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1. 发明申请

WO2022261526A1 HYBRID GETTERING DIFFUSION PUMP 审中-公开
公开(公告)号：WO2022261526A1
公开(公告)日：2022-12-15
申请号：PCT/US2022/033172
申请日：2022-06-13
申请人： HELION ENERGY, INC. , KIRTLEY, David , PANCOTTI, Anthon , PIHL, Christopher James
发明人： KIRTLEY, David , PANCOTTI, Anthon , PIHL, Christopher James
IPC分类号： F04B37/04 , F04B37/14 , H01J41/12
摘要： A vacuum pump includes a liquid getter that is sprayed into a pump chamber. The sprayed liquid getter can chemically bind with gaseous substance in the pump chamber to create ultra-low pressure in the pump chamber and an attached vacuum chamber. The liquefied getter can be circulated and recycled in the vacuum pump.

2. 发明申请

WO2021262756A1 VACUUM CELL WITH ELECTRIC-FIELD CONTROL 审中-公开
公开(公告)号：WO2021262756A1
公开(公告)日：2021-12-30
申请号：PCT/US2021/038538
申请日：2021-06-22
申请人： COLDQUANTA, INC.
发明人： SAFFMAN, Mark , NOEL, Thomas, William , HUGHES, Steven, Michael
IPC分类号： F04B37/14 , H01J41/12 , H01J41/14 , H01J41/16 , H01J41/18 , G06N10/00 , H05H2242/00 , H05H3/04
摘要： A vacuum cell provides for electric field control within an ultra-high vacuum (UHV) for cold-neutral-atom quantum computing and other quantum applications. Electrode assemblies extend through vacuum cell walls. Prior to cell assembly, contacts are bonded to respective locations on the ambient-facing surfaces of the walls. Trenches are formed in the vacuum-facing surfaces of walls and via holes are formed, extending from trenches through the wall and into the contacts. Plating conductive material into the trenches and via holes forms the electrodes and vias. The electrodes are contained by the trenches and do not extend beyond the trenches so as to avoid interfering with the bonding of components to the vacuum-facing surfaces of the walls. The vias extend into the contacts to ensure good electrical contact. An electric-field controller applies electric potentials to the electrodes (via the contacts) to control electric fields within the vacuum.

3. 发明申请

WO0057451A3 MUFFIN TIN STYLE CATHODE ELEMENT FOR DIODE SPUTTER ION PUMP 审中-公开
标题翻译：二极管离子泵MUFFIN TIN STYLE CATHODE元件
公开(公告)号：WO0057451A3
公开(公告)日：2001-02-08
申请号：PCT/EP0002546
申请日：2000-03-17
申请人： FEI CO
发明人： MCGINN JAMES B
IPC分类号： H01J41/12 , H01J41/18 , H01J41/20
CPC分类号： H01J41/18 , H01J41/20
摘要： Diode sputter ion pumps display instabilities like current bursts, leakage currents and arcs typically following pumping exposure to gas doses greater than the ultimate pressure of the vacuum system in which the pump is operating. The instabilities are disruptive to the devices to which the sputter ion pump is attached. The invention provides an ion pump that exhibits improved stability and reduced leakage current. The instabilities are caused by explosive arc emission and electron emission from structures like dendritic protrusions that grow on the cathode plate, whose shape and placement give rise to high electric fields. According to the invention the cathode includes a sputterable material for removing gases from the environment of the ion pump and shaped so that during operation of the ion pump the electric field in a dendritic growth region is insufficient to cause field emission from the dendrites thereby reducing instabilities in the operation of the ion pump.
摘要翻译：二极管溅射离子泵显示不稳定性，如电流脉冲，漏电流和电弧，通常在泵送暴露于大于泵所在的真空系统的极限压力的气体剂量之后。不稳定性对溅射离子泵附着的装置是破坏性的。本发明提供一种表现出改进的稳定性和减小的漏电流的离子泵。不稳定性是由爆炸性电弧发射和电子发射引起的，其结构如在阴极板上生长的树突状突起，其形状和位置产生高电场。根据本发明，阴极包括用于从离子泵的环境中除去气体的可溅射材料并成形为使得在离子泵的操作期间，树枝状生长区域中的电场不足以引起来自枝晶的场发射，从而减少不稳定性在离子泵的运行中。

