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1. 发明申请

WO2004041998A3 NANOMECHANICHAL ENERGY, FORCE, AND MASS SENSORS 审中-公开
标题翻译： NANOMECHANICHAL ENERGY，FORCE和MASS SENSORS
公开(公告)号：WO2004041998A3
公开(公告)日：2005-01-20
申请号：PCT/US0314566
申请日：2003-05-07
申请人： CALIFORNIA INST OF TECHN , ROUKES MICHAEL L , EKINCI KAMIL L , YANG Y T , HUANG X M H , TANG H X , HARRINGTON DARRELL A , CASEY JEAN , ARLETT JESSICA L
发明人： ROUKES MICHAEL L , EKINCI KAMIL L , YANG Y T , HUANG X M H , TANG H X , HARRINGTON DARRELL A , CASEY JEAN , ARLETT JESSICA L
IPC分类号： B81B3/00 , G01N27/00 , G01P15/08 , G01P15/097 , H01L27/14 , H01N31/0328 , C12Q1/68 , G01B7/14 , G01G11/00 , G01N21/00 , G01N23/00 , G01N33/543 , H01P1/10
CPC分类号： B81B3/0035 , G01P15/08 , G01P15/097 , H03H9/02244 , H03H9/2457 , H03H9/2463 , H03H2009/02496 , H03H2009/02511 , H03H2009/02519 , H03H2009/02527
摘要： A doubly clamped beam (30) has an asymmetric piezoelectric layer within the beam with a gate (32) proximate to the beam within a submicron distance with a gate and beam dipole.
摘要翻译：双夹紧光束（30）在光束内具有不对称压电层，其中栅极（32）靠近与栅极和光束偶极子亚微米距离的光束。

2. 发明申请

WO2004041998A9 AN APPARATUS AND METHOD FOR TWO-DIMENSIONAL ELECTRON GAS ACTUATION AND TRANSDUCTION FOR GAS NEMS 审中-公开
标题翻译：用于二维电子气体致动和气体传播的装置和方法
公开(公告)号：WO2004041998A9
公开(公告)日：2004-07-15
申请号：PCT/US0314566
申请日：2003-05-07
申请人： CALIFORNIA INST OF TECHN , ROUKES MICHAEL L , EKINCI KAMIL L , YANG Y T , HUANG X M H , TANG H X , HARRINGTON DARRELL A , CASEY JEAN , ARLETT JESSICA L
发明人： ROUKES MICHAEL L , EKINCI KAMIL L , YANG Y T , HUANG X M H , TANG H X , HARRINGTON DARRELL A , CASEY JEAN , ARLETT JESSICA L
IPC分类号： B81B3/00 , G01N27/00 , G01P15/08 , G01P15/097 , H01L27/14 , C12N
CPC分类号： B81B3/0035 , G01P15/08 , G01P15/097 , H03H9/02244 , H03H9/2457 , H03H9/2463 , H03H2009/02496 , H03H2009/02511 , H03H2009/02519 , H03H2009/02527
摘要： A doubly clamped beam has an asymmetric piezoelectric layer within the beam with a gate proximate to the beam within a submicron distance with a gate and beam dipole. A suspended beam is formed using a Cl2/He plasma etch supplied at a flow rate ratio of 1:9 respectively into a plasma chamber. A parametric amplifier comprises a NEMS signal beam driven at resonance and a pair of pump beams driven at twice resonance to generate a modulated Lorentz force on the pump beams to perturb the spring constant of the signal beam. A bridge circuit provides two out-of-phase components of an excitation signal to a first and second NEMS beam in a first and second arm. A DC current is supplied to an AC driven NEMS device to tune the resonant frequency. An analyzer comprises a plurality of piezoresistive NEMS cantilevers with different resonant frequencies and a plurality of drive/sense elements, or an interacting plurality of beams to form an optical diffraction grating, or a plurality of strain-sensing NEMS cantilevers, each responsive to a different analyte, or a plurality of piezoresistive NEMS cantilevers with different IR absorbers.
摘要翻译：双夹紧光束在光束内具有非对称压电层，栅极和栅极和光束偶极子之间的亚微米距离内的栅极靠近光束。使用以1：9的流量比提供的Cl 2 / He等离子体蚀刻分别形成悬臂，形成等离子体室。参数放大器包括以共振驱动的NEMS信号光束和以两次谐振为驱动的一对泵浦光束，以在泵浦光束上产生调制的洛伦兹力，以扰乱信号光束的弹簧常数。桥接电路在第一和第二臂中向第一和第二NEMS波束提供激励信号的两个异相分量。直流电流被提供给AC驱动NEMS器件以调谐谐振频率。分析器包括具有不同谐振频率的多个压阻NEMS悬臂和多个驱动/感测元件或相互作用的多个光束以形成光学衍射光栅，或多个应变感测NEMS悬臂，每个响应于不同的分析物或具有不同IR吸收剂的多个压阻NEMS悬臂。

