewirken, dass die gemessene Konzentration des Materialgases, die gemessen wurde vom Konzentrationsmessabschnitt (CS) den Wert einer vorab bestimmten Einstellkonzentration annimmt.

3. 发明专利

DE102009051284A1 未知
公开(公告)号：DE102009051284A1
公开(公告)日：2010-06-02
申请号：DE102009051284
申请日：2009-10-29
申请人： HORIBA LTD , HORIBA STEC CO LTD
发明人： MINAMI MASAKAZU , INOUE MASAKI
IPC分类号： G05D11/02 , G01L11/00
摘要： An object of this invention is to provide a responsive material gas concentration control system that can be mounted on a bubbling system and that can control a concentration of a material gas in a mixed gas at a constant value even though a partial pressure of the material gas fluctuates. The material gas concentration control system is used for a material evaporation system, and comprises a body that is connected to an outlet line and that has an internal flow channel for flowing the mixed gas, a concentration measuring part that measures the concentration of the material gas in the mixed gas, and a first valve that is arranged downstream of the concentration measuring part and that adjusts the measured concentration measured by the concentration measuring part at a previously determined set concentration, wherein the concentration measuring part and the first valve are mounted on the body.

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