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    • 2. 发明申请
    • APPAREIL DE MESURE DE LA RESISTANCE ELECTRIQUE LOCALE D'UNE SURFACE
    • 测量表面局部电阻的装置
    • WO2011138738A1
    • 2011-11-10
    • PCT/IB2011/051951
    • 2011-05-03
    • CENTRE NATIONAL DE LA RECHERCHE SCIENTIFIQUEECOLE SUPERIEURE D'ELECTRICITESCHNEEGANS, OlivierCHRETIEN, PascalHOUZE, Frédéric
    • SCHNEEGANS, OlivierCHRETIEN, PascalHOUZE, Frédéric
    • G01Q60/30G01R15/08G01R27/20
    • G01R27/02B82Y35/00G01Q60/30
    • Appareil de mesure de la résistance électrique locale d'une surface, comprenant : une source de tension continue pour appliquer une tension de polarisation (Vp0i) à un échantillon (E) à caractériser; un circuit de mesure (CM), pouvant être connecté à une sonde conductrice susceptible d'entrer en contact avec une surface (SE) dudit échantillon, pour générer un signal (S) représentatif d'une résistance de contact entre ladite sonde conductrice et ladite surface de l'échantillon; et un dispositif de commande (CMD) pour piloter ledit circuit de mesure; caractérisé en ce que ledit circuit de mesure comprend : un dipôle résistif de mesure (DM) présentant une résistance variable, connecté entre ladite sonde conductrice et une masse du circuit; et une unité de calcul (UC) pour générer ledit signal représentatif d'une résistance de contact entre ladite sonde conductrice et ladite surface de l'échantillon en fonction d'une tension (V s ) aux bornes dudit dipôle résistif de mesure.
    • 用于测量表面的局部电阻的装置,包括:用于向要表征的样品(E)施加极化电压(Vp0i)的DC电压源; 测量电路(CM),其可以连接到能够与所述样品的表面(SE)接触的导电探针,以便产生代表所述导电探针之间的接触电阻的信号(S) 和所述样品的所述表面; 和用于指示所述测量电路的控制装置(CMD); 其特征在于,所述测量电路包括:连接在所述导电探针和电路接地之间的具有可变电阻的电阻测量偶极子(DM) 以及用于产生表示所述导电探针和所述样品表面之间的接触电阻的所述信号的计算单元(UC),作为所述电阻测量偶极子的所述端子两端的电压(Vs)的函数。