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1. 发明申请

WO2018063378A1 FILM BULK ACOUSTIC RESONATOR (FBAR) DEVICES FOR HIGH FREQUENCY RF FILTERS 审中-公开
标题翻译：用于高频RF滤波器的薄膜散装声谐振器（FBAR）装置
公开(公告)号：WO2018063378A1
公开(公告)日：2018-04-05
申请号：PCT/US2016/054933
申请日：2016-09-30
申请人： INTEL CORPORATION
发明人： DASGUPTA, Sansaptak , BLOCK, Bruce A. , FISCHER, Paul B. , THEN, Han Wui , RADOSAVLJEVIC, Marko
IPC分类号： H03H9/02 , H03H9/25 , H03H9/15
CPC分类号： H03H9/205 , H03H9/02007 , H03H9/02543 , H03H9/02574 , H03H9/13 , H03H9/15 , H03H9/172 , H03H2009/02173
摘要： Techniques are disclosed for forming high frequency film bulk acoustic resonator (FBAR) devices having multiple resonator thicknesses on a common substrate. A piezoelectric stack is formed in an STI trench and overgrown onto the STI material. In some cases, the piezoelectric stack can include epitaxially grown AlN. In some cases, the piezoelectric stack can include single crystal (epitaxial) AlN in combination with polycrystalline (e.g., sputtered) AlN. The piezoelectric stack thus forms a central portion having a first resonator thickness and end wings extending from the central portion having a different resonator thickness. Each wing may also have different thicknesses. Thus, multiple resonator thicknesses can be achieved on a common substrate, and hence, multiple resonant frequencies on that same substrate. The end wings can have metal electrodes formed thereon, and the central portion can have a plurality of IDT electrodes patterned thereon.
摘要翻译：公开了用于在共同衬底上形成具有多个谐振器厚度的高频薄膜体声谐振器（FBAR）器件的技术。压电叠层形成在STI沟槽中并且过度生长在STI材料上。在一些情况下，压电叠堆可以包括外延生长的AlN。在一些情况下，压电堆叠可以包括单晶（外延）AlN与多晶（例如溅射）AlN的组合。因此压电叠层形成具有第一谐振器厚度的中央部分和从具有不同谐振器厚度的中央部分延伸的端翼。每个机翼也可以具有不同的厚度。因此，可以在公共衬底上实现多个谐振器厚度，并因此在同一衬底上实现多个谐振频率。端翼可以具有形成在其上的金属电极，并且中心部分可以具有在其上图案化的多个IDT电极。

2. 发明申请

WO2015098694A1 弾性波装置及びその製造方法审中-公开
标题翻译：弹性波装置及其制造方法
公开(公告)号：WO2015098694A1
公开(公告)日：2015-07-02
申请号：PCT/JP2014/083555
申请日：2014-12-18
申请人：株式会社村田製作所
发明人：菊知　拓 , 福田　大輔 , 谷口　康政 , 三村　昌和
IPC分类号： H03H9/145 , H03H3/08 , H03H9/25
CPC分类号： H03H9/02921 , H03H3/02 , H03H3/08 , H03H9/02992 , H03H9/1071 , H03H9/1092 , H03H9/14541 , H03H9/172 , H03H9/176 , H03H9/205 , H03H9/25 , H03H9/54 , H03H9/64
摘要：　静電破壊が生じ難い、弾性波装置を提供する。　圧電基板２上に誘電体膜３が形成されており、誘電体膜３上に、第１のくし歯電極５と第２のくし歯電極６とを有するＩＤＴ電極４Ａが形成されており、第１，第２のくし歯電極５，６に、それぞれ、第１，第２の配線電極７，８ａが電気的に接続されており、第１，第２のくし歯電極５，６がそれぞれ電極指と電極指が接触されるバスバーを有し、圧電基板２の導電率が、誘電体膜３の導電率よりも高く、第１の配線電極７、第２の配線電極８ａ、第１のくし歯電極５のバスバー及び第２のくし歯電極６のバスバーのうちの少なくとも１つが、圧電基板２に直接接触している部分を有する、弾性波装置１。
摘要翻译：提供了不容易发生静电击穿的弹性波装置。在该弹性波装置（1）中，在压电基板（2），设置有第一梳齿电极（5）和第二梳齿电极（2）的IDT电极（4A）上形成电介质膜（3） 6）形成在电介质膜（3）上，第一和第二布线电极（7,8a）分别电连接到第一和第二梳齿电极（5,6）。第一和第二梳齿电极（5,6）中的每一个设置有与电极指接触的母线。压电基板（2）的导电率高于电介质膜（3）的导电率。第一配线电极（7），第二配线电极（8a），第一梳齿电极（5）的母线和第二梳齿电极（6）的母线中的至少一个具有其直接与压电基板（2）接触。

