基本信息:
- 专利标题: 반도체 웨이퍼 이송용 캐리어 박스
- 专利标题(英):Carrier box of semiconductor wafer
- 专利标题(中):半导体波导载体盒
- 申请号:KR2019960024581 申请日:1996-08-16
- 公开(公告)号:KR200165370Y1 公开(公告)日:2000-01-15
- 发明人: 김광식 , 최상봉
- 申请人: 삼성전자주식회사
- 申请人地址: ***, Samsung-ro, Yeongtong-gu, Suwon-si, Gyeonggi-do, Republic of Korea
- 专利权人: 삼성전자주식회사
- 当前专利权人: 삼성전자주식회사
- 当前专利权人地址: ***, Samsung-ro, Yeongtong-gu, Suwon-si, Gyeonggi-do, Republic of Korea
- 代理人: 박만순; 신동준
- 主分类号: H01L21/68
- IPC分类号: H01L21/68
본 고안은 상측 뚜껑과 하측 용기가 회전축을 중심으로 힌지 결합되어 회전식으로 개폐되고, 상기 뚜껑과 상기 용기 사이의 공간에 다수개의 웨이퍼를 담은 캐리어를 수용하도록 형성된 캐리어 박스에 있어서, 상기 회전축에 힌지 결합되어 상기 뚜껑의 열림 동작시 상기 뚜껑과 연동하여 상기 캐리어의 뒤쪽 부위를 소정 각도 들어올리도록 하는 걸림부재가 부가 설치됨을 특징으로 한다.
따라서, 본 고안은 작업자가 무리한 힘을 사용하여 수직하게 들어올리지 않게 됨으로써 작업자의 부담을 줄이게 되고, 이에 따라 작업 효율이 높아지는 효과가 있다.
By receiving a carrier containing a plurality of wafers it is used to transfer to a predetermined position, to a carrier for a semiconductor wafer transfer box which allows the operator to easily remove the carriers. The present design is that the upper cap and the lower vessel is hinged about an axis of rotation and opening and closing the rotary, in the carrier box is formed to receive a carrier containing a plurality of wafers in a space between the lid and the receptacle, hinged to the rotatable shaft It is to the locking member for enabling a predetermined angle to lift the rear portion of the carrier in conjunction with the cap when the opening operation of the lid characterized by the additional installed. Thus, the subject innovation is not thereby lifting it vertically, with the operator to use excessive force and reducing the burden of the operator, so that there is an effect the working efficiency high.
公开/授权文献:
- KR2019980011089U 반도체 웨이퍼 이송용 캐리어 박스 公开/授权日:1998-05-25