基本信息:
- 专利标题： 기판 처리 장치 및 기판 이송 방법
- 专利标题（英）：Apparatus for processing substrate and method for operating the same
- 专利标题（中）：用于处理衬底的装置及其操作方法
- 申请号：KR1020110022042 申请日：2011-03-11
- 公开(公告)号：KR101288989B1 公开(公告)日：2013-08-07
- 发明人： 유정필 , 윤청룡 , 조익성
- 申请人： 에이피에스홀딩스 주식회사
- 申请人地址： **-*, Dongtansandan *-gil, Dongtan-myeon, Hwaseong-si, Gyeonggi-do
- 专利权人： 에이피에스홀딩스 주식회사
- 当前专利权人： 에이피에스홀딩스 주식회사
- 当前专利权人地址： **-*, Dongtansandan *-gil, Dongtan-myeon, Hwaseong-si, Gyeonggi-do
- 代理人： 남승희
- 优先权： KR1020100136825 2010-12-28
- 主分类号： H01L21/673
- IPC分类号： H01L21/673 ; H01L33/00 ; B65G49/06 ; H01L21/68
따라서, 본 발명의 실시예들에 의하면 점착력을 가지는 스티키 척에 기판이 척킹됨에 따라, 상기 기판이 평평한 상태로 척킹될 수 있다. 또한 실시예에 따른 캐리어는 두께가 얇은 박판형 기판이 평평한 상태를 유지하도록 척킹할 수 있다. 따라서, 두께가 얇은 박판형의 디스플레이 패널을 안정적으로 제조할 수 있다. 그리고 스티키 척을 구비하는 캐리어는 진공의 환경에서도 상기 기판을 용이하게 척킹할 수 있는 있는 장점이 있다.
By the substrate chucking unit according to the invention, the lifting or lowering by having a flat body, the sticky cheokreul installed on one side of the body, and the adsorption of the carrier substrate to the substrate chuck on the side of the sticky chuck work state, the sticky chuck aspect It mounted to a substrate in, or includes lift bar to separate the substrate from the chuck sticky.
Therefore, according to embodiments of the present invention as a substrate chuck having a sticky adhesive force chucked, the substrate can be chucked in the flat state. In addition, the carrier according to an embodiment may be to maintain a flat chucking the substrate thickness is thin, the thin plate state. Thus, the thickness can be stably produced in a thin plate of a thin display panel. And a carrier having a sticky chuck has an advantage that can be easily chucked the substrate in a vacuum environment.
公开/授权文献:
- KR1020120075314A 기판 처리 장치 및 기판 이송 방법 公开/授权日：2012-07-06