3. 发明申请

WO2012073829A1 バルク弾性波共振子审中-公开
标题翻译：大容量弹性波共振器
公开(公告)号：WO2012073829A1
公开(公告)日：2012-06-07
申请号：PCT/JP2011/077206
申请日：2011-11-25
申请人：株式会社村田製作所 , 川合浩史 , 吉田康一 , 矢谷直人 , 稲井誠
发明人：川合　浩史 , 吉田　康一 , 矢谷　直人 , 稲井　誠
IPC分类号： H03H9/17 , H01L41/09 , H01L41/18 , H01L41/22 , H03H9/02
CPC分类号： H03H9/547 , H03H3/04 , H03H9/0547 , H03H9/172
摘要：　作製が容易であり、周波数を切り換えることができるバルク弾性波共振子を提供する。　（ａ）基板３０と、（ｂ）一対の電極１４，１６の間に圧電膜１２が挟まれ、膜厚方向から見たときに電極１４，１６同士が重なり合う振動領域１５が形成されている共振子部２０と、（ｃ）基板３０と共振子部２０とを接続し、弾性変形する支持部２２と、（ｄ）共振子部２０と基板３０の間に配置され、共振子部２０の振動領域１５に対向し、基板３０との間に間隔を設けて基板３０に固定されたメンブレン４０と、（ｅ）共振子部２０及び基板３０に、振動領域１５及びメンブレン４０に隣接して形成され、基板３０に対して接離する方向に共振子部２０を移動させる駆動部１３，４４とを備える。駆動部１３，４４が共振子部２０を基板３０に接近させたときに、共振子部２０の振動領域１５がメンブレン４０に接する。
摘要翻译：提供容易制造且具有可变频率的体积弹性波谐振器。本体弹性波谐振器包括：（a）基板（30）; （b）具有夹在一对电极（14,16）之间的压电膜（12）的谐振器部分（20），所述谐振器部分具有振荡区域（15），其中电极（14,16）从膜厚度方向; （c）用于连接衬底（30）和谐振器部分（20）并且弹性变形的支撑件（22）; （d）设置在共振器部件（20）和基板（30）之间的面向谐振器部件（20）的振荡区域（15）的膜（40），并且被固定到基板（30）上，膜与衬底（30）之间的空间; 和（e）用于使谐振器部件（20）朝向和远离基板（30）移动的致动器（13,44），致动器形成在谐振器部分（20）和与振荡区域相邻的基板（30）（15）和膜（40）。当致动器（13,44）使谐振器部件（20）接近基板（30）时，谐振器部件（20）的振荡区域（15）与膜（40）接触。