3. 发明申请

WO01082475A3 METHOD AND APPARATUS FOR UPCONVERTING AND FILTERING AN INFORMATION SIGNAL UTILIZING A VIBRATING MICROMECHANICAL DEVICE 审中-公开
标题翻译：用于上传和过滤利用振动微生物装置的信息信号的方法和装置
公开(公告)号：WO01082475A3
公开(公告)日：2002-02-21
申请号：PCT/US2001/012806
申请日：2001-04-20
IPC分类号： B81B3/00 , H01H59/00 , H03B5/30 , H03H5/12 , H03H7/12 , H03H9/00 , H03H9/02 , H03H9/24 , H03H9/46 , H03H9/50 , H03H11/04 , H04B1/04 , H04B1/18 , H04B1/40 , H03D9/06
CPC分类号： H03H9/465 , H01H59/0009 , H03H9/02409 , H03H9/462 , H03H9/467 , H03H9/505 , H03H2009/02511 , H03H2009/02519 , H03H2009/02527
摘要： Several MEMS-based architectures which utilize vibrating micromechanical resonators in circuits to implement filtering, mixing, frequency reference and amplifying functions are provided. A method and apparatus are provided for upconverting and filtering an information signal utilizing a vibrating micromechanical device based on an AC signal having a desired frequency. One of the primary benefits of the use of such architectures is a savings in power consumption by trading power for high selectivity ( i.e. , high Q). Consequently, the present invention relies on the use of a large number of micromechanical links in SSI networks to implement signal processing functions with basically zero DC power consumption.
摘要翻译：提供了几种利用电路中的振动微机械谐振器来实现滤波，混频，频率参考和放大功能的基于MEMS的架构。提供一种方法和装置，用于使用基于具有期望频率的AC信号的振动微机械装置对信息信号进行上变频和滤波。使用这种架构的主要好处之一是通过高选择性（即，高Q）的交易功率来节省功耗。因此，本发明依赖于在SSI网络中使用大量微机械链路来实现具有基本上零直流功率消耗的信号处理功能。

4. 发明申请

WO01082478A2 METHOD AND SUBSYSTEM FOR PROCESSING SIGNALS UTILIZING A PLURALITY OF VIBRATING MICROMECHANICAL DEVICES 审中-公开
标题翻译：用于处理使用多个振动微生物装置的信号的方法和子系统
公开(公告)号：WO01082478A2
公开(公告)日：2001-11-01
申请号：PCT/US2001/040565
申请日：2001-04-20
IPC分类号： B81B3/00 , H01H59/00 , H03B5/30 , H03H5/12 , H03H7/12 , H03H9/00 , H03H9/02 , H03H9/24 , H03H9/46 , H03H9/50 , H03H11/04 , H04B1/04 , H04B1/18 , H04B1/40 , H03H
CPC分类号： H03H9/465 , H01H59/0009 , H03H9/02409 , H03H9/462 , H03H9/467 , H03H9/505 , H03H2009/02511 , H03H2009/02519 , H03H2009/02527
摘要： Several MEMS-based methods and architectures which utilize vibrating micromechanical resonators in circuits to implement filtering, mixing, frequency reference and amplifying functions are provided. A method and subsystem are provided for processing RF signals utilizing a plurality of vibrating micromechanical devices typically in the form of an IF mixer-filter and an RF channel selector or an image-reject RF filter. One of the primary benefits of the use of such architectures is a savings in power consumption by trading power for high selectivity ( i.e. , high Q). Also, such methods and circuits can elimitate the need for a low noise amplifier in a receiver or transceiver subsystem. Consequently, the present invention relies on the use of a large number of micromechanical links in SSI networks to implement signal processing functions with basically zero DC power consumption.
摘要翻译：提供了一些利用电路中的振动微机械谐振器实现滤波，混频，频率参考和放大功能的基于MEMS的方法和架构。提供了一种方法和子系统，用于利用通常以IF混频器滤波器和RF信道选择器或图像拒绝RF滤波器的形式的多个振动微机械装置来处理RF信号。使用这种架构的主要好处之一是通过高选择性（即，高Q）的交易功率来节省功耗。此外，这样的方法和电路可以消除对接收器或收发器子系统中的低噪声放大器的需要。因此，本发明依赖于在SSI网络中使用大量微机械链路来实现具有基本上零直流功率消耗的信号处理功能。

