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    • 1. 发明申请
    • ガラス基板積層装置及び積層ガラス基板の製造方法
    • 玻璃基板层叠装置及其制造层压玻璃基板的方法
    • WO2010047273A1
    • 2010-04-29
    • PCT/JP2009/067870
    • 2009-10-15
    • 旭硝子株式会社近藤 聡伊藤 泰則
    • 近藤 聡伊藤 泰則
    • C03C27/12B30B12/00G02F1/13G02F1/1333G09F9/00G09F9/30H01L21/683H01L51/50H05B33/02H05B33/10
    • B32B17/10816B30B5/02G02F1/1303G02F1/133351G02F1/1341G02F2001/133302H01L21/67092Y10T156/17
    •  本発明は、2枚のガラス基板を積層するガラス基板積層装置であって、上方のガラス基板を吸着支持すべく構成された上方基板支持ユニット、下方のガラス基板を載置支持すべく構成された下方基板支持ユニット、前記上方基板支持ユニットと前記下方基板支持ユニットとの間を含む空間を気密状態にすべく構成されたシールユニット、及び、前記上方基板支持ユニット、前記下方基板支持ユニット及び前記シールユニットで囲まれた前記空間内を減圧すべく構成された減圧ユニットを備え、前記上方基板支持ユニットが、その下面に(A)矩形枠形状の基板吸着ユニット、(B)矩形枠と、その矩形を構成する4辺のうちの対向する1組又は2組の辺の各々を結ぶ直線又は曲線とからなる形状の基板吸着ユニット、および(C)互いに交差する複数の直線又は曲線からなる形状の基板吸着ユニット、のうちのいずれかの形状の基板吸着ユニットを有する、ガラス基板積層装置に関する。
    • 将两个玻璃基板层合在一起的玻璃基板层压装置包括:上部基板支撑单元,其构造成吸取支撑上部玻璃基板;下部基板支撑单元,其构造成安装和支撑下部玻璃基板;密封单元, 包括上基板支撑单元和下基板支撑单元之间的部分的空间形成为气密状态的空间;以及减压单元,其构成为减小由上基板支撑单元,下基板支撑单元和密封单元包围的空间中的压力 其中,所述上基板支撑单元在其下表面上设置有(A)矩形框架形状的基板抽吸单元,(B)具有由矩形框架限定的形状的基板抽出单元,以及直的 连接限定矩形的四个侧面中的一组或两组侧面的线或曲线,或(C)基底 抽吸单元具有由相互相交的多条直线或曲线限定的形状。
    • 4. 发明申请
    • RECONFIGURABLE DIES/INSERTS AND METHODS OF USE
    • 可重复使用的DIES / INSERT和使用方法
    • WO2006071490A3
    • 2007-01-18
    • PCT/US2005044627
    • 2005-12-12
    • GEN MOTORS CORP
    • BROWNE ALAN LBURAVALLA VIDYASHANKAR RJOHNSON NANCY L
    • B23P11/02B21D9/15B30B12/00
    • B21D37/01Y10T29/49805
    • A reconfigurable tool and/or die (12,14) geometry and methods of use generally comprise forming at least a portion of a shape defining surface (18,20) with a shape memory material. In response to an activation signal, the shape memory material changes geometry of the shape-defining surface to provide a means (22, 24) for forming parts with different geometries from the same tool and/or die (12,14). In an alternative embodiment, an insert (52) for a tool and/or die can be used, wherein the insert (52) has at least a portion of its shape- defining surface formed of a shape memory material. Also disclosed are processes for forming a first part (70) with a defined geometry and a second part (72) with a defined geometry different from the first part (70) defined geometry using a reconfigurable tool and/or die (66,68) as well as a reconfigurable insert (52,54) with a standard tool and/or die (50).
    • 可重构工具和/或模具(12,14)的几何形状和使用方法通常包括用形状记忆材料形成形状限定表面(18,20)的至少一部分。 响应于激活信号,形状记忆材料改变形状限定表面的几何形状,以提供用于从相同工具和/或模具(12,14)形成具有不同几何形状的零件的装置(22,24)。 在替代实施例中,可以使用用于工具和/或模具的插入件(52),其中插入件(52)具有由形状记忆材料形成的其形状限定表面的至少一部分。 还公开了使用可重构工具和/或模具(66,68)形成具有限定几何形状的第一部分(70)和具有与第一部分(70)限定几何形状不同的限定几何形状的第二部分(72) 以及具有标准工具和/或管芯(50)的可重新配置插入件(52,54)。
    • 7. 发明申请
    • 加熱型真空プレス装置