4. 发明申请

WO2010088464A2 THIN-FILM BULK ACOUSTIC RESONATORS HAVING PERFORATED BODIES THAT PROVIDE REDUCED SUSCEPTIBILITY TO PROCESS-INDUCED LATERAL DIMENSION VARIATIONS 审中-公开
标题翻译：具有减少对加工诱导的侧向尺寸变化的可靠性的执行体的薄膜膨胀聚合谐振器
公开(公告)号：WO2010088464A2
公开(公告)日：2010-08-05
申请号：PCT/US2010/022510
申请日：2010-01-29
申请人： INTEGRATED DEVICE TECHNOLOGY, INC. , WANG, Ye , BHUGRA, Harmeet
发明人： WANG, Ye , BHUGRA, Harmeet
IPC分类号： H03H9/17
CPC分类号： H03H9/172 , H03H9/2452 , H03H2009/0233 , H03H2009/241
摘要： Micro-electromechanical acoustic resonators include a resonator body suspended over a substrate. The resonator body may have a single perforation therein, which may extend substantially or completely therethrough. The resonator body may also be configured to have a center-of-mass within an interior of the perforation and/or a nodal line that overlaps the perforation. A perimeter and depth of the single perforation can be configured to reduce a susceptibility of the acoustic resonator to process-induced variations in resonant frequency relative to an otherwise equivalent resonator that omits the single perforation. In other embodiments, the resonator body may have multiple perforations therein that extend along a nodal line of the resonator.
摘要翻译：微机电声谐振器包括悬挂在衬底上的谐振器体。谐振器本体可以在其中具有单个穿孔，其可以基本上或完全地延伸穿过其中。谐振器主体还可以被配置为具有在穿孔内部和/或与穿孔重叠的节点线之间的质心。单个穿孔的周长和深度可以被配置为相对于省略单个穿孔的另外等效的谐振器来减小声谐振器对于处理引起的谐振频率变化的敏感性。在其他实施例中，谐振器本体可以具有沿着谐振器的节点线延伸的多个穿孔。

5. 发明申请

WO2006000731A1 MICROCOMMUTATEUR A COMMANDE PIEZOELECTRIQUE 审中-公开
标题翻译：压电式微控制器
公开(公告)号：WO2006000731A1
公开(公告)日：2006-01-05
申请号：PCT/FR2005/050439
申请日：2005-06-13
申请人： STMICROELECTRONICS SA , CARUYER, Grégory , BOUCHE, Guillaume , ANCEY, Pascal
发明人： CARUYER, Grégory , BOUCHE, Guillaume , ANCEY, Pascal
IPC分类号： B81B1/00
CPC分类号： B81C1/0015 , B81B3/0021 , B81B2201/032 , B81B2203/0315 , B81B2203/04 , H01H57/00 , H01H2057/006 , H03H9/172 , H03H2009/241 , Y10T29/49105
摘要： L'invention concerne un dispositif comprenant un microcommutateur électromécanique comportant une poutre mobile (2). Au moins une partie (14) de la poutre constitue l'élément piézoélectrique d'un actionneur en matériau piézoélectrique.
摘要翻译：本发明涉及由包括移动光束（2）的机电微型开关组成的装置。根据本发明，梁的至少一部分（14）形成压电致动器的压电元件。

6. 发明申请

WO2004059836A8 PIEZOELECTRIC MEMS RESONATOR 审中-公开
标题翻译：压电MEMS谐振器
公开(公告)号：WO2004059836A8
公开(公告)日：2005-04-14
申请号：PCT/US0323982
申请日：2003-07-31
申请人： DRAPER LAB CHARLES S , DUWEL AMY E , CARTER DAVID J , MESCHER MARK J , VARGHESE MATHEW , ANTKOWIAK BERNARD M , WEINBERG MARC S
发明人： DUWEL AMY E , CARTER DAVID J , MESCHER MARK J , VARGHESE MATHEW , ANTKOWIAK BERNARD M , WEINBERG MARC S
IPC分类号： H03H3/02 , H03H9/17 , H03H9/56 , H03H9/58 , H03H9/05
CPC分类号： H03H3/02 , H03H9/172 , H03H9/564 , H03H9/586 , H03H2003/027 , H03H2009/241 , H04R17/00 , Y10T29/42 , Y10T29/435
摘要： A longitudinal mode resonator that includes a substrate and a bar that is suspended relative to the substrate. The bar is suspended such that it is free to expand and contract longitudinally in response to the application of an electric field across its thickness. The expansion and contraction of the bar achieves resonance in response to the field having a frequency substantially equal to the fundamental frequency of the bar.
摘要翻译：一种纵模式谐振器，其包括相对于衬底悬挂的衬底和棒。该杆被悬挂使得响应于其整个厚度上的电场的应用而使它自由地纵向膨胀和收缩。棒的膨胀和收缩响应于具有与棒的基本频率基本相等的频率的场来实现谐振。