4. 发明申请

WO1987004005A1 HIGH VOLTAGE FEEDTHROUGH FOR ION PUMP 审中-公开
标题翻译：用于离子泵的高电压
公开(公告)号：WO1987004005A1
公开(公告)日：1987-07-02
申请号：PCT/US1986001856
申请日：1986-10-01
申请人： HUGHES AIRCRAFT COMPANY
发明人： HUGHES AIRCRAFT COMPANY , AMBOSS, Kurt
IPC分类号： H01J41/12
CPC分类号： H01J41/12 , H01B17/26
摘要： Ion pump (10) has feedthrough (33) for electrical connection to anode post (32) within the pumping chamber. Opening (36) in the pumping chamber wall receives a portion of insulator (42). The insulator (42) has a flange (48) which is of larger diameter than the opening (36) so that sputtered cathode material cannot directly deposit on the outer and upper surfaces of the flange (48).

5. 发明申请

WO2021156387A1 VIBRATION DAMPING AND RESONANCE REDUCTION FOR ION PUMP 审中-公开
公开(公告)号：WO2021156387A1
公开(公告)日：2021-08-12
申请号：PCT/EP2021/052705
申请日：2021-02-04
申请人： ASML NETHERLANDS B.V.
发明人： FU, Chenxi , DI, Long , KUINDERSMA, Lucas , TSENG, Kuo-Feng , HEMPENIUS, Peter, Paul , LIU, Yu , LUO, Ying
IPC分类号： H01J41/12 , F16L23/032
摘要： Apparatuses and systems for damping vibration of a vacuum vessel mounted with a pump include a pump body and a damping element coupled to the pump body, wherein the pump body and the damping element form a mass-based damper, and wherein the pump body forms a mass component of the mass-based damper; and the damping element forms a damping component of the mass-based damper. The apparatuses and systems also include a pump body configured to be secured to a column of a charged-particle inspection apparatus, a sensor coupled to the pump body, an actuator coupled to the pump body, and a circuitry communicatively coupled to the sensor and the actuator for receiving motion data indicative of a vibration of the column; determining a damping based on the motion data; and actuate the actuator to react to the vibration of the column in accordance with the damping.

6. 发明申请

WO2015150974A1 GETTER PUMP 审中-公开
公开(公告)号：WO2015150974A1
公开(公告)日：2015-10-08
申请号：PCT/IB2015/052174
申请日：2015-03-25
申请人： SAES GETTERS S.P.A.
发明人： BONUCCI, Antonio , MANINI, Paolo , CONTE, Andrea , VIALE, Luca
IPC分类号： F04B37/02 , F04B37/14 , H01J7/18 , H01J41/12 , H01J41/20
CPC分类号： F04B37/02 , F04B37/14 , H01J7/18 , H01J7/183 , H01J41/20
摘要： Getter pump comprising a casing(21, 21'), whose shape is a solid of revolution with a revolution axis (26), and a plurality of getter cartridges (22, 23, 24, 25) mounted within said getter pump casing(21, 21'), each cartridge (22, 23, 24, 25) comprising a linear central support (221, 231, 241, 251) and spaced getter elements mounted on said linear central support(221, 231, 241, 251), a plane orthogonal to the revolution axis (26) and intersecting the midpoint of a linear central support (221, 231, 241, 251) being defineda getter cartridge positioning plane(222, 232, 242, 252), and the angles (α, α', α", α'") formed by said positioning planes(222, 232, 242, 252) with the linear central supports (221, 231, 241, 251)being comprised between 35° and 75°.
摘要翻译：吸气泵包括安装在所述吸气泵壳体（21）内的形成为具有回转轴线（26）的旋转实心的壳体（21,21'）和多个吸气剂盒（22,23,24,25），21'），每个盒（22,23,24,25）包括安装在所述线性中心支撑件（221,231,241,251）上的线性中心支撑件（221,231,241,251）和间隔开的吸气元件，正交于旋转轴线（26）并与线性中心支撑件（221,231,241,251）的中点相交的平面被定义为吸气剂盒定位平面（222,232,242,252），角度（α，由所述定位平面（222,232,242,252）与线性中心支撑件（221,231,241,251）形成的α'，α“，α'”）在35°和75°之间。

