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热词
    • 61. 发明授权
    • 반도체 소자의 패턴 형성 방법
    • 半导体装置的图案形成方法
    • KR101566405B1
    • 2015-11-05
    • KR1020090001245
    • 2009-01-07
    • 삼성전자주식회사
    • 김봉철이대엽조상연구자민손병환
    • H01L21/027
    • H01L21/3086H01L21/0337H01L21/32139H01L27/11521
    • 다양한폭을가지는패턴들을동시에형성하면서일부영역에서는더블패터닝기술에의해패턴밀도를배가시키는반도체소자의패턴형성방법에관하여개시한다. 본발명에따른반도체소자의패턴형성방법에서는기판상에서로다른폭을가지는제1 몰드마스크패턴및 제2 몰드마스크패턴을형성한다. 제1 몰드마스크패턴의양 측벽을덮는한 쌍의제1 스페이서와, 제2 몰드마스크패턴의양 측벽을덮는한 쌍의제2 스페이서를형성한다. 제1 몰드마스크패턴및 제2 몰드마스크패턴을제거하고, 제2 스페이서를덮는광폭마스크패턴을형성한다. 제1 스페이서및 제2 스페이서와광폭마스크패턴을식각마스크로이용하여하부막을식각한다.
    • 中,形成在某些区域的同时具有不同宽度的图案开始相对于一个半导体装置的用于通过双重图案化技术的密度图案加倍的图案形成方法。 在根据本发明的半导体器件的图案形成方法,以形成第一模具和具有不同宽度的基板上形成掩模图案的第二模具掩模图案。 覆盖第一模型掩模图案的两个侧壁的一对第一间隔件和覆盖第二模型掩模图案的两个侧壁的一对第二间隔件。 去除第一模型掩模图案和第二模型掩模图案,并形成覆盖第二间隔物的宽掩模图案。 并且使用第一和第二隔离物以及宽掩模图案作为蚀刻掩模来蚀刻下部膜。
    • 68. 发明公开
    • 오버레이 마크 및 이를 이용한 중첩 패턴들의 오버레이계측 방법
    • OVERLAY标记和测量覆盖图案叠加的方法
    • KR1020100009207A
    • 2010-01-27
    • KR1020080069976
    • 2008-07-18
    • 삼성전자주식회사
    • 김은성오석환김봉철김형국우상윤
    • H01L21/027
    • G03F7/70633G03F9/7076H01L23/544H01L2223/54426
    • PURPOSE: An overlay mark and an overlay measuring method for overlapped patterns are provided to accurately measure the overlay of the overlapped patterns by arranging overlay structures in two directions corresponding to two polarities of a dipole illumination system. CONSTITUTION: A first overlay structure water(100) has first overlay patterns(112,122,132,142) arranged in a first direction. A second overlay structure water(200) has second overlay patterns(212,222,232,242) arranged in a second direction perpendicular to the first direction. The first overlay structure comprises first to fourth overlay arrays which are arranged in a rectangular shape. The second overlay structure comprises fifth to eighth overlay arrays arranged in a rectangular shape.
    • 目的:提供重叠图案的重叠标记和重叠测量方法,以通过在偶极照明系统的两个极性对应的两个方向上布置重叠结构来精确测量重叠图案的叠加。 构成:第一覆盖结构水(100)具有沿第一方向布置的第一覆盖图案(112,122,132,142)。 第二覆盖结构水(200)具有沿垂直于第一方向的第二方向排列的第二覆盖图案(212,222,232,242)。 第一覆盖结构包括以矩形排列的第一至第四叠层阵列。 第二重叠结构包括排列成矩形形状的第五至第八重叠阵列。
    • 70. 发明授权
    • 멀티캐스트 패킷 포워딩 장치 및 그 방법
    • 组播报文转发设备及其方法
    • KR100582732B1
    • 2006-05-22
    • KR1020050008783
    • 2005-01-31
    • 삼성전자주식회사
    • 김봉철강병창박용석
    • H04L12/18H04L12/863H04L12/851
    • 본 발명은 멀티캐스트 패킷 처리부의 내부 처리부를 포워딩부와 패킷 복사부로 이원화함으로써, 포워딩 및 패킷 송신부의 처리 시간의 지연을 최소화하기 위한 멀티캐스트 패킷 포워딩 장치 및 그 방법에 관한 것으로서, 유니캐스트 패킷 또는 멀티캐스트 패킷을 수신하는 패킷 수신부; 상기 패킷 수신부로 수신된 패킷이 유니캐스트 패킷인 경우, 유니캐스트 패킷을 최종 목적지로 포워딩하는 유니캐스트 포워더와, 멀티캐스트 패킷인 경우 패킷을 각 출력 인터페이스로 멀티캐스팅하는 멀티캐스트 포워더를 구비하는 포워딩부; 상기 멀티캐스트 포워더로부터 출력되는 멀티캐스트 패킷을 필요한 수만큼 복사하여 유니캐스트 패킷화하는 패킷 복사부; 상기 패킷 복사부에 의해 유니캐스트화된 패킷을 상기 포워딩부로 재진입시키는 패킷 분배부; 및 상기 포워딩부를 통해 출력되는 패킷과, 복사된 패킷을 스케쥴링 정책에 따라 포트 스케쥴링을 하여 디큐잉하는 스케쥴러를 포함한다.
      멀티캐스트, IPv6, OIF, 터널, 포워딩, 패킷 복사
    • 本发明涉及一种多播分组转发设备和用于通过组播数据包处理单元复制部分前部的双重内部处理和分组转发和分组传输,单播分组还是多最小化处理时间延迟的方法 分组接收单元,用于接收演员分组; 如果该数据包是用于转发多播分组到最终目的地接收单元,统一的单播转发器接收到的单播分组,则分组如果多播分组转发包括用于将所述多播数据包到每个输出接口单元的组播转发 。 包复制单元,用于复制从组播转发器输出的所需数量的组播包并单播包; 分组分发单元,用于将由分组复制单元单播的分组重新输入到转发单元中; 调度器,被配置为根据调度策略将通过转发单元输出的分组和端口调度去队列。