7. 发明申请

WO2004021568A1 RESONATOR UND BAUELEMENT MIT HERMETISCHER VERKAPSELUNG 审中-公开
标题翻译：谐振器和构件技术密封封装
公开(公告)号：WO2004021568A1
公开(公告)日：2004-03-11
申请号：PCT/EP2003/006597
申请日：2003-06-23
申请人： EPCOS AG , STOEMMER, Ralph , HEINZE, Habbo
发明人： STOEMMER, Ralph , HEINZE, Habbo
IPC分类号： H03H9/17
CPC分类号： H03H9/589 , H03H9/0542 , H03H9/1007 , H03H9/172 , H03H9/175 , H03H9/586
摘要： Es wird ein mit akustischen Volumenwellen arbeitender Resonator vorgeschlagen, welcher auf einem an sich bekannten Schichtaufbau basiert, der über einem Substrat angeordnet ist. Erfindungsgemäß wird der Schichtaufbau samt darin enthaltener Resonatoren ganzflächig mit einer dielektrischen Schicht und einer Metallschicht überdeckt, die zusammen einen akustischen Spiegel bilden, wobei für die dielektrische Schicht ein Low-k-Dielektrikum verwendet wird. Der ganzflächige Spiegel bietet Breitbandfunktionalität über einen geeigneten Frequenzbereich. Das im Spiegel enthaltene Dielektrikum fungiert dabei als versiegelnde Schutzschicht für den oder die Resonatoren.
摘要翻译：建议用体声波谐振器，它是基于被布置在衬底上的公知的层结构的工作。根据本发明，包括包含在所述层结构在其中在覆盖有电介质层和金属层，其一起形成声反射镜，其中，低k电介质被用于电介质层的整个表面上的谐振器。全表面反射镜经由合适的频率范围内提供宽带功能。中所包含的反射镜充当或谐振器的密封保护层的电介质。

8. 发明申请

WO2017149516A1 BAW-VORRICHTUNG 审中-公开
标题翻译： BAW元件
公开(公告)号：WO2017149516A1
公开(公告)日：2017-09-08
申请号：PCT/IB2017/051268
申请日：2017-03-03
申请人： SNAPTRACK, INC.
发明人： CARUYER, Dr. Gregory , SCHWOEBEL, Andre , MOULARD, Dr. Gilles
IPC分类号： H03H9/17
CPC分类号： H03H9/172
摘要： Eine BAW-Vorrichtung mit einer piezoelektrischen Schicht miteiner überlegenen Kristallstruktur wird bereitgestellt. DieBAW-Vorrichtung weist eine Schichtabfolge, die eine ersteElektrodenschicht (El), eine dielektrische Pufferschicht(BL),eine piezoelektrische Schicht (PL) und eine zweiteElektrodenschicht (E2) umfasst, auf.
摘要翻译：提供具有具有优良晶体结构的压电层的BAW器件。该BAW器件包括包含第一电极层（E1），电介质缓冲层（BL），压电层（PL）和第二电极层（E2）的层序列，

9. 发明申请

WO2017087929A1 ACOUSTIC RESONATOR WITH REDUCED MECHANICAL CLAMPING OF AN ACTIVE REGION FOR ENHANCED SHEAR MODE RESPONSE 审中-公开
标题翻译：强化剪切模式响应的活性区减少机械阻尼的声学共振器
公开(公告)号：WO2017087929A1
公开(公告)日：2017-05-26
申请号：PCT/US2016/063008
申请日：2016-11-21
申请人： QORVO US, INC.
发明人： BELSICK, John , MORTON, Rick
IPC分类号： G01N29/02 , G01N29/036 , G01N29/32 , H03H9/17
CPC分类号： G01N33/5438 , G01N29/022 , G01N29/036 , G01N29/32 , G01N2291/0255 , G01N2291/0256 , G01N2291/0422 , G01N2291/0423 , H03H9/13 , H03H9/172 , H03H9/175 , H03H2009/155
摘要： The present disclosure provides an acoustic resonator with reduced mechanical clamping of an active region for enhanced shear mode response. More specifically, the present disclosure provides a solidly mounted BAW resonator device with an active region of piezoelectric material laterally surrounded by an inactive region with a reduced thickness of piezoelectric material such that at least an upper portion of the inactive region along a boundary of the active region is devoid of piezoelectric material. The resonator device provides a discontinuity along opposing lateral edges of the piezoelectric material of the active region to reduce mechanical clamping of the active region in a direction of maximum lateral displacement in shear mode operation. Increasing the mechanical isolation of the active region of piezoelectric material decreases mechanical damping of lateral vibrations of the active region which enhances the shear mode response for quasi-shear mode sensing.
摘要翻译：本公开提供了一种声学谐振器，其具有减小的有源区域的机械夹持以增强剪切模式响应。更具体地说，本公开提供了一种固体安装的BAW谐振器装置，其具有压电材料的有源区，所述压电材料的有源区由具有减小的压电材料厚度的无源区横向围绕，使得沿着有源区的边界的无源区的至少上部区域没有压电材料。谐振器装置沿着有源区的压电材料的相对横向边缘提供不连续性，以在剪切模式操作中减少有源区在最大横向位移方向上的机械夹持。增加压电材料的有源区域的机械隔离降低了有源区域的横向振动的机械阻尼，这增强了准剪切模式感测的剪切模式响应。