    • 加热型真空压力装置
    • WO2003101717A1
    • 2003-12-11
    • PCT/JP2003/006487
    • 2003-05-23
    • ミカド機器販売株式会社伊藤 英敏
    • 伊藤 英敏
    • B30B12/00
    • B29C43/56B29C33/08B29C33/20B29C43/32B29C43/36B29C43/52B29C2043/561B29K2105/256B32B37/10B32B38/0036B32B2309/68Y10S425/127
    • 本発明は、狭い真空用隔室を有しシールパッキンの損傷のない、真空隔室内で真空下加熱加圧する加熱型真空プレス装置を提供する。下固定枠と上移動枠とが隔室の壁部を形成し、気密摺動機構が下固定枠と上移動枠との間に気密性を確保し、それによって、下固定枠と、上移動枠と、基台と、取付板によって画成される空間に隔室を形成する。被加工品用ヒータ付受け台を取り囲む下固定枠が受け台から間隔を置いて基台上に配置され、上移動枠がヒータ付押当て板から間隔を置いて押当て板を取り囲むようにして該取付板から垂設される。隔室を真空吸引し、押当て板の下降により受け台上の被加工品を高温真空下で低推力により加熱加圧を行う。本装置は、耐熱温度の高い多機能フィルム積層板の貼り合せ等に適用できる。
    • 一种加热型真空压制装置,其具有小型真空隔离室,其中不发生密封填料的损坏和加热,并且在真空隔离室中在真空下进行加压。 隔离室的下部固定框架和上部运动框架形成壁部分和气密滑动机构实现下部固定框架和上部运动框架之间的气密性,使得隔离室形成在由下部固定框架限定的空间中, 上部运动框架,底座和安装板。 围绕用于待加工的工件的接收基座的下固定框架并且配备有加热器设置在基座上,空间保持在下固定框架和接收基座之间。 上部运动框架从安装板悬挂,以便与推动板间隔开并围绕装有加热器的推动板。 隔离室被真空抽吸,并且在接收基座上加工的一件工件在高温和真空下通过推动板的降低以低推力被加热和压制。 该装置适用于具有耐高温性能的粘合多功能薄膜层压板。
    • 9. 发明申请
    • かしめ装置
    • 冲击装置
    • WO2016002882A1
    • 2016-01-07
    • PCT/JP2015/069136
    • 2015-07-02
    • 日新製鋼株式会社三徳商事株式会社
    • 橋本 敦文余田 達也原 守高橋 孝太温品 誠二松原 茂雄大塚 雅人
    • B21D39/03B30B1/32B30B12/00
    • B21D39/03B30B1/32B30B12/00
    • 2つの方向からのかしめ接合を可能としつつ、低頭化を図るかしめ装置を提供する。かしめ装置(101)は、第一シリンダ(12)と、第一シリンダに設けられ且つ第一シリンダの伸縮方向に沿って往復動作可能な第一パンチ部(21)と、第一パンチ部に対向して設けられる第一ダイ部(23)と、第二シリンダ(13)と、第二シリンダに枢動可能なリンク部材(17)を介して設けられ且つ往復動作可能な第二パンチ部(22)と、第二パンチ部に対向して設けられる第2ダイ部(24)とを備える。第二シリンダは第一シリンダの側方に並べて配置される。リンク部材は第二シリンダの伸縮方向と異なる方向に動作させるように第二シリンダの動作第二パンチ部に伝達する。
    • 提供一种可以双向压接接合并且其高度可以减小的压接装置。 压接装置(101)设置有:第一气缸(12); 第一冲压部件(21),其设置在所述第一气缸上并且可沿着所述第一气缸的延伸/缩回方向前后移动; 设置成面对所述第一冲压部的第一模具部(23) 第二气缸(13); 第二冲头部分(22),其经由能够围绕枢轴移动并能够前后移动的连杆构件(17)设置在所述第二气缸上; 以及面向所述第二冲压部设置的第二模具部件(24)。 第二气缸平行于第一气缸的一侧设置。 连杆构件将第二气缸的运动传递到第二冲压部,使得第二冲头部分沿与第二气缸的延伸/缩回方向不同的方向移动。
    • 10. 发明申请
    • 貼り合わせ装置及び貼り合わせ方法
    • 绑定装置和绑定方法
    • WO2013058052A1
    • 2013-04-25
    • PCT/JP2012/074128
    • 2012-09-13
    • 東京エレクトロン株式会社秋山 直樹杉山 雅彦古家 元中村 充一大森 陽介
    • 秋山 直樹杉山 雅彦古家 元中村 充一大森 陽介
    • H01L21/02B30B5/02B30B9/00B30B12/00H01L21/683F16J15/10
    • H01L21/67092
    • 第1部材と第2部材とを貼り合わせた貼り合わせ体における中央部とエッジ部の厚さにばらつきがなく、且つエッジ部の厚さが全周に亘って均一である貼り合わせ体を得ることができる貼り合わせ装置を提供する。貼り合わせ装置50は、ウエハW1を上面に載置して保持する下部チャック10と、下部チャック10の上部に対向配置されウエハW2を保持する上部チャック11と、下部チャック10と上部チャック11との間に形成される空間Sを減圧する吸気機構18とを有し、上部チャック11は、剛性を有するエッジ部11bと、当該エッジ部11bと分割され、エッジ部11bに外周部が支持された保持部本体11aとを有し、保持部本体11aは、所定の圧力、例えば0.7気圧で当該保持部本体11aの中心部が撓む弾性体からなる。
    • 提供一种接合装置,其能够获得其中第一构件和第二构件结合在一起的接合体,使得所述接合体在其中心部分和边缘部分之间没有厚度变化,并且边缘的厚度 部分在其整个周边是均匀的。 接合装置(50)包括:将晶片(W1)放置并保持在其顶表面上的底卡盘(10) 顶部卡盘(11),其与所述底部卡盘(10)的顶部相对放置并保持晶片(W2); 和吸入机构(18),其对形成在所述底盘(10)和所述顶卡盘(11)之间的空间(S)进行减压。 顶部卡盘(11)包括刚性边缘部分(11b)和与边缘部分(11b)分隔开的保持部分主体(11a),并且由边缘部分(11b)支撑。 保持部主体(11a)包括弹性体,使得保持部主体(11a)的中心部以例如0.7个大气压的规定压力弯曲。