5. 发明申请

WO2018122848A1 ELECTROMECHANICAL RESONATORS BASED ON METAL-CHALCOGENIDE NANOTUBES 审中-公开
公开(公告)号：WO2018122848A1
公开(公告)日：2018-07-05
申请号：PCT/IL2017051394
申请日：2017-12-27
申请人： YEDA RES & DEV , B G NEGEV TECH AND APPLICATIONS LTD
发明人： TENNE RESHEF , JOSELEVICH ERNESTO , DIVON YIFTACH , LEVI ROI , YAAKOBOVITZ ASSAF , YUDILEVICH DAN
IPC分类号： B82B1/00 , H03H3/007 , H03H9/24
CPC分类号： B82B1/002 , B81B2201/0271 , H03H3/0072 , H03H9/2463 , H03H2009/02519
摘要： This invention provides electromechanical resonators based on metal chalcogenide nanotubes. The invention further provides methods of fabrication of electromechanical resonators and methods of use of such electromechanical resonators.

6. 发明申请

WO2011129351A1 ＭＥＭＳデバイスおよびその製造方法审中-公开
标题翻译： MEMS器件及其生产方法
公开(公告)号：WO2011129351A1
公开(公告)日：2011-10-20
申请号：PCT/JP2011/059137
申请日：2011-04-13
申请人：三洋電機株式会社 , 学校法人立命館 , 鈴木健一郎 , 玉野晃正 , 岡田光広 , 競昌也
发明人：鈴木　健一郎 , 玉野　晃正 , 岡田　光広 , 競　昌也
IPC分类号： H03H3/007 , B81B3/00 , B81C1/00 , H03H9/24
CPC分类号： H03H3/0072 , B81B2201/0271 , B81C1/00182 , H03H9/2405 , H03H9/2452 , H03H2009/02496 , H03H2009/02519
摘要：【課題】ＭＥＭＳデバイスの製造方法において、基板表面と振動部材下面とが十分に狭い間隙で対向した構造を容易に製造可能とする。【解決手段】ＭＥＭＳデバイスの製造方法は、ＳＯＩ基板を用意する工程Ｓ１と、第１シリコン層をパターニングして、外枠部と、かさ上げ対向部と、かさ上げ対向部と外枠部の３以上の箇所とをそれぞれ接続する支持梁部とを形成する工程Ｓ２と、上記かさ上げ対向部と第２シリコン層との間に位置する中間絶縁層をエッチング除去することによって上記かさ上げ対向部と上記第２シリコン層とが互いに離隔した状態を作り出す工程Ｓ３と、上記外枠部および上記かさ上げ対向部に対して一括して基材を貼り付ける工程Ｓ４と、上記第２シリコン層をパターニングすることによって浮き構造体を形成し、さらに上記支持梁部を分断して上記かさ上げ対向部を孤立させる工程Ｓ５とを含む。
摘要翻译：公开了一种MEMS器件制造方法，其能够容易地制造其中衬底表面和振动构件下表面之间彼此具有足够窄的间隙的结构。 MEMS器件制造方法包括：准备SOI衬底的工序（S1）形成第一硅树脂层被图案化的台阶（S2），并且形成连接升高和面对部分与外框架部分的至少三个位置的外框架部分，升高和面对部分以及支撑梁部分 ; 步骤（S3），其中通过蚀刻位于升高和面对部分和第二硅氧烷层之间的中间绝缘层来产生升高和面对部分与第二硅层之间的分离状态; 步骤（S4），其中基板被共同地粘贴到外框架部分和升起面对部分; 以及步骤（S5），其中通过对第二硅层进行图案化而形成浮动结构，并且支撑梁部分被分割以隔离升高和面对部分。

