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热词
    • 1. 发明申请
    • CUTTING APPARATUS INCLUDING A WIRE CUTTING MEMBER
    • 切割装置包括线切割构件
    • WO2015054343A1
    • 2015-04-16
    • PCT/US2014/059619
    • 2014-10-08
    • ILLINOIS TOOL WORKS INC.
    • PIERCE, Kenneth R.GEARHART, Michael W.COAKLEY, Roy C.
    • B23D57/00
    • B23D57/0069B23D57/0038B23D57/0061B23D57/0092B26D1/48Y10T83/852Y10T83/9292
    • A cutting apparatus (20) includes a wire cutting member (24), a plurality of wheels (164, 220, 248, 252) about which the wire cutting member (24) is at least partially wrapped, a first arm member (120) supporting at least one of the plurality of wheels, and a second arm member (120) supporting at least one of the plurality of wheels. The first arm member and the second arm member may be moveable between a first position, in which the cutting apparatus (20) has a first size, and a second position, in which the cutting apparatus has a second size larger than the first size. A wire saw (20) includes an adjustment member (240) coupled to at least one of a plurality of wheels for moving the at least one of the plurality of wheels to adjust a tension of a wire cutting member (24). A wire saw (20) includes a visual indicator (316) for indicating an amount of tension applied to a wire cutting member (24).
    • 切割装置(20)包括线切割构件(24),多个轮(164,220,248,252),线切割构件(24)至少部分地被包裹,第一臂构件(120) 支撑所述多个轮中的至少一个,以及支撑所述多个轮中的至少一个的第二臂构件(120)。 第一臂构件和第二臂构件可以在切割装置(20)具有第一尺寸的第一位置和第二位置之间移动,其中切割装置具有比第一尺寸大的第二尺寸。 线锯(20)包括联接到多个轮中的至少一个的调节构件(240),用于移动所述多个轮中的至少一个轮以调节线切割构件(24)的张力。 线锯(20)包括用于指示施加到线切割构件(24)的张力的视觉指示器(316)。
    • 7. 发明申请
    • 切断方法およびエピタキシャルウエーハの製造方法
    • 切割方法和外延波形制造方法
    • WO2008035530A1
    • 2008-03-27
    • PCT/JP2007/066231
    • 2007-08-22
    • 信越半導体株式会社大石 弘仲俣 大輔
    • 大石 弘仲俣 大輔
    • H01L21/304B24B27/06B28D5/04
    • B28D5/0064B24B27/0633B28D5/007B28D5/045Y10T83/0443Y10T83/9292Y10T117/10Y10T117/1004
    •  ワイヤを複数の溝付きローラに巻掛けし、該溝付きローラに切断用スラリを供給しつつ、前記ワイヤを走行させながらインゴットに押し当ててウエーハ状に切断する方法であって、予め、前記溝付きローラに前記切断用スラリを供給温度を制御して供給しつつインゴットを切断する試験を行い、前記溝付きローラの軸方向変位と前記切断用スラリの供給温度との関係を調査して、該溝付きローラの軸方向変位と切断用スラリの供給温度との関係から前記切断用スラリの供給温度プロファイルを設定し、該供給温度プロファイルに基づいて前記切断用スラリを供給することにより、前記溝付きローラの軸方向変位を制御しながらインゴットを切断し、切断されるウエーハ全数の反りを一方向に揃える切断方法を提供する。これにより、ワイヤソーを用いてインゴットを切断する際、簡単かつ再現性良く、ウエーハ全数の反りを一方向に揃えて切断することができる切断方法が提供される。  
    • 在切割方法中,将线缠绕并钩在具有多个凹槽的滚子上,当滚筒被供给切割浆料时,允许线材运行以压制锭,并将锭切成晶片。 预先进行通过在受控进料温度下向辊子供给切割浆料来切割锭的试验,并且检查辊的轴向位移与切割浆料的进料温度之间的关系。 基于辊的轴向位移与切割浆料的进料温度之间的关系,设定切割浆料的进料温度曲线,并且基于进料温度曲线,进料切割浆料。 因此,通过控制辊的轴向位移来切割锭,并且允许所有切割的晶片的翘曲在一个方向上。 因此,在通过使用线锯切割锭时,通过使所有晶片在一个方向上翘曲,可以容易地切割锭,并具有优异的重复性。
    • 8. 发明申请
    • CABLE SAW
    • 线锯
    • WO01056729A1
    • 2001-08-09
    • PCT/CH2001/000065
    • 2001-01-29
    • B23D57/00B28D1/08
    • B23D57/0053B28D1/088Y10T83/424Y10T83/9292
    • The invention relates to a cable saw device (1) comprising a sawing cable (25) and a cable storage device (30) which is used for temporary accommodation of the sawing cable (25). The cable storage device (30) comprises several deflection rollers (5,6). At least two of said deflection rollers (5,6) are placed at a modifiable axial distance (A) from each other. The cable saw (25) is driven by several deflection rollers (5). Means for compensating the different speeds of the cable saw (25) are arranged between the driving deflection rollers (5). .