7. 发明申请

WO2015072287A1 高電圧発生回路およびそれを用いたイオンポンプ审中-公开
标题翻译：高压发电电路和使用相同的离子泵
公开(公告)号：WO2015072287A1
公开(公告)日：2015-05-21
申请号：PCT/JP2014/077772
申请日：2014-10-20
申请人：株式会社日立ハイテクノロジーズ
发明人：利根　正純 , 渡辺　敏光 , 幕内　雅巳 , 大西　富士夫
IPC分类号： H01J41/12
CPC分类号： H01J41/18
摘要：　真空度に応じて負荷電流と印加電圧とを制御することで低消費電力化かつ小型化したイオンポンプを提供する。　トランス（１０２）１次側に直流電圧を供給する電圧供給部（１０１）と、トランス（１０２）１次側のスイッチング素子（１０４）に電圧パルスを供給するパルス供給部（１１３）と、トランス（１０２）２次側の出力電圧を検出する電圧検出部（１１７）と、トランス（１０２）２次側の負荷電流を検出する電流検出部（１０８）と、前記検出した出力電圧と、前記検出した負荷電流と、前記検出した出力電圧値と負荷電流を乗算して算出した出力電力値のうち少なくともいずれか一つに基づいて、前記パルス供給部（１１３）が出力する電圧パルスのパルス幅またはパルス周期を調整する制御部（１１２）と、を備えるイオンポンプ（２）。
摘要翻译：提供了一种离子泵，其中负载电流和施加电压根据真空度来控制，以便降低功耗并允许尺寸减小。离子泵（2）具备：向变压器（102）的初级侧供给直流电压的电压供给部（101）。用于向变压器（102）的初级侧的开关元件（104）提供电压脉冲的脉冲供给单元（113）; 电压检测单元（117），用于检测变压器（102）的二次侧的输出电压; 电流检测单元（108），用于检测变压器（102）的二次侧的负载电流; 以及控制单元（112），由此脉冲供给单元（113）传送的电压脉冲的脉冲宽度或脉冲周期根据检测到的输出电压，检测到的负载电流和通过将检测出的输出电压值和负载电流相乘而计算的输出功率值。

8. 发明申请

WO2015012671A1 СИСТЕМА УСТРОЙСТВ И ЕЕ СОСТАВЛЯЮЩИЕ 审中-公开
标题翻译：系统的设备和组件的系统
公开(公告)号：WO2015012671A1
公开(公告)日：2015-01-29
申请号：PCT/KZ2013/000018
申请日：2013-12-20
申请人： САПАРГАЛИЕВ, Алдан Асанович
发明人： САПАРГАЛИЕВ, Алдан Асанович , АХМЕТОВ, Келис Мауленулы
IPC分类号： H01F7/02 , H01J41/12
CPC分类号： H01J41/12 , H01F7/02 , H01F10/18
摘要： Настоящее изобретение относится к вакуумно-комплексной системе устройств (VCSD), включающая, требующее вакуума основное устройство (объекты и процессы, требующие вакуумную среду), вакуумосоздающую систему. Согласно изобретению вакуумный кожух выполнен в системном виде и он создает системную вакуумную камеру, которая включает: отделение основного устройства в котором расположено основное устройство; по меньшей мере, одно отделение присоединенной откачной системы, в котором расположена присоединенная откачная система (CES) вакуумосоздающей системы. CES создается в вакуумной камере основного устройств с учетом конструктивных и функциональных характеристик основного устройства, и образуют они вместе системную VCSD. Для первоначального быстрого достижения высокого вакуума в системной камере используется, совместно с CES, система внешних насосов, которая, в дальнейшем отделяется от системной VCSD через соединительный фланец, и вакуумное условие в системной VCSD поддерживает CES. Такая концепция создания VCSD имеет существенные преимущества: легко создать и поддержать в системной VCSD сверхвысокий вакуум; системная VCSD менее громоздкая, и менее массивная по сравнению с VCSD, постоянно использующей систему внешных насосов.
摘要翻译：本发明涉及一种设备（VCSD）的真空复合系统，其包括需要真空的主要装置（需要真空环境的物体和过程）和真空产生系统。根据本发明，提供了一种包括系统的真空护套，并且产生一个系统真空室，该系统真空室包括：主设备所在的主设备隔间; 以及用于连接的抽空系统（CES）的至少一个隔间，其中定位有真空创建系统的连接的抽空系统。考虑到主设备的结构和功能特性，CES是在主设备的真空室中创建的，并且它们一起构成了一个全面的VCSD。为了在系统室中达到初始高真空，外部泵系统与CES一起使用，所述系统随后通过联接凸缘与综合VCSD分离，并且保持真空条件在CES的综合VCSD中。这样的VCSD设计具有以下显着的优点：在全面的VCSD中可以容易地创建和维护超高真空; 与不断利用外部泵系统的VCSD相比，全面的VCSD不那么麻烦和庞大。