7. 发明申请

WO2010147156A1 共振器およびその製造方法审中-公开
标题翻译：共振器及其生产方法
公开(公告)号：WO2010147156A1
公开(公告)日：2010-12-23
申请号：PCT/JP2010/060224
申请日：2010-06-16
申请人：三洋電機株式会社 , 学校法人立命館 , 鈴木健一郎 , 玉野晃正 , 岡田光広 , 競昌也
发明人：鈴木　健一郎 , 玉野　晃正 , 岡田　光広 , 競　昌也
IPC分类号： H03H9/24 , H03H3/007
CPC分类号： H03H3/0072 , H03H9/1057 , H03H9/2463 , H03H2009/02519
摘要：【課題】ねじり振動を利用した共振器において、基板表面と振動部材下面とが十分に狭い間隙で対向した構造を有し、容易に製造可能な共振器とする。【解決手段】共振器は、平坦な主表面１ｕを有する基材１と、主表面１ｕに固定された層状のアンカ部２ａ，２ｂと、導電性を有する層状の振動付与部３と、アンカ部２ａ，２ｂの上面に対して絶縁膜５を介して接合され２次元的に展開する梁状かつ層状の振動部材４と、振動付与部３に対して電気的に接続されており、上から見て振動部材に被覆される領域の外側にまで延在している引出配線６とを備え、振動付与部３の上面３ｕは、振動部材４の下面４ｗとの間に電位差を生じさせることによって振動部材４の少なくとも一部に対してねじり振動を発生させることができるように、振動部材４の下面４ｗの一部に対して、絶縁膜５の厚さとほぼ等しい距離の間隙１１を介して対向している。
摘要翻译：公开了一种容易制造的谐振器，其使用扭转振动并且具有其中基板表面和振动构件下表面之间彼此具有足够窄的间隙的结构。谐振器设置有具有平坦主表面（1u）的基材（1），固定到主表面（1u）的层压锚固部件（2a，2b），层状振动赋予部件（3）导电的梁状分层振动构件（4），其在绝缘膜（5）上设置有绝缘膜（5）并且二维地扩大连接到锚定部件（2a，2b）的上表面，以及引出导体 6），其电连接到振动赋予部（3），并且从上方观察时延伸到被振动部件覆盖的区域的外侧。振动赋予部（3）的上表面（3u）与振动部件（4）的下表面（4w）的一部分间隙（11）相对，间隙大约等于绝缘膜（5）的厚度，使得通过产生上表面（3u）振动赋予部（3）和第二振动赋予部（3）之间的电位差，能够在振动部件（4）的至少一部分产生扭转振动振动部件（4）的下表面（4w）。

8. 发明申请

WO2007145290A1 振動子、これを用いた共振器およびこれを用いた電気機械フィルタ审中-公开
标题翻译：振荡器，使用振荡器的谐振器和使用谐振器的电子滤波器
公开(公告)号：WO2007145290A1
公开(公告)日：2007-12-21
申请号：PCT/JP2007/062033
申请日：2007-06-14
申请人：松下電器産業株式会社 , 中村邦彦 , 松尾道明 , 中西淑人 , 橋村昭範
发明人：中村邦彦 , 松尾道明 , 中西淑人 , 橋村昭範
IPC分类号： H03H9/24 , B81B3/00
CPC分类号： H03H9/2463 , H03H3/0072 , H03H9/02244 , H03H9/1057 , H03H9/2405 , H03H9/2457 , H03H2009/02314 , H03H2009/02519
摘要：振動子の振動における振動エネルギの散逸が小さい、高Ｑ値の振動子および共振器を提供することを目的とし、梁構造の振動子の支持部の厚みを振動子の厚みよりも厚くかつ、支持部を梁の長さ方向に対して軸対称とする。この構成により、支持部の脆弱性を改善し、支持部からの振動エネルギの損失を低減するとともに、振動子表面の表面粗さに起因する振動エネルギの損失を低減することができるので、高Ｑ値を有する共振器を提供することが可能となる。
摘要翻译：提供了一种在振荡中具有小的振荡能量耗散和高Q值的振荡器以及谐振器。具有光束结构的振荡器的支撑部分比振荡器厚，并且支撑部分在长度方向上是轴对称的的梁。因此，由于支撑部的脆性提高，来自支撑部的振荡能量的损失减小，由于振荡器表面的表面粗糙度引起的振荡能量的损失降低，因此提供具有高Q值的谐振器。