    • 本发明涉及一种锯装置(1),其具有切割线(25)和电缆存储装置(30),其用于锯切电缆(25)的临时住处。 电缆存储装置(30)具有上(5,6),具有至少两个的这些导向辊(5,6)具有可变轴向距离(A)至彼此的多个导辊。 锯切电缆(25)通过多个导向辊(5)驱动。 驱动转向辊(5)之间是手段来补偿变化的锯切电缆(25)的速度。
    • 9. 发明申请
    • CABLE-SAW MACHINE
    • 电缆锯
    • WO00032340A1
    • 2000-06-08
    • PCT/EP1999/009321
    • 1999-12-01
    • B23D57/00B28D1/08
    • B28D1/088B23D57/0053Y10T83/424Y10T83/7145Y10T83/9292
    • The invention relates to a cable-saw machine (1), comprising a frame (2), a motor drive (7) and a driven cable store (6) for a saw cable (3) which is moved in rotation. The drive (7) has several adjacent drive wheels (11, 12) around which the saw cable (3) is wound and which are jointly driven by one motor (8). The motor (8) and optionally, a intermediate gear (9) can be removed by means of a change coupling (10). The cable-saw machine (1) can also be separated into at least three base components, i.e. a main roller head (34), a frame unit (35) and a motor unit (36).
    • 本发明涉及一种电缆锯机(1),包括框架(2),马达驱动器(7)和一个从动电缆存储(6),用于在圆周方向移动锯电缆(3)。 驱动器上(7)具有多个锯电缆(3)环绕在相邻的驱动轮(11,12)由电机(8)共同驱动。 电动机(8),以及可能的中间齿轮箱(9)经由AC耦合(10)是可移除的。 此外,电缆锯机(1)可以被分解成至少三个基本部件,即一个主辊头(34),帧单元(35)和马达单元(36)。
    • 10. 发明申请
    • CARBON NANOTUBE FIBER WIRE FOR WAFER SLICING
    • 碳纳米管光纤丝
    • WO2009143247A3
    • 2010-03-04
    • PCT/US2009044681
    • 2009-05-20
    • APPLIED MATERIALS INC
    • BACHRACH ROBERT CSINGH KAUSHAL KNALAMASU OMMORAN JOHN CHRISTOPHER
    • B26D1/547B26D1/46B28D1/08
    • B23D61/185B26D1/0006B26D2001/008B28D5/0076B28D5/045Y10T83/9292
    • A wire saw for cutting hard materials includes a carbon nanotube fiber wire spun from carbon nanotubes. The carbon nanotube fiber wire may be made from a plurality of fibers, each fiber being spun from carbon nanotubes, the fibers being twisted together to form the wire. Furthermore, the wire may also include diamond particles, silicon carbide particles and/or extra carbon nanotubes to enhance the abrasive properties of the wire. A method is provided for slicing a silicon boule including: linearly translating a carbon nanotube fiber wire between rotating drums while maintaining the wire under tension; using a fixture, moving the silicon boule onto the moving tensioned wire, whereby the wire cuts into the silicon; delivering lubricating fluid to the surface of the silicon where contact is made with the wire; and collecting the lubricating fluid after it leaves the surface of the silicon.
    • 用于切割硬质材料的线锯包括从碳纳米管纺丝的碳纳米管纤维丝。 碳纳米管纤维线可以由多根纤维制成,每根纤维由碳纳米管纺丝,将纤维捻合在一起形成丝。 此外,导线还可以包括金刚石颗粒,碳化硅颗粒和/或额外的碳纳米管,以增强线的研磨性能。 提供了一种用于对硅棒进行切片的方法,包括:将碳纳米管纤维丝线线性地平移在旋转鼓之间,同时保持丝束处于张力下; 使用夹具将硅棒移动到移动的张紧线上,由此导线切入硅中; 将润滑流体输送到与导线接触的硅的表面; 并在润滑流体离开硅表面之后收集润滑流体。