10. 发明申请

WO2012014111A3 THIN FILM ULTRASOUND TRANSDUCER 审中-公开
标题翻译：薄膜超声波传感器
公开(公告)号：WO2012014111A3
公开(公告)日：2013-03-07
申请号：PCT/IB2011053096
申请日：2011-07-12
申请人： KONINKL PHILIPS ELECTRONICS NV , KLEE MAREIKE , MAUCZOK RUEDIGER , BOOTS HENRI MARIE JOSEPH , DE WILD NICO MARIS ADRIAAN , SREEDHARAN NAIR BIJU KUMAR , WUNNICKE OLAF , PASVEER WILLEM FRANKE , VAN DE LAGEMAAT DIRK , DIRKSEN PETER
发明人： KLEE MAREIKE , MAUCZOK RUEDIGER , BOOTS HENRI MARIE JOSEPH , DE WILD NICO MARIS ADRIAAN , SREEDHARAN NAIR BIJU KUMAR , WUNNICKE OLAF , PASVEER WILLEM FRANKE , VAN DE LAGEMAAT DIRK , DIRKSEN PETER
IPC分类号： B06B1/06
CPC分类号： H03H3/02 , B06B1/06 , B06B1/0622 , B06B1/0688 , H03H9/172
摘要： The present invention relates to a transducer (11) comprising - a membrane (31) configured to change shape in response to a force, the membrane (31) having a first major surface (16) and a second major surface (17), - a piezoelectric layer (18) formed over the first major surface (16) of the membrane (31), the piezoelectric layer (18) having an active portion, - first and second electrodes (19) in contact with the piezoelectric layer (18), wherein an electric field between the first and second electrodes (19) determines the mechanical movement of the piezoelectric layer (18), -support structures (40) at the second major surface (17) of the membrane (15) on adjacent sides of the active portion of the piezoelectric layer (18), at least part of the support structures (40) forming walls perpendicular, or at least not parallel, to the second major surface (17) of the membrane (31), so as to form a trench (41) of any shape underlying the active portion, so that an ultrasound transducer is obtained with a high output pressure at the support side than at the opposite side. The invention also relates to a method of forming such a transducer, and an array comprising at least one transducer of the like.
摘要翻译：本发明涉及一种换能器（11），其包括 - 被配置为响应于力而改变形状的膜（31），所述膜（31）具有第一主表面（16）和第二主表面（17）， - 形成在膜（31）的第一主表面（16）上方的压电层（18），压电层（18）具有有源部分， - 与压电层（18）接触的第一和第二电极（19），其中所述第一和第二电极（19）之间的电场确定所述压电层（18）的机械运动， - 在所述膜（15）的相邻侧上的所述膜（15）的第二主表面（17）处支撑结构（40）压电层（18）的有效部分，至少部分支撑结构（40）形成与膜（31）的第二主表面（17）垂直或至少不平行的壁，以形成在活动部分下方具有任何形状的沟槽（41），使得超声波换能器为ob 在支撑侧具有高于在相对侧的高输出压力。本发明还涉及一种形成这种换能器的方法，以及包括至少一个这样的换能器的阵列。

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