9. 发明申请

WO2005050839A1 電気機械フィルタ审中-公开
标题翻译：电动过滤器
公开(公告)号：WO2005050839A1
公开(公告)日：2005-06-02
申请号：PCT/JP2004/017246
申请日：2004-11-19
申请人：松下電器産業株式会社 , 内藤康幸 , 中西淑人
发明人：内藤康幸 , 中西淑人
IPC分类号： H03H9/24
CPC分类号： H03H9/02393 , H03H2009/02496 , H03H2009/02511 , H03H2009/02519
摘要：　小型化、高集積化が可能で、変調可能な電気機械フィルタを提供する。　信号線路（可動電極）１０１となる導体と、前記導体を貫く磁界を発生する磁界発生部１０２と、前記導体と前記磁界発生部の相対位置を変位させることによって、前記信号線路を貫く磁界を変化させる駆動電極１０３とを備え、前記信号線路を貫く磁界を可変とすることで、従来実現困難であった強磁性共鳴周波数の変調を実現する。
摘要翻译：提供了能够降低滤波器尺寸，增加积分度并进行调制的机电滤波器。机电滤波器包括用作信号线路径（可移动电极）（101）的导体，用于产生穿透到导体中的磁场的磁场产生单元（102）以及驱动电极（103），用于使导体和磁场产生单元的相对位置移位，以改变穿过信号线路径的磁场。通过改变穿过信号线路径的磁场，可以实现铁磁共振频率的调制，这在传统上是难以实现的。

10. 发明申请

WO0182476A3 METHOD AND APPARATUS FOR SELECTING AT LEAST ONE DESIRED CHANNEL UTILIZING A BANK OF VIBRATING MICROMECHANICAL APPARATUS 审中-公开
标题翻译：用于选择利用振动微机械设备的银行的至少一个所需通道的方法和装置
公开(公告)号：WO0182476A3
公开(公告)日：2002-08-15
申请号：PCT/US0140562
申请日：2001-04-20
申请人： UNIV MICHIGAN , NGUYEN CLARK T C
发明人： NGUYEN CLARK T C
IPC分类号： B81B3/00 , H01H59/00 , H03B5/30 , H03H5/12 , H03H7/12 , H03H9/00 , H03H9/02 , H03H9/24 , H03H9/46 , H03H9/50 , H03H11/04 , H04B1/04 , H04B1/18 , H04B1/40
CPC分类号： H03H9/465 , H01H59/0009 , H03H9/02409 , H03H9/462 , H03H9/467 , H03H9/505 , H03H2009/02511 , H03H2009/02519 , H03H2009/02527
摘要： Several MEMS-based methods and architectures which utilize vibrating micromechanical resonators in circuits to implement filtering, mixing, frequency reference and amplifying functions are provided. For example, a method and apparatus for selecting at least one desired channel in an RF receiver subsystem is shown. One of the primary benefits of the use of such architectures is a savings in power consumption by trading power by high selectivity (i.e., high Q). Consequently, the present invention relies on the use of a large number of micromechanical links in SSI to VLSI networks to implement signal processing functions with basically zero DC power consumption.
摘要翻译：提供了一些利用电路中的振动微机械谐振器实现滤波，混频，频率参考和放大功能的基于MEMS的方法和架构。例如，示出了用于在RF接收机子系统中选择至少一个期望信道的方法和装置。使用这种架构的主要优点之一是通过高选择性（即高Q）的交易功率节省了功耗。因此，本发明依赖于在SSI到VLSI网络中使用大量的微机械链路来实现基本上零直流功率消耗的信号处理功能。

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