9. 发明申请

WO0143162A2 ION GETTER PUMP 审中-公开
标题翻译：离子吸
公开(公告)号：WO0143162A2
公开(公告)日：2001-06-14
申请号：PCT/EP0012176
申请日：2000-12-04
申请人： MAX PLANCK GESELLSCHAFT , LAUCHE HANS
发明人： LAUCHE HANS
IPC分类号： H01J41/16 , H01J41/12
CPC分类号： H01J41/16
摘要： The invention relates to an Ionengetterpumpe (10) comprising an electrode arrangement consisting of an anode device (20) and a cathode device (30) which are configured for producing a discharge in gas in a vacuum. The anode device (20) is formed by a cylinder-shaped anode ring (21) and the cathode device (30) comprises two cathode plates (31, 32) having a getter material that can be thermally activated. Said plates are vertically intersected by the cylinder axis of the anode ring (21) that is provided with an inordinate solid body structure on the edges (22) thereof. Said structure is produced by means of thermal treatment. The ion getter pump is characterised by high reliability and can be operated without maintenance for many years.
摘要翻译：我们将描述具有阳极（20）和阴极（30），其被设计成产生在真空气体放电的电极组件的离子吸气泵（10），所述（21）上形成阳极装置（20）由圆筒形阳极环和阴极的装置（30）具有两个阴极板（31，32）配有一个热活化吸气材料，垂直地从阳极环（21）的圆柱形轴切割，并且其中在其边缘（22）通过热处理所述阳极环（21）形成的，无序的固体结构具有。多年来离子泵的特征在于高的可靠性和免维护运行。

10. 发明申请

WO2017161142A1 lON SEPARATION MEDIA AND APPLICATIONS THEREOF 审中-公开
标题翻译：分离介质及其应用
公开(公告)号：WO2017161142A1
公开(公告)日：2017-09-21
申请号：PCT/US2017/022753
申请日：2017-03-16
申请人： WAKE FOREST UNIVERSITY
发明人： CARROLL, David, L.
IPC分类号： B01J20/02 , B01J20/28 , C02F1/46 , H01J41/12 , F04B37/02
CPC分类号： B01J20/0285 , B01J20/0218 , B01J20/28007 , B01J20/28011 , C02F1/02 , C02F1/281 , C02F1/4604 , C02F2305/08 , F04B37/02
摘要： Ion separation media are described herein employing thermoelectric materials and architectures. In some embodiments, an ion separation medium comprises a layer of inorganic nanoparticles having a Seebeck coefficient sufficient to transport ionic species in a liquid medium along surfaces of the layer in the presence of a thermal gradient.
摘要翻译：本文描述了采用热电材料和体系结构的离子分离介质。在一些实施方案中，离子分离介质包含具有塞贝克系数的无机纳米粒子层，所述无机纳米粒子层足以在存在热梯度的情况下沿着所述层的表面在液体介质中传输离